飞秒激光技术是一项通过“锁模”产生并利用“啁啾脉冲放大”提升能量的方法,创造出持续时间极短、峰值功率极高的光脉冲,并利用其与物质发生的超快、非线性、非热学相互作用,从而实现极限精度的测量、加工与操控的光电系统工程技术。 它不仅是工具,更是推动物理学、化学、工程学前沿探索的“探针”与“利刃”。技术特点总结极限的时间把控:主动操控飞秒量级的光脉冲。极限的空间精度:通过非线性效应,将加工区域限制在焦点体积内,实现亚波长尺度加工。极限的峰值功率:能产生地球上强的光电场,用于研究极端物理条件。材料普适性:通过多光子过程,可处理从金属到透明介质的各类材料。高度的灵活性:脉冲能量、重复频率、波长、脉冲形状均可根据应用进行定制。飞秒激光作为超短脉冲激光的典型,具有超短脉宽、超高峰值功率的特点。工业飞秒激光打孔

飞秒激光在精密加工中的独特能力与应用,超越衍射极限的“超衍射”加工原理:利用多光子吸收的非线性特性,加工阈值非常陡峭,只有焦点中心强度好的区域才会发生改性,加工尺寸可以突破光学衍射极限,达到亚波长甚至纳米级别。应用:微光学元件:制作衍射光学元件、微透镜阵列、波导结构。防伪与装饰:在材料内部或表面制作亚微米结构,产生结构色或特殊光学效果。光子器件:直接在光学材料内部刻写光栅、耦合器。真正的三维(3D)内部加工原理:对于透明材料(如玻璃、透明聚合物),飞秒激光只有在焦点处才能达到足够高的强度引发非线性吸收,从而可以选择性地在材料内部任意位置进行改性,而表面和路径上的材料不受影响。应用:微流控芯片:在玻璃或塑料内部直接雕刻出复杂的三维微通道网络。光数据存储:在玻璃内部写入多层、高密度的数据点,实现“5D存储”。集成光学:在透明基板内部制造三维光波导、分束器、干涉仪。广东微米级飞秒激光MLCC飞秒激光钻孔技术可被运用于核聚变上,核聚变中的点火靶球具有充气微孔,需求高精度及数量多来控制精确度。

这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一。脆性材料加工:在蓝宝石玻璃(手机屏幕、摄像头保护盖)、特种玻璃、陶瓷上钻孔、切割、刻划。无崩边、无裂纹,良品率高。金属微加工:为航空发动机叶片制作高效的激光诱导周期表面结构,降低阻力;制造精密燃油喷嘴微孔;支架切割。透明材料内部三维加工:利用其非线性效应,在焦点处发生作用,可以在透明材料(如玻璃、晶体)内部进行选择性改性、写入波导、制作微流道、存储三维数据。这是其他激光无法做到的。太阳能电池:用于晶硅太阳能电池的选择性掺杂和边缘隔离。
飞秒激光 是一种脉冲宽度在飞秒级别的超短脉冲激光。1飞秒 = 10⁻¹⁵ 秒,即一千万亿分之一秒。这是一个比分子振动、电子转移还要快的时间尺度。因其脉冲极短,具有两个特征:极高的峰值功率:即使单脉冲能量很小,但因时间极短,其瞬时功率(能量/时间)可轻松达到太瓦(10¹²瓦)甚至拍瓦(10¹⁵瓦) 级别,相当于全球电网总功率的数百倍集中在一个针尖上。极低的单脉冲能量和超快作用过程:与材料相互作用的时间远小于热扩散的时间。基于这两个特征,飞秒激光与物质相互作用遵循 “冷加工”或“非线性吸收” 机制,这是其所有颠覆性应用的物理基础。飞秒激光技术在精密机械、微纳电子、微纳光学、表面工程、生物医学等领域具广泛的应用。

氮化硅(Si₃N₄)是一种非常坚硬、耐高温和化学稳定的陶瓷材料,广泛应用于高温环境中的机械零件、刀具和半导体工业中。氮化硅具有优异的物理和化学性质,使其在工程领域中备受青睐。然而,由于其高硬度和脆性,传统的加工方法往往会导致较大的切削力和热应力,可能会损伤工件或导致工件失效。在这种情况下,飞秒激光技术成为了一种备受关注的氮化硅加工方法。飞秒激光切割和打孔是一种高精度、低热影响的加工方法,适用于氮化硅等高硬度材料。这种方法利用飞秒激光器产生的极短脉冲激光束,使得材料在极短的时间内被加热至高温,从而实现切割或打孔。飞秒激光可以用在聚合物加工、医学成像及外科医疗上。广东工业飞秒激光超细孔
飞秒激光可以加工所有材料, 但更擅长的是石英玻璃宝石等材料它们可以利用我们独特的切割、打磨和抛光技术。工业飞秒激光打孔
基于“冷加工”特性,飞秒激光展现出以下强大优势:1. 极高的加工精度与分辨率可以突破光学衍射极限,实现亚微米甚至纳米级的加工精度。加工边缘极其光滑、无毛刺,侧壁垂直度好。应用:用于切割蓝宝石、超硬材料,雕刻微纳结构,制作光子晶体、光波导等。2. 极小的热影响区对加工点周围的材料几乎无热损伤,没有微裂纹、熔渣和热应力。这对于脆性材料(玻璃、陶瓷、半导体)、热敏感材料(如聚合物薄膜)的加工至关重要。应用:眼科手术(LASIK)、透明材料内部三维雕刻、太阳能电池板划线、微电子器件的精细修复。3.材料普适性由于依靠多光子非线性吸收,其加工不依赖于材料的线性吸收特性。可以对任何材料进行加工,包括透明材料(如玻璃内部)、高反射材料(金、铜)、超硬材料(金刚石)等,而这些材料用传统激光很难甚至无法处理。应用:在钻石上打微孔、在心脏支架上切割复杂图案、对透明导电膜进行图案化。工业飞秒激光打孔