IGZO由In2O3、Ga2O3和ZnO...

ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比...

靶材间隙对大面积镀膜的影响除了致密化，如...

氧化铌靶材根据其镀膜工艺的不同分为平面靶...

磁控溅射的工作原理简单说就是利用磁场与电...

靶材预溅射建议采用纯氩气进行溅射，可以起...

从ITO靶材制备方法来看，制备方法多样，...