进一步地,所述蜗轮蜗杆机构包括一横向...
方式[0019]请参照图1所示,本实用新...
被测物体表面反射的反射光通过探头选择性的...
在以激光三角法为基本原理的激光位移传感器...
随着科技的不断发展,对微小位移的测量需求...
自上世纪60年代起 ,利用X及β射线、...
Preferencyly,在本实施例中发...
光纤连接至壳体部的后端的大致centre...
8.根据权利要求7所述的光谱共焦位移传感...
从图3所示的成像光学系统结构图可看出,在...
线传感器可以是在使用预定基准轴作为基准的...
本发明提供一种光谱共焦传感器和测量方法。...