上海CFRP水导激光加工刻蚀系统

随着芯片集成度的不断提高，半导体晶圆的切割和减薄工艺对精度和无损伤提出了极高要求。传统金刚石刀片划片存在机械应力大、切割线宽宽、边缘崩边等问题；激光隐形切割虽然减少了表面损伤，但仍存在热影响。中科煜宸水导激光加工技术融合了两者的优点：激光能量被水射流准确聚焦，切割线宽可细至数十微米；水射流持续冷却，几乎无热影响区；无机械接触避免了应力损伤。中科煜宸在单晶硅水导激光加工方面拥有丰富的技术经验，这些技术确保了中科煜宸水导激光在半导体材料加工中能够实现亚微米级精度、零崩边、无热损伤的加工效果，完全满足先进封装、MEMS器件、功率器件等高精尖半导体制造的需求。中科煜宸水导激光交钥匙整线方案，包含工装、水循环、自动化全套配套交付落地。上海CFRP水导激光加工刻蚀系统

硬质合金作为典型的模具和刀具材料，具有极高的硬度和耐磨性，同时也带来了加工困难、成本高昂的问题。传统的电火花加工（EDM）虽然能够加工硬质合金，但效率低、电极损耗大、表面存在再铸层；而磨削加工则需要昂贵的金刚石砂轮，且复杂形状难以实现。中科煜宸水导激光加工技术则为硬质合金提供了全新的高效经济方案。激光能量能够快速去除材料，而水射流冷却有效抑制了热影响，保证了切割质量。中科煜宸规划的水导激光精密加工基地将硬质合金列为主要服务材料之一。无论是硬质合金板材的切割下料，还是复杂形状刀具的精密成型，中科煜宸水导激光都能够高速、高质量地完成，为客户大幅降低加工成本、缩短交货周期。深圳冷激光加工水导激光加工在线监测系统在半导体与晶圆加工领域，中科煜宸水导激光可实现硅片、氮化镓、碳化硅晶圆的无痕划片与微细打孔。

商业卫星的星箭连接环、分离机构等接口部件通常由强度不锈钢或钛合金制成，对尺寸精度和表面完整性有极高要求。中科煜宸水导激光能够对这些关键接口部件进行高精度的轮廓加工，确保与运载火箭的完美适配。加工表面无任何毛刺或氧化层，保证了连接界面的摩擦系数和密封性能。水流同步清洗的特性使得零件加工后可直接进行装配，无需额外的清洁工序。这种高效、高质量的加工能力，对于需要快速总装和发射的商业航天任务而言，具有极高的实用价值，提升了发射准备效率。

中科煜宸积极构建开放协同的创新生态体系，与高校、科研院所及产业链上下游企业建立了紧密的合作关系。公司通过共建联合实验室、技术研发中心等方式，推动水导激光前沿技术的快速转化与应用。同时，中科煜宸还与武汉华中数控股份有限公司签署战略合作协议，共同推进增减材复合加工装备在教育市场和更普遍领域的产业化应用。中国工程院院士周济亲临中科煜宸展位指导，并见证了双方战略合作的正式签署。这种产学研深度融合的创新模式，不 加速了水导激光技术的迭代升级，也为我国激光智能制造领域培养了大批专业人才，为行业的长远发展注入了源源不断的动力。中科煜宸水导激光采用去离子水闭环循环，无污染、无粉尘、无废气排放，符合绿色制造与洁净车间标准。

金刚石以其极高的硬度和耐磨性普遍应用于精密刀具、光学窗口、电子散热基板等领域，但其加工难度极大。传统金刚石加工方法存在效率低、损伤大、精度差等问题。中科煜宸水导激光加工技术彻底改变了这一局面。激光能量被水射流准确导引至加工位置，而水射流的冷却作用有效抑制了金刚石的热石墨化，保证了切割边缘的锐利和光滑。中科煜宸开发的“水导激光加工金刚石盲槽工艺”通过多角度补偿优化激光入射角，减少散射效应，提升槽壁光滑度。“适用于大尺寸金刚石的水导激光切割方法”则通过区域差异化参数调控，实现大尺寸金刚石的高效贯穿性切割。中科煜宸水导激光技术使金刚石加工从“不可能”变为“高质量、高效率”，是金刚石加工领域的一次革新。中科煜宸水导激光可加工柔性 FPC 线路板，避免铜箔翘起、基材烧焦等加工缺陷。深圳热障涂层水导激光加工在医疗微加工的应用

中科煜宸水导激光用于航空叶片气膜孔加工，不损伤表层热障涂层，成型精度优异。上海CFRP水导激光加工刻蚀系统

在当今高精尖制造领域，精密加工技术的自主可控关乎国家工业命脉。中科煜宸作为国家专精特新“小巨人”企业，始终坚守自主创新的初心，在水导激光加工领域取得了令人瞩目的成就。公司成功攻克了关键器件、精密机床、软件系统、工艺数据库等关键环节，实现了水导激光设备的 国产化与自主化。这一突破，标志着我国在高精尖数控机床领域成功打破了国外技术垄断，解决了长期困扰行业的“卡脖子”技术难题。中科煜宸已实现加工幅面从300mm至1000mm全系列五轴水导激光加工设备的批量化生产制造，为国内高精尖精密加工提供了可靠的工业母机支撑，其技术实力和创新精神赢得了业界的普遍认可。上海CFRP水导激光加工刻蚀系统

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