海南传递窗风淋室

传递窗的安装质量直接影响洁净室的气密性和整体净化效果，需遵循严格的施工规范与环境适配原则。设备安装前需确认墙体结构，混凝土墙、彩钢板墙（厚度≥50mm）均可作为安装载体，但需确保墙体承重能力≥200kg/㎡。安装流程通常包括：定位放线（确保水平偏差≤2mm/m）、墙体开孔（尺寸需预留10-15mm安装间隙）、箱体固定（采用膨胀螺栓或嵌入式卡扣）、密封处理（内侧用食品级硅胶密封，外侧用防火密封胶填充）。对于彩钢板洁净室，需在安装位置加装钢制加强龙骨，避免因墙体强度不足导致设备变形。转角式传递窗适用于空间受限区域，灵活改变物品传递方向。海南传递窗风淋室

互锁系统是传递窗防止交叉污染的关键组件，其可靠性直接决定设备的洁净防护能力。目前主流的互锁类型包括电磁锁互锁、机械连杆互锁与电子感应互锁，不同技术方案适用于不同使用场景。电磁锁互锁通过安装在门框上的电磁吸盘与门体磁吸片实现锁定，当一侧门开启时，控制系统切断对侧电磁锁电源，使其失去吸力，该方案结构简单、响应速度快（≤0.5秒），但需稳定的电源支持，适用于常规洁净室环境；机械连杆互锁则通过不锈钢连杆机构连接两侧门轴，利用机械杠杆原理实现互锁，无需电力即可工作，在停电时仍能保持互锁状态，适合对安全性要求极高的生物安全实验室，但机械结构需定期润滑防止卡顿。海南传递窗风淋室称量间使用传递窗配备称量装置，实现物料传递与称量一体化。

在高洁净度环境中，互锁系统的密封性设计尤为重要。门体与门框的配合间隙需控制在 1-2mm，边缘采用凹凸槽结构配合 EPDM 密封胶条，形成双重密封；电磁锁的安装位置需 recessed 设计，避免凸出表面形成积尘死角。对于需要快速传递的场景（如食品加工流水线），可配置自动门互锁系统，通过红外感应自动开启外侧门，放入物品后延时自动关闭并启动自净程序，提升传递效率的同时确保互锁逻辑的严格执行。互锁系统的故障诊断功能也是设计重点，当出现门锁故障、传感器异常或电源中断时，控制系统需通过声光报警提示，并在人机界面显示具体故障代码，便于快速排查维修。定期对互锁系统进行功能性测试（每周一次），模拟各种异常场景（如单侧门未完全关闭、电源瞬时中断），验证设备是否能进入安全状态，是确保互锁可靠性的必要措施。

电子感应互锁结合了传感器技术与微控制器，在门体边缘安装红外对射传感器或压力传感器，实时监测门的开启状态，当检测到一侧门开启时，通过继电器切断对侧门的解锁电路，同时具备防夹手功能（如遇障碍物自动停止关门），该方案智能化程度高，可兼容多种控制逻辑，常用于先进自净型传递窗。互锁系统的可靠性设计需考虑多重冗余：例如电磁锁互锁可配置备用电池，在断电时维持锁定状态 30 分钟以上；机械互锁与电子互锁的组合方案，既能保证电力中断时的安全性，又能实现智能控制。互锁响应时间需≤1 秒，避免两门同时开启导致的气流短路风险，门关闭后锁合力度需≥50N，防止因气压波动导致门体意外开启。汽车涂装车间利用传递窗传递工件，维持喷涂区域洁净环境。

控制系统具备严格的权限管理功能，只有经过静电防护培训的人员才能操作，防止非授权使用带来的污染风险。设备验证需通过粒子计数扫描（每立方米≥0.1μm 粒子数≤10 个）、静电衰减测试（1000V 到 100V 衰减时间≤2 秒）与振动测试（加速度≤0.5g，频率 10-200Hz），确保在晶圆搬运机器人（AMHS）对接过程中无振动导致的颗粒脱落。在先进封装的 Flip Chip 工艺中，传递窗需与真空系统联动，当传递含有易氧化金属凸点的芯片时，先对箱体抽真空至 10^-3mbar，再充入氮气保护，防止凸点在传递过程中氧化失效。这种高可靠性的传递窗设计，不只保障了晶圆制造的良率，也满足了半导体行业对微污染控制的优良追求。传递窗采用双门互锁结构，确保两侧门不能同时开启，维持区域压差稳定。海南传递窗风淋室

定期检查传递窗的密封条，确保密闭性防止未净化空气渗入。海南传递窗风淋室

对于自净型传递窗，需重点测试高效过滤器出风面的风速均匀性，使用风速仪（精度 ±3%）在出风面网格布点（间距≤200mm），检测各点风速是否在 0.36-0.54m/s 范围内（ISO 14644-3 推荐值），不均匀度≤20%。气流流型测试需在空态与满载状态下分别进行：空态测试验证设备本身的气流设计合理性；满载测试则模拟实际使用场景，在箱体内放置典型传递物品（如周转箱、晶圆盒），观察物品摆放是否对气流造成遮挡，导致局部涡流产生。当发现气流死角时，需调整物品放置方式或优化箱体内部导流板设计，确保污染物无滞留风险。海南传递窗风淋室