山东智能解决方案

三坐标测量仪机型介绍

结构型式：三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构.

传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承

长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.1μm

测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针机 台：高精度（00级）

花岗岩平台使用环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h

空气压力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

空气流量：25 L/min

长度精度MPEe： ≤2.1+L/350 (μm)

探测球精度MPEp： ≤2.1μm 问题涉及到更多的要素，问题之间也有复杂的联系。山东智能解决方案

面轮廓度和平面度是有质的区别。如果是曲面就不会有求平面度，应该是面轮廓度。就平面而言，面轮廓度和平面度也是有质的区别：平面度不带基准，面轮廓度会会带基准，如果不带基准的面轮廓度，是表示自身变化在一个中心线的下负公差里偏移。平面度就是一个面上报有点在理论高度上的最大值和最小值点的总和。

面轮廓度描述曲面尺寸准确度的主要指标为轮廓度误差，它是指被测实际轮廓相对于理想轮廓的变动情况。面轮廓度是限制实际曲面对理想曲面变动量的一项指标，它是对曲面的形状精度要求。是实际被测要素（轮廓面线要素）对理想轮廓面的允许变动。描述曲面尺寸准确度的主要指标为轮廓度误差，它是指被测实际轮廓相对于理想轮廓的变动情况。平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。 安徽立体化解决方案晶圆测厚仪运用解决方案。

平面度：

形位误差中的形状误差。

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。

平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量。平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面 度误差值；或通过测量实际表面上若干点的相对高度差，再换算以线值表示的平面度误差值。

平面度误差测量的常用方法有如下几种：平晶干涉法、打表测量法、液平面法、光束平面法、激光平面度测量仪、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。

空气湿度大、测量机房密封性不好是造成机房湿度大的主要原因。在湿度比较大地区机房的密封性要求好一些，必要时增加除湿机。解决的办法就是改变管理方式，将“放假前打扫卫生”改为“上班时打扫卫生”，而且要打开空调和除湿机清理水份。要定期清洁计算机和控制系统中的灰尘，减少或避免因此而造成的故障隐患。使用标准件检查机器是非常好的，但是相对来说比较麻烦，只能是一段时间做一次。比较方便的办法是用一个典型零件，编好自动测量程序后，在机器精度校验好的情况下进行多次测量，将结果按照统计规律计算后得出一个合理的值及公差范围记录下来。操作员可以经常检查这个零件以确定机器的精度情况。新产品的新市场的拓展策略。

测量方法平面度误差测量的常用方法有如下几种：1、平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。平面是由直线组成的，因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。测量平面度时，先测出若干截面的直线度，再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。也有利用光波干涉法和平板涂色法测量平面误差的。抑制行业客户化发展的障碍。解决方案重量

一个可以不断自我完善的解决方案，才能真正改善状况，使得它以更高的效率执行。山东智能解决方案

(1)键入坐标值方式双击边界点“1”，输入起始点坐标值X、Y、Z；双击边界方向点“D”，输入扫描方向点坐标值；双击边界点“2”，输入确定较早方向的扫描宽度；双击边界点“3”，输入确定第二方向的扫描宽度；点击“3”，然后按“添加”按钮，对话框给出第四个边界点；双击边界点“4”，输入终止点坐标值；选择扫描所需的步长(各点间的步距)和比较大步长(1、2两点间的步长)值后，点击“创建”。

(2)触测方式选定“面片扫描”方式，用坐标测量机草作盘在所需起始点位置触测较早点，该点坐标值将显示在“边界点”对话框的“#1”项内；然后触测第二点，该点带表扫描较早方向的终止点，其坐标值将显示在对话框的“D”项内；然后触测第三点，该点带表扫描面片宽度，其坐标值将显示在对话框的“#3”项内；点击“3”，选择“添加”，可在清单上添加第四点；触测终止点，将关闭对话框。结尾定义扫描行距和步长两个方向数据；选择扫描触测类型及所需选项后，点击“创建”。 山东智能解决方案

上海岱珂机电设备有限公司成立于2011-11-11，位于上海市奉贤区泰叶路159弄33号，公司自成立以来通过规范化运营和高质量服务，赢得了客户及社会的一致认可和好评。本公司主要从事光谱共焦传感器，高精度3D测量系统，涂层厚度检测传感器，同轴激光位移传感器领域内的光谱共焦传感器，高精度3D测量系统，涂层厚度检测传感器，同轴激光位移传感器等产品的研究开发。拥有一支研发能力强、成果丰硕的技术队伍。公司先后与行业上游与下游企业建立了长期合作的关系。岱珂机电致力于开拓国内市场，与仪器仪表行业内企业建立长期稳定的伙伴关系，公司以产品质量及良好的售后服务，获得客户及业内的一致好评。上海岱珂机电设备有限公司本着先做人，后做事，诚信为本的态度，立志于为客户提供光谱共焦传感器，高精度3D测量系统，涂层厚度检测传感器，同轴激光位移传感器行业解决方案，节省客户成本。欢迎新老客户来电咨询。