化学特性化学稳定性：碳化硅在多数酸性和碱性环境中都显示出极好的化学稳定性，这一特性是制造过程中重要的考量因素，确保了长期运行的可靠性和稳定性。耐腐蚀性：碳化硅能够抵抗多种化学物质的腐蚀，包括酸、碱和盐。这使得碳化硅靶材在化学蚀刻和清洁过程中，能够保持其完整性和功能性。光电特性宽带隙：碳化硅的带隙宽度约为3.26eV，比传统的硅材料大得多。...

  （2）制造加工：塑性变形、热处理、控制晶粒取向：需要根据下游应用领域的性能需求进行工艺设计，然后进行反复的塑性变形、热处理，需要精确地控制晶粒、晶向等关键指标，再经过焊接、机械加工、清洗干燥、真空包装等工序。靶材制造涉及的工序精细繁多，技术门槛高、设备投资大，具有规模化生产能力的企业数量相对较少。靶材制造的方法主要有熔炼法与粉末冶金法。熔...

  纯度：一般在99.99%，可做4N5。纯度是影响材料电导性、磁性以及化学稳定性的重要因素。晶体结构： 通常为面心立方晶格（FCC）。有利于提供良好的机械性能和高度的热稳定性。热导率： 一般在90-100 W/mK左右。高热导率有利于在溅射过程中的热量快速分散，避免材料过热。电导率： 大约为14.3 × 10^6 S/m。这使得镍靶材在电子...

  陶瓷靶材和金属靶材各自优缺点：1.导电性:金属靶材都具有导电性,可以适应各种不同电源类型机台,而陶瓷靶材因为大部分不具备导电性,只能使用射频电源.2.导热性:金属靶材导热性能好,溅射时可以大功率运行.陶瓷靶材导热性较差,溅射时功率不宜过高.复合性:3.金属靶材内很难掺入其他陶瓷类物质,溅射后膜层功能比较单一.陶瓷靶材可以根据需要掺入不同金...

  通常靶材变黑引起中毒的因素靶材中毒主要受反应气体和溅射气体比例的影响。在反应溅射过程中，靶材表面的溅射通道区域被反应产物覆盖或反应产物被剥离，金属表面重新暴露。如果化合物的形成速率大于化合物被剥离的速率，则化合物覆盖面积增加。在一定功率的情况下，参与化合物生成的反应气体量增加，化合物生成速率增加。如果反应气体量增加过多，复合覆盖面积增加，...

  靶材清洁的目的及方法：靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁：第一步用浸泡过的无绒软布清洁；第二步与第一步类似用酒精清洁；第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有...

  靶材安装注意事项靶材安装过程中非常重要的注意事项是一定要确保在靶材和溅射腔体冷却壁之间建立很好的导热连接。如果冷却壁的翘曲程度严重或背板翘曲严重会造成靶材安装时发生开裂或弯曲，背靶到靶材的导热性能就会受到很大的影响，导致在溅射过程中热量无法散发**终会造成靶材开裂或脱靶。为确保足够的导热性，可以在阴极冷却壁与靶材之间加垫一层石墨纸。请注意...

  ITO（氧化铟锡）靶材是溅射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一种，在显示靶材中占比将近60%。ITO靶材就是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型，再高温气氛烧结（1600度，通氧气烧结）形成的黑灰色陶瓷半导体。中低端ITO靶材有玻璃镀膜靶材、发热膜和热反射膜靶材，包括汽车的显示屏、一些仪器仪表的显示。优异的I...

  AZO透明导电薄膜具有高可见光透过率和低电阻率的特点，因此可以作为平面显示器和太阳能平面电极材料，也可用在节能方面，如建筑玻璃表面和汽车玻璃表面近年来,随着液晶显示、触控面板、有机发光显示、太阳能电池等的发展，使得透明导电薄膜成为关键性材料之一。目前，常用的锡掺杂氧化钢(ITO)透明导电薄膜材料中的金属铟属于稀缺资源，开发具有透光、导电特...

  从ITO靶材的发展趋势来看：1）大尺寸化，在需要大面积镀膜时，通常将小尺寸靶材拼接焊接成大尺寸靶材，由于具有焊缝，靶材镀膜质量将降低；2）高密度化，在溅射过程中ITO靶材表面会出现结瘤现象，如果继续溅射，所制备的薄膜光学性能以及电学性能将降低。高密度的靶材具有较好的热传导性以及较小的界面电阻，因此结瘤现象出现的概率较小，所制备的ITO薄膜...

  从ITO靶材的发展趋势来看：1）大尺寸化，在需要大面积镀膜时，通常将小尺寸靶材拼接焊接成大尺寸靶材，由于具有焊缝，靶材镀膜质量将降低；2）高密度化，在溅射过程中ITO靶材表面会出现结瘤现象，如果继续溅射，所制备的薄膜光学性能以及电学性能将降低。高密度的靶材具有较好的热传导性以及较小的界面电阻，因此结瘤现象出现的概率较小，所制备的ITO薄膜...

  靶材清洁的目的及方法：靶材清洁的目的是去除靶材表面可能存在的灰尘或污垢。金属靶材可以通过四步清洁：第一步用浸泡过的无绒软布清洁；第二步与第一步类似用酒精清洁；第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除去...