飞秒激光是一种以 “飞秒” 为脉冲宽度(1飞秒=10⁻¹⁵秒,即千万亿分之一秒)的超快、强脉冲激光。使其在精密加工、科研等领域带来了主要的突破。这是飞秒激光成熟和广泛的应用之一,太赫兹波产生与探测:飞秒激光是产生和探测太赫兹波的主要泵浦源,用于无损检测、安全成像、物质光谱分析等。精密测量:基于飞秒光频梳技术(另一项诺贝尔奖成果),可以用于距离测量、光学时钟、光谱定标等,精度达到纳米甚至更高。文物保护与修复:可以极其精细地除去艺术品表面的污染物层,而不损伤下层宝贵的原始材料。超快飞秒激光切割机适用于超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、等材料微细精密加工,切割无变形、精度高。北京高精密飞秒激光抛光

飞秒激光作用于金属和非金属加工时原理完全不同,金属表面存在大量的自由电子,当激光照射金属表面时,自由电子会瞬间被加热,数十飞秒内让电子电子发生碰撞,自由电子将能量传道给晶格,形成开孔。但由于自由电子碰撞的能量要比离子小的多,所以传导能量需要较长时间,但目前该难题已被我国科学家攻克。在飞秒激光作用于非金属材料时,由于材料表面自由电子较少,激光照射时先要使得材料表面电离,进而产生自由电子,剩下的环节与金属材料一致。飞秒激光加工微孔时,在初级阶段先形成一个小坑,随着脉冲数量的增多,坑深度不断增加,但随着深度的增加,坑底的碎屑飞出的难度也越来越大,导致激光向底部传播的能量越来越少,*终达到深度不可增加的饱和状态,即打完一个微孔。代工飞秒激光精密制造飞秒激光作为超短脉冲激光的典型,具有超短脉宽、超高峰值功率的特点。

激光打孔工艺可分为长脉冲(ms级)和短脉冲(ns、ps、fs级)激光工艺,注意脉冲宽度是个时间单位,不是长度单位,其中ps皮秒激光和fs飞秒激光也被行业内叫做超快激光。两种工艺相比各有优缺点,同样是气化材料加工小孔,前者因为其单个脉冲照射时间更长,能提供更多能量快速去除材料,相当于大刀阔斧效率高;后者能量细小峰值功率高,可瞬间气化微量材料,素有冷加工的美誉,相当于小刀精啄,几乎没有重熔层,表面质量更好,专业一点讲就是超快激光由于脉冲持续时间远小于材料中受激电子通过转移、转化等形式的能量释放时间,只需考虑电子吸收入射光子的激发和储能过程,加上高达TW(10^12W)级的峰值功率,能量在只有几个纳米厚度内迅速聚集,瞬间产生的超高电子温度值远超材料汽化温度,材料直接从固态转为气态,在表面形成高密度、超热、高压的等离子体状态,实现非热熔性加工。
飞秒(femtosecond)也叫毫微微秒,简称fs,是标衡时间长短的一种计量单位,飞秒激光是人类目前在实验室条件下所能获得至短脉冲的技术手段。飞秒激光在瞬间发出的巨大功率比全世界发电总功率还大,已有所应用,科学家预测飞秒激光将为下世纪新能源的生产发挥重要作用。飞秒激光是一种以脉冲形式运转的激光,持续时间非常短,只有几个飞秒,一飞秒就是10的负15次方秒,也就是1/1000万亿秒,它比利用电子学方法所获得的至短脉冲要短几千倍。这是飞秒激光的一个特点。飞秒激光的第二个特点是具有非常高的瞬时功率,可达到百万亿瓦,比全世界发电总功率还要多出百倍。飞秒激光的第三个特点是,它能聚焦到比头发的直径还要小的空间区域,使电磁场的强度比原子核对其周围电子的作用力还要高数倍。与一般的MCT钻孔不同,飞秒激光加工具有热处理后易于加工孔的优点。

能量在时间上高度集中:脉冲极短,即使单个脉冲能量不高,其瞬时峰值功率也可轻易达到太瓦(10¹² 瓦)甚至拍瓦(10¹⁵ 瓦)级别,足以击穿任何材料。“冷加工”机制:能量在极短时间内注入,远快于热量向周围材料扩散的时间(通常为皮秒量级)。材料被直接电离成等离子体并瞬间消散,几乎不产生热影响区,避免了熔化、微裂纹和形变。非线性吸收:其极高的光强使得材料同时吸收多个光子,才能发生电离。这种效应具有明确的功率阈值,只在焦点中心极小的体积内发生,实现了突破衍射极限的纳米级精度。宽光谱:超短脉冲意味着极宽的频率带宽,可用于产生超连续谱(白光激光)和精密光谱测量。飞秒激光技术的未来发展潜力巨大,特别是在新能源的产生方面。广东高精度飞秒激光刀具制造
飞秒激光脉冲与材料相互作用时间在一个非常短的时间(飞秒量级),因此可以实现材料的冷加工。北京高精密飞秒激光抛光
叉指电极是指状或梳状的面内有周期性图案的电极,这种电极被用来产生与可穿透材料样品和敏感涂层的电场相关的电容。作为电信号传输重要部件,广泛应用于生物医疗检测、环境在线监测,食品安全检测,安全监测等重要领域。飞秒激光是一种高精度加工工具,可用于制造叉指电极。飞秒激光具有极高的精度和分辨率,可以实现微米级别的加工精度,适用于制造需要高精度的叉指电极。同时,飞秒激光加工是一种非接触加工方法,不会在工件表面留下机械划痕或残留应力,适用于制造需要表面光滑度高的叉指电极。飞秒激光的超短脉冲时间意味着加工过程中的热影响区非常小,可以避免因热导致的材料变形或损伤,适用于制造需要高质量加工表面的叉指电极。除此之外,飞秒激光可以加工各种材料,包括金属、陶瓷、塑料等,适用于制造不同材料制成的叉指电极。飞秒激光加工还可以实现复杂形状的叉指电极制造,因为它不受加工形状的限制,可以实现高度个性化和定制化的加工。北京高精密飞秒激光抛光