8.根据权利要求7所述的光谱共焦位移传感...

随着科技的不断发展，对微小位移的测量需求...

光学测厚方法集光学 、机械、电子、计算机...

本章主要介绍了基于白光反射光谱和白光垂直...

自上世纪60年代起 ，利用X及β射线、...

传统的接触式平面检测精度低、稳定性差及对...

当.1-管在输出短路时!负载电流与光生电...

随着科技的进步和应用的深入，光谱共焦在点...

如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准...

本实用新型涉及一种用于检测物ti的位移特...

本发明涉及光学测量领域，并且特别地，涉及...

高像素传感器设计方案取决于的光对焦水平，...