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  • HVA闸阀楔式闸阀

    HVA闸阀楔式闸阀

    闸阀是启闭件(闸板),由阀杆带动,沿阀座(密封面)做直线升降运动的阀门。一般,闸阀不可用来调节流量,只能作为截断装置使用,要么完全开启,要么完全关闭。在各种类型的阀门中,闸阀是应用很多的一种。既适用于常温和常压工况,也适用于高温及低温和高压及低压工况,并可以通过选用不同的材质,适用于各种不同的介质中。闸阀具有如下优点:①流体阻力小。闸阀阀体内部介质通道是直通的,介质流经闸阀时不改变其流动方向,因而流体阻力较小。②结构长度(与管道相连接的两端面间的距离)较小。由于闸板呈圆盘状,是垂直置于阀体内的,而截止阀阀瓣(也呈圆盘状)是平行置于阀体内的,因而与截止阀相比,其结构长度较小。如PN16、DN15...

    发布时间:2025.12.23
  • HVA闸阀法兰闸阀

    HVA闸阀法兰闸阀

    闸阀在过水的管路中使用非常广,主要做截断流量使用。像蝶阀一样,闸阀也有这不同的分类方法。按照结构形式可以分为明杆闸阀和暗杆闸阀;按照密封面可以分为硬密封闸阀和弹性座软密封闸阀;按照链接形式又有法兰闸阀、焊接闸阀等等。具体选择哪一种阀门,用户可以根据自己的工况条件来选择。闸阀的分类虽多,但他们的工作原理都是相通的,包括闸阀的结构图也都相差无几。一个完整的闸阀由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈等几部分组成。真空闸阀属于真空隔离阀类别。但是,它也有可用于控制气流。HVA闸阀法兰闸阀闸阀手动插板阀又称手动刀型闸阀,刀形闸阀它是一种闸板与阀座始终紧密接触密封的阀门,其原理是闸板上开有一个通径大小的圆...

    发布时间:2025.12.15
  • 全真空可嵌入闸阀闸板阀

    全真空可嵌入闸阀闸板阀

    闸阀在过水的管路中使用非常广,主要做截断流量使用。像蝶阀一样,闸阀也有这不同的分类方法。按照结构形式可以分为明杆闸阀和暗杆闸阀;按照密封面可以分为硬密封闸阀和弹性座软密封闸阀;按照链接形式又有法兰闸阀、焊接闸阀等等。具体选择哪一种阀门,用户可以根据自己的工况条件来选择。闸阀的分类虽多,但他们的工作原理都是相通的,包括闸阀的结构图也都相差无几。一个完整的闸阀由阀体、阀座、阀杆、闸板、阀盖、密封圈等几部分组成。金属阀体衬里高压阀门主要有衬胶阀门、衬氟阀门、衬铅阀门、衬塑阀门、衬搪瓷阀门。全真空可嵌入闸阀闸板阀闸阀在污水处理及其管道系统中,阀门的选择至关重要,直接影响到系统的运行效率和安全性。污水介...

    发布时间:2025.12.12
  • HV闸阀气动阀

    HV闸阀气动阀

    闸阀工作原理:闸阀是只能做全开或者全关的,不能作为调节流量的阀门使用。它的工作原理就是闸板随阀杆一起作上升和下降做直线运动,阀杆上有梯形螺纹,通过阀门顶端的螺母以及阀体上的导槽,来实现阀杆的上下运动,阀杆带动闸板运动。闸板的运动方向与管道流体介质方向是垂直的。闸阀的开启:闸阀的完全开启的状态在运行时,是无法查看的,尤其是对于暗杆闸阀来说。明杆闸阀的开启状态可以观察外露出来的阀杆位置来判断,暗杆闸阀一般则以开不动为止作为完全开启的标志。但考虑到可能因为温度变化出现锁死,一般闸阀开到头,即开不动位置时,再回转大概1/2圈,作为闸阀全开的位置。闸阀的关闭:闸阀在关闭后,可以有自密封和强制密封两种形式...

    发布时间:2025.12.10
  • 定制闸阀三星半导体

    定制闸阀三星半导体

    真空闸阀的开关方式和控制方法可以根据具体的应用需求和系统设计进行选择。以下是一些常见的开关方式和控制方法:1.手动操作:这是相对简单的方式,操作人员通过手动旋转阀门手柄或杆来打开或关闭闸阀。这种方式适用于小型系统或需要时不频繁操作的情况。2.电动操作:电动阀门驱动器可以附加到闸阀上,通过电动机控制阀门的开关。这种方式适用于需要频繁操作或需要遥控的系统。操作可以通过开关、遥控器或计算机控制。3.气动操作:气动阀门驱动器使用压缩空气或气体来控制阀门的开关。它们通常用于工业系统中,可以提供快速的响应时间和高度可靠性。4.液压操作:液压驱动器使用液体力学原理来控制阀门的开关。它们在一些高压或高温应用中...

    发布时间:2025.12.05
  • 真空闸阀

    真空闸阀

    刀型闸阀密封:硬密封,软密封,单面密封,双面密封等多种材质密封。超薄型的刀闸阀以其体积小、流阻小、重量轻、易安装、易拆卸等优点彻底解决了普通闸阀、平板闸阀、球阀、截止阀、调节阀、蝶阀等类阀门的流阻大、重量大、安装难、占地面积大等的疑难问题。刀闸阀出现后,大量的通用切断类阀门和调节阀门已被之取代。全球刀闸阀使用较多的是美国和日本。刀闸阀的使用范围为:1.采矿、洗洗煤、钢铁工业--用于洗洗煤管道、滤渣浆管道等、排灰管道;2.净化装置--用于废水、泥浆、污物及带有悬浮物的澄清水;3.造纸工业--用于任何浓度纸浆、料水混合物;4.电站除灰--用于灰渣浆液 [1]。真空闸阀广泛应用于各种真空系统和工艺过...

    发布时间:2025.12.04
  • 全真空可嵌入闸阀AKT

    全真空可嵌入闸阀AKT

    水电站作为重要的可再生能源设施,主要通过水流驱动发电机来生成电能。在水电站的设计和运行中,各类阀门至关重要,它们在水流的控制、调节和安全保护中发挥着关键作用。本文将探讨水电站中常用的几种阀门及其功能。1.闸阀是水电站中常用的阀门之一,主要用于截断或连接管道流体。由于其流体阻力较小,流通能力强,因此在水电站的进水和出水管道中广泛应用。闸阀基本上适用于全开或全关状态,不适合调节流量,通常用于需要彻底封闭的场合。2.球阀因其结构简单、密封性好、流体阻力小而受到青睐。它的开关速度快,通常用于需要快速启闭的场合。在水电站中,球阀常用于水流的控制和分配。高质量的不锈钢球阀可用于输送清水和某些化学介质。闸板...

    发布时间:2025.11.15
  • 专门用闸阀插板阀

    专门用闸阀插板阀

    闸阀的优点(1)流体阻力小因为闸阀阀体内部介质通道是直通的,介质流经闸阀时不改变其流动方向,所以流体阻力小。(2)启闭力矩小,开闭较省力因为闸阀启闭时闸板运动方向与介质流动方向相垂直、与截止阀相比,闸阀的启闭较省力。(3)介质流动方向不受限制,不扰流、不降低压力介质可从闸阀两侧任意方向流过、均能达到使用的目的。更适用于介质的流动方向可能改变的管路中。(4)结构长度较短因为闸阀的闸板是垂直置于阀体内的,而截止阀阀瓣是水平置于阀体内的,因而结构长度比截止阀短。(5)密封性能好全开时密封面受冲蚀较小。(6)全开时,密封面受工作介质的冲蚀比截止阀小。(7)体形比较简单,铸造工艺性较好,适用范围广。真空...

    发布时间:2024.11.28
  • 低真空闸阀英菲尼亚半导体

    低真空闸阀英菲尼亚半导体

    闸阀又称插板阀是一种管道控制设备,主要用于截断或接通介质流。其主要应用于以下场合:1.物料输送系统中的管道切换2.粉尘、颗粒状物料的输送管道3.化工行业的腐蚀性介质管道4.矿山、冶金行业的物料输送5.水处理系统的介质隔离6.燃气、空气等气体的管道控制7.环保设备的尾气处理系统8.燃料供应系统的介质切换9.纺织、制药等行业中的特殊介质管道10.建筑工地、船舶等移动设备的管道系统控制。插板阀是一种用于控制流体管道中流量和压力的阀门,通过插入或拔出阀门上的插板来开启或关闭管道。它广泛应用于工业、建筑、化工等领域。为特定的真空系统和工艺选择适当尺寸和类型的真空闸阀对于确保高效运行和可靠的真空完整性至关...

    发布时间:2024.11.27
  • 小型闸阀L型转移阀

    小型闸阀L型转移阀

    闸阀是启闭件(闸板),由阀杆带动,沿阀座(密封面)做直线升降运动的阀门。一般,闸阀不可用来调节流量,只能作为截断装置使用,要么完全开启,要么完全关闭。在各种类型的阀门中,闸阀是应用很多的一种。既适用于常温和常压工况,也适用于高温及低温和高压及低压工况,并可以通过选用不同的材质,适用于各种不同的介质中。闸阀具有如下优点:①流体阻力小。闸阀阀体内部介质通道是直通的,介质流经闸阀时不改变其流动方向,因而流体阻力较小。②结构长度(与管道相连接的两端面间的距离)较小。由于闸板呈圆盘状,是垂直置于阀体内的,而截止阀阀瓣(也呈圆盘状)是平行置于阀体内的,因而与截止阀相比,其结构长度较小。如PN16、DN15...

    发布时间:2024.11.26
  • HV闸阀英菲尼亚半导体

    HV闸阀英菲尼亚半导体

    闸阀在工业应用中广泛应用于管道系统中,主要用于截断或接通介质流。以下是闸阀在工业应用中的几个关键点:1.常用于水、蒸汽、油品、煤气等介质的管道系统中。2.可靠性高,维护简便,寿命较长。3.流体阻力小,开启和关闭时更为省力。4.适用于大口径管道,尤其在高压力场合表现优异。5.可根据介质特性选择不同材质的闸阀,如铸铁、不锈钢等。6.常见的工业闸阀类型包括平行式、楔式等,满足不同使用需求。1.化工行业:在化工生产过程中,插板阀用于控制介质的输送,实现管道的启闭。2.污水处理:在污水处理系统中,插板阀用于调节水质和流量,保证污水处理效果。3.水电行业:在水电站中,插板阀用于调节水流量,实现水轮机的启动...

    发布时间:2024.11.12
  • 定制闸阀插板阀

    定制闸阀插板阀

    微泰,传输阀、转换阀、输送阀、转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。I型和L型转移阀是用于半导体PVD CVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它们的作用是将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽,并极大限度地减少由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化,以维持腔室内的真空压力。I型转移阀由铝或不锈钢制成,用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。其特点是叶片在垂直方向上快速移动,以确保完美的腔室压力维持。而L型转移阀也由铝或不锈钢制造,其特点是设计紧凑,易于维护。L型转移阀的闸门在两个阶段从垂直到水平方向移...

    发布时间:2024.10.13
  • 真空闸阀I型转移阀

    真空闸阀I型转移阀

    微泰半导体闸阀具有独特的特点:其插板阀主滑阀采用球机构方式,并且在量产工艺设备上经过了性能验证。该闸阀由半永久性钢球陶瓷和板簧组成,陶瓷与金属接触驱动时不会产生颗粒。目前已向中国台湾的 Micron、UMC、AKT,新加坡的 Micron、Global Foundries,马来西亚的英菲尼亚半导体,日本的 Micron、三星半导体等众多设备厂批量供货,且品质得到认可,同时也完成了对半导体 Utility 设备和批量生产设备的验证。与其他厂家闸阀的金属与金属接触驱动会产生大量颗粒不同,微泰半导体闸阀采用钢陶瓷球,在与金属摩擦时不会损坏,且金属与陶瓷球之间不会产生 Particle。半永久板簧(S...

    发布时间:2024.10.12
  • 全真空可嵌入闸阀气动阀

    全真空可嵌入闸阀气动阀

    微泰半导体闸阀的工作原理主要是通过闸板的升降来控制流体的通断。当闸板升起时,闸阀打开,允许流体通过;当闸板降下时,闸阀关闭,阻止流体通过。在具体工作中,它利用各种机构和设计来实现精确的控制和可靠的密封,以满足半导体设备中对工艺控制的要求。微泰半导体闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD(通过 MW-PACVD 生长金刚石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)、Coating(涂层)、Etch(蚀刻)、Diffusion(扩散)、CVD(化学气相沉积)等设备上,...

    发布时间:2024.10.07
  • HV闸阀气动阀

    HV闸阀气动阀

    微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀,多定位闸阀。多定位闸阀是一种利用压缩空气或氮气控制闸阀位置的阀门。它在阀门的顶部有一个内置控制器,可以在本地和远程模式下操作。它还具有紧急关闭功能,以应对泵停止或CDA压缩干空气丢失的情况。其特点之一是能够远程检查阀门状态,并可用于具有不同法兰类型的各种工艺。多定位闸阀具有可隔离的闸阀,以滑动方式操作,适用于需要压力控制的所有加工领域。采用手动调节控制装置控制,用户可直接控制闸门的开启和关闭,以调节压力。微泰半导体多定位闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD...

    发布时间:2024.10.04
  • 隔离闸阀角控制阀

    隔离闸阀角控制阀

    微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀,控制系统闸阀,控制闸阀、控制系统插板阀、控制系统闸阀具有可隔离的闸阀,以滑动方式操作,可以在高真空环境中实现精确的压力控制。如半导体等高真空工艺应用。控制系统闸阀是自动控制到用户指定的值,通过控制器和步进电机保持一致的真空压力。微泰半导体闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD(通过 MW-PACVD 生长金刚石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)、Coating(涂层)、Etch(蚀刻)、Diffusion(扩散)...

    发布时间:2024.10.03
  • 隔离闸阀TRANSFER VALVE

    隔离闸阀TRANSFER VALVE

    半导体真空插板阀是一种用于半导体制造过程中的真空系统的阀门,主要作用是控制气体的流动,以维持真空环境的稳定。微泰半导体真空腔体用闸阀(插板阀)其特点包括:1. 高密封性:采用特殊的密封结构,能够有效地防止气体泄漏,保证真空系统的密封性。2. 耐腐蚀性:材料具有良好的耐腐蚀性,能够在半导体制造过程中的化学物质环境中稳定工作。3. 高精度:能够精确地控制气体的流量,满足半导体制造工艺对精度的要求。4. 快速响应:可以快速地开启和关闭,以适应半导体制造过程中的快速气体控制需求。5. 可靠性高:设计和制造过程严格,保证了其在长期使用中的可靠性和稳定性。有中国台湾Micron、UMC、AKT、新加坡Mi...

    发布时间:2024.09.23
  • PVD闸阀蝶形控制阀

    PVD闸阀蝶形控制阀

    微泰半导体闸阀的工作原理主要是通过闸板的升降来控制流体的通断。当闸板升起时,闸阀打开,允许流体通过;当闸板降下时,闸阀关闭,阻止流体通过。在具体工作中,它利用各种机构和设计来实现精确的控制和可靠的密封,以满足半导体设备中对工艺控制的要求。微泰半导体闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD(通过 MW-PACVD 生长金刚石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)、Coating(涂层)、Etch(蚀刻)、Diffusion(扩散)、CVD(化学气相沉积)等设备上,...

    发布时间:2024.09.16
  • HVA闸阀BUTTERFLY VALVE

    HVA闸阀BUTTERFLY VALVE

    微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀,有气动多位置闸阀(气动多定位闸阀、多定位插板阀、Pneumatic Multi Position)、气动(锁定)闸阀和手动(锁定)闸阀,蝶阀,Butterfly Valve,步进电机插板阀Stepper Motor Gate Valve,加热插板阀(加热闸阀Heating gate valve),铝闸阀(AL Gate Valve),三重防护闸阀,应用于• Evaporation(蒸发)• Sputtering(溅射)• Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)• PECV• PVD(Cluster,Ro...

    发布时间:2024.09.15
  • 闸阀蝶阀

    闸阀蝶阀

    微泰半导体闸阀与其他类型闸阀相比,具有以下一些优势:1. 高精度控制:能更精确地调节流体流量。2. 适应半导体环境:对温度、真空等条件有更好的适应性。3. 低颗粒产生:减少对晶圆等的污染。4. 长寿命和可靠性:确保稳定运行,减少维护成本。5. 多功能应用:可适用于多种半导体工艺设备。微泰半导体闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD(通过 MW-PACVD 生长金刚石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)、Coating(涂层)、Etch(蚀刻)、Diffusi...

    发布时间:2024.09.01
  • 隔离闸阀AKT

    隔离闸阀AKT

    微泰,三重防护闸阀、三防闸阀,应用于• Evaporation• Sputtering(溅射)• Diamond growth by MW-PACVD(通过MW-PACVD生长金刚石)• PECV• PVD• 涂层• Etch• Diffusion•CVD(化学气相沉积)等设备上。可替代VAT闸阀。微泰三重防护闸阀、三防闸阀其特点是• 阀门控制器(1CH ~ 4CH)• 应用:半导体生产线中粉末和气体等副产品的处理,防止回流。三重防护闸阀、三防闸阀规格如下:操作:气动、法兰尺寸(内径) 2.5˝ ~ 10˝、法兰类型ISO,KF、连接方式:焊接波纹管、阀门密封:氟橡胶O型环/Kalrez O型...

    发布时间:2024.08.30
  • 晶圆闸阀蝶形控制阀

    晶圆闸阀蝶形控制阀

    微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀Heating gate valve,加热插板阀,加热闸阀,加热器的加热温度为180-200度(可通过控制器设置温度)-规格:适用双金属(达到200度时,断电后温度下降后重新启动),应用于去除粉末/气体设备。微泰,加热闸阀应用于• Evaporation(蒸发)• Sputtering(溅射)• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD• Coating(涂层)• Etch(蚀刻)• Diffusion(扩散)•CVD(化学气相沉积)等设备上。加热闸阀规格如下:驱动方式:手动或气动、法兰尺寸:1.5英寸~ 12英寸、法...

    发布时间:2024.08.29
  • 铝闸阀手动阀

    铝闸阀手动阀

    微泰,传输阀、转换阀、输送阀、转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。此外,它极大限度地减少了由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化,使腔室内的真空压力得以维持。负责门控半导体晶圆转移的传输阀、转换阀、输送阀、转移阀分为两种类型:I型和L型• Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,50 x 336 / 56 x 500 ,• Cycles of first service : 1,000,000 • Response Time : 2sec • Customer Specified F...

    发布时间:2024.08.28
  • 多位闸阀楔式闸阀

    多位闸阀楔式闸阀

    微泰半导体闸阀具有独特的三重保护保护环机能:采用铝质材料,减轻重量的同时提高保护环内部粗糙度,有效防止工程副产物的堆积黏附;通过提升保护环内部流速设计,且保护环逐步收窄,进一步提升流速,防止粉尘黏附;采用三元系 O 型圈,确保保护环驱动稳定,可保证 30 万次驱动。该闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD(通过 MW-PACVD 生长金刚石)、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷对卷)、Coating(涂层)、Etch(蚀刻)、Diffusion(扩散)、CVD(化学...

    发布时间:2024.08.20
  • 定制闸阀UMC

    定制闸阀UMC

    微泰,专门用闸阀应用于• Evaporation• Sputtering• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD• Coating• Etch• Diffusion(扩散)•CVD等设备上。可替代VAT闸阀。期特点是*使用维修配件工具包易于维护*将电磁阀和位置传感器连接到15针D-Sub*锁定功能*限位开关*•速度控制器&电磁阀(2Port+N2Port)用不锈钢管连接(φ6)*应用:泵隔离,产品工艺水平要求高的地方。专门用闸阀规格如下:驱动方式:气动、法兰尺寸:4英寸~ 8英寸、法兰类型:ISO, JIS, ASA, CF、连接方式:焊接波纹管、阀门...

    发布时间:2024.08.19
  • 手动闸阀蝶阀

    手动闸阀蝶阀

    微泰半导体主加工设备腔内精确压力控制的闸阀,多定位闸阀。多定位闸阀是一种利用压缩空气或氮气控制闸阀位置的阀门。它在阀门的顶部有一个内置控制器,可以在本地和远程模式下操作。它还具有紧急关闭功能,以应对泵停止或CDA压缩干空气丢失的情况。其特点之一是能够远程检查阀门状态,并可用于具有不同法兰类型的各种工艺。多定位闸阀具有可隔离的闸阀,以滑动方式操作,适用于需要压力控制的所有加工领域。采用手动调节控制装置控制,用户可直接控制闸门的开启和关闭,以调节压力。微泰半导体多定位闸阀被广泛应用于 Evaporation(蒸发)、Sputtering(溅射)、Diamond growth by MW-PACVD...

    发布时间:2024.08.18
  • UHV闸阀I型转移阀

    UHV闸阀I型转移阀

    微泰,传输阀 (I-MOTION)、I型转换阀、输送阀、转移阀应用于晶圆加工,半导体加工,可替代VAT闸阀。其特点是• 主体材料:铝或不锈钢• 紧凑型设计• 使用维修配件工具包易于维护• 应用:半导体系统中小于 450mm 晶圆的传输和处理室隔离,传输阀 (I-MOTION)、输送阀、转移阀规格如下:闸门密封类型:传输阀 (I-MOTION)、右动转换阀、驱动方式:气动、法兰尺寸(内径) 32×222/46×236/50×336/56×500 、连接方式:焊接波纹管、闸门密封 Viton O 形圈/硫化密封件、阀盖密封:氟橡胶O型圈、响应时间:≤ 2 sec、工作压力范围:1×10-10 mb...

    发布时间:2024.08.11
  • 屏蔽闸阀蝶阀

    屏蔽闸阀蝶阀

    微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。此外,它极大限度地减少了由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化,使腔室内的真空压力得以维持。负责门控半导体晶圆转移的转移阀分为两种类型:I型和L型。一、I型转移阀。I型转移阀产品由铝或不锈钢制成,用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。本型的特点是叶片在垂直方向上快速移动,确保完美的腔室压力维持。它采用具有LM导向系统和单连杆的内部机构,保证高耐用性和长寿命。二、L型转移阀。L型转移阀产品由铝或不锈钢制造,其特点是设计紧凑,易于维护。L型转移阀的特点是闸门在两个阶段...

    发布时间:2024.08.10
  • 多位闸阀楔式闸阀

    多位闸阀楔式闸阀

    微泰半导体闸阀具有独特的特点:其插板阀主滑阀采用球机构方式,并且在量产工艺设备上经过了性能验证。该闸阀由半永久性钢球陶瓷和板簧组成,陶瓷与金属接触驱动时不会产生颗粒。目前已向中国台湾的 Micron、UMC、AKT,新加坡的 Micron、Global Foundries,马来西亚的英菲尼亚半导体,日本的 Micron、三星半导体等众多设备厂批量供货,且品质得到认可,同时也完成了对半导体 Utility 设备和批量生产设备的验证。与其他厂家闸阀的金属与金属接触驱动会产生大量颗粒不同,微泰半导体闸阀采用钢陶瓷球,在与金属摩擦时不会损坏,且金属与陶瓷球之间不会产生 Particle。半永久板簧(S...

    发布时间:2024.08.09
  • Etch闸阀插板阀

    Etch闸阀插板阀

    微泰主要产品有1、-手动锁定阀:操作锁定按钮关闭正在抽吸中的切断阀门切断现象的源头:2、特殊阀门:全金属配件构成,由电磁阀+传感器+D-Sub+角阀组成;3、三位阀:半开功能的压力控制阀。气动闸阀:•产品范围:1.5~30英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:25万次•响应时间:0.2秒~3秒;手动(锁定)闸阀•产品范围:1.5~12英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:25万次;专门用闸阀:产品范围:1.5~12英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:25万次,响应时间:0.2秒客户指定的法兰,可安装角阀;三位闸阀:产品范围:2.5~12英寸•高压/超高压都可用•维护前可用次数:2...

    发布时间:2024.07.01
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