汕头声表面谐振器测量

声表面滤波器是在一块具有压电效应的材料基片上蒸发一层金属膜，然后经光刻，在两端各形成一对叉指形电极组成。当在发射换能器上加上信号电压后，就在输入叉指电极间形成一个电场使压电材料发生机械振动（即超声波）以超声波的形式向左右两边传播，向边缘一侧的能量由吸声材料所吸收。在接收端，由接收换能器将机械振动再转化为电信号，并由叉指形电极输出。

表面波滤波器是以石英、铌酸锂或钎钛酸铅等压电晶体为基片，经表面抛光后在其上蒸发一层金属膜，通过光刻工艺制成两组具有能量转换功能的交叉指型的金属电极，分别称为输入叉指换能器和输出叉指换能器。当输入叉指换能器 接上交流电压信号时，压电晶体基片的表面就产生振动，并激发出与外加信号同频率的声波，此声波主要沿着基片的表面的与叉指电极升起的方向传播，故称为声表面滤波，其中一个方向的声波被除数吸声材料吸收，别一方向的声波则传送到输出叉指换能器，被转换为电信号输出。声表面波滤波器具有工作频率高、通频带宽、选频特性好、体积小和重量轻等特点，并且可采用与集成电路相同的生产工艺，制造简单，成本低，频率特性的一致性好，因此广泛应用于 各种电子设备中。 SAW滤波器至少由两个换能器组成。汕头声表面谐振器测量

声表面波(surfaceacousticwave，SAW)传感器是近年来发展起来的一种新型微声传感器，是一种用声表面波器件作为传感元件，将被测量的信息通过声表面波器件中声表面波的速度或频率的变化反映出来，并转换成电信号输出的传感器。声表面波传感器能够精确测量物理、化学等信息(如温度、应力、气体密度)。由于体积小，声表面波器件被誉为开创了无线、小型传感器的新纪元；同时，其与集成电路兼容性强，在模拟数字通信及传感领域获得了应用。湛江4脚声表面谐振器由于有低功耗、小尺寸的要求，目前智能手机使用较多的是小体积高性能的声学滤波器。

③声表面波滤波器的下游应用领域越来越广：目前声表面波滤波器主要应用在手机的射频前端中，并不断向小基站、物联网等领域快速拓展。手机是声表面波滤波器的主要应用领域。目前声表面波滤波器主要应用在智能手机中的通讯（2G至5G）、导航（GPS、北斗等）、WIFI等无线通讯领域。5G时代下，手机数量和通讯频段的增加驱动声表面波滤波器需求量的迅速增加。小基站（SmallCell）是一种小型化基站设备，具有可控性好、智能化和组网灵活等特点。小基站主要专注热点区域的网络覆盖和弱覆盖区的信号增强，保障各应用场景的网络深度覆盖。小基站需要使用滤波器对信号频率进行选择过滤，声表面波滤波器体积小、成本低，与小基站有较好的需求匹配性。伴随5G商业化进程不断加快，小型5G小基站建设规模将持续扩容，对声表面波滤波器的需求也将持续增加。

SAW类产品包括普通的SAW滤波器以及具有温度补偿特性的TC-SAW滤波器，产品形式包括双工器以及单独的滤波器。制作的原材料主要为钽酸锂或铌酸锂的单晶晶圆（4寸晶圆为主），在晶圆上方应用光刻，镀膜等半导体工艺进行图形化处理，然后划切成为芯片，芯片表面结构和制作工艺较为简单，成本较低。BAW滤波器基本原理同SAW滤波器相同，不同的是BAW滤波器中声波垂直传播。同时电极的使用与薄膜压电层的厚度决定滤波器谐振频率，高频下薄膜压电层厚度在几微米量级，因此需要使用较高难度的薄膜沉积与微机械加工技术，制造难度与成本更高。滤波器微信公众号认为，BAW滤波器有FBAR类型以及SMR类型，两者结构略有差别。BAW滤波器可以直接在硅晶圆（6寸为主）加工设计，利用PVD或CVD设备实现压电薄膜的制备是其关键工艺环节，薄膜材料主要为氮化铝和氧化锌。由于换能器的形状像一对交叉的手指，所以通常被称为叉指式换能器（IDT）。

为适应电子整机高频、宽带化的要求，SAW滤波器也必须提高工作频率和拓展带宽。研究表明，当压电 基材选定之后，SAW滤波器的工作频率则由IDT电极条宽决定，IDT电极条愈窄，频率愈高。采用0.35μm～0.2μm级的半导体微细加工工艺，可制 作出2GHz～3GHz的SAW滤波器。拓展SAW滤波器的带宽通常从优化设计IDT的电极结构入手。如将IDT按串联和并联形式连接成梯 形若干级联的结构，输入/输出直接实现连接，采用0.4μm以下的微细加工技术，就可制作出用于无线局域网（LAN）的2.5GHz梯形结构谐振式SAW 滤波器，带宽达100MHz；在多重模式滤波器中，采用纵向连接的滤波器带宽要比横向耦合型滤波器大一些，因此被用于蜂窝电话和寻呼机的RF滤波，而 后者具有陡削的窄带特性，可用于个人数字蜂窝（PDC）和模拟电话的中频（IF）滤波。声表面波谐振器的独特性质，使得表面声波组件可以很容易地运用其所携带的能量。珠海声表面谐振器市价

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声表面波传感器工作原理

无线无源声表面波系统包：发射器、接收器、声表面波器件、通信频道。 发射器和接收器组合成收发器或者解读器的单一模块。图3为声表面波系统及其相互关联的基础部件。 解读器将功率传送给声表面波器件，该功率可以是收发器输入的连续波，脉冲或者啁啾 。 一般地，声表面波器件获得 的功率大小具有一定限制，以降低比较大的发射功率，从而得到相同平均功率的啁啾 。 根据各向同性的辐射体，接收的信号一般能通过高效的辐射功率天线发射。 汕头声表面谐振器测量

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