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3.面片扫描(Patch Scan)

面片扫描方式允许扫描一个区域而不再是扫描线。应用该扫描方式至少需要四个边界点信息，即开始点、方向点、扫描长度和扫描宽度。PC DMIS可根据基本(或缺省)信息给出的边界点1、2、3确定三角形面片，扫描方向则由D的坐标值决定；若增加了第四或第五个边界点，则面片可以为四方形或五边形。采用面片扫描方式时，在复选框中选择“闭线扫描”，表示扫描一个封闭元素(如圆柱、圆锥、槽等)，然后输入起始点、终止点和方向点。终止点位置表示扫描被测元素时向上或向下移动的距离；用起始点、方向点和起始矢量可定义截平面矢量(通常该矢量平行于被测元素)。现以创建四边形面片为例，介绍面片扫描的几种定义方式： 在市场经济领域，尤其是面向客户的案例中，能够提供执行参考。新型解决方案重量

磁场磁场方向有规定，磁针静止北极指。磁体外部磁感线，北极(N)出发回南极(S)。地球周围地磁场，沈括发现磁偏角。电生磁电流周围有磁场，证明丹麦奥斯特。通电螺管磁极判，安培定则伸右手。四指沿着电流走，旋转方向不能反。大拇所指为N极，掌切所标为S.电磁铁螺管磁性强弱定，电流匝数插铁芯。带有铁芯螺线管，通常叫做电磁铁。开关控制磁有无，电流控制磁强弱。电动机通电线圈磁场中，受力作用会转动。定子不动转子转，持续转动换向器。控制方便效率高，电能转化机械能。包含什么解决方案型号IT行业需求的市场细分与目标市场选择。

应用要点

(1)应根据被测工件的具体特点及建模要求合理选用适当的扫描测量方式，以达到提高数据采集精度和测量效率的目的。

(2)为便于测量草作和测头移动，应合理规划被测工件装夹位置；为保证造型精度，装夹工件时应尽量使测头能一次完成全部被测对象的扫描测量。

(3)扫描测量点的选取应包括工件轮廓几何信息的关键点，在曲率变化较明显的部位应适当增加测量点。

有CAD模型如被测工件有CAD模型，开始扫描时用鼠标左键点击CAD模型的相应表面，PC DMIS程序将在CAD模型上生成一点并加标志“1”表示为扫描起始点；然后点击下一点定义扫描方向；结尾点击终点(或边界点)并标志为“2”。在“1”和“2”之间连线。对于每一所选点，PC DMIS已在对话框中输入相应坐标值及矢量。确定步长及其它选项(如安全平面、单点等)后，点击“测量”，然后点击“创建”。

光波干涉法常利用平晶进行，图为测量所得的不同干涉条纹。图中a的干涉条纹是直的，而且间距相等，只在周边上稍有弯曲。这说明被检验表面是平的，但与光学平晶不平行，而且在圆周部分有微小的偏差。图中b的干涉条纹弯曲而且间隔不相等，表明被检验表面是球形的，平晶有微小倾斜。条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍，表示平面度误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中c的干涉条纹呈圆形，同样表明被检验表面是球形表面。将条纹数目乘以所用光束波长的一半，即得所求的平面误差为1.5×0.3μm=0.45μm。图中d的干涉条纹成椭圆形排列，说明被检验表面是桶形的。可以把干涉图案作为被检验表面的等高线，因此可以画出该表面的形状。这种方法只适宜测量高光洁表面，测量面积也较小，但测量精确度很高。晶圆测厚仪运用解决方案。

2.闭线扫描(ClosedLinearScan)闭线扫描方式允许扫描内表面或外表面，它只需“起点”和“方向点”两个值(PCDMIS程序将起点也作为终点)。(1)数据输入操作双击边界点“1”，在编辑对话框中输入位置；双击方向点“D”，输入坐标值；选择扫描类型(“线性”或“变量”)，输入步长，定义触测类型(“矢量”、“表面”或“边缘”)；双击“初始矢量”，输入第“1”点的矢量，检查截面矢量；键入其它选项后，点击“创建”。也可使用坐标测量机操作盘触测被测工件表面的较早测点，然后触测方向点，PCDMIS程序将把测量值自动放入对话框，并自动计算初始矢量。选择扫描控制方式、测点类型及其它选项后，点击“创建”。机器人运用解决方案。新型解决方案重量

间接需求分析与直接需求分析。新型解决方案重量

面轮廓度和平面度是有质的区别。如果是曲面就不会有求平面度，应该是面轮廓度。就平面而言，面轮廓度和平面度也是有质的区别：平面度不带基准，面轮廓度会会带基准，如果不带基准的面轮廓度，是表示自身变化在一个中心线的下负公差里偏移。平面度就是一个面上报有点在理论高度上的最大值和最小值点的总和。

面轮廓度描述曲面尺寸准确度的主要指标为轮廓度误差，它是指被测实际轮廓相对于理想轮廓的变动情况。面轮廓度是限制实际曲面对理想曲面变动量的一项指标，它是对曲面的形状精度要求。是实际被测要素（轮廓面线要素）对理想轮廓面的允许变动。描述曲面尺寸准确度的主要指标为轮廓度误差，它是指被测实际轮廓相对于理想轮廓的变动情况。平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。 新型解决方案重量