半导体VOCs治理方案

吸收法，吸收法可分为化学吸收及物理吸收，由于有机废气中含有大量的“三苯”气体，化学活性低，一般不能采用化学吸收。物理吸收是废气中一种或几种组分溶解于选定的液体吸收剂中，这种吸收剂应具有与吸收组分有较高的亲和力，低挥发性，同时还应具有较小的挥发性，吸收液饱和后经加热解吸再冷却重新使用。优点：适合于温度低、中高浓度的废气，能够有选择性地吸收硫化氢等废气，工艺流程简单，且不需外加蒸汽和外加其他热源。缺点：需配备加热解析冷凝等回收装置，装机体积大、投资较大，同时还存在二次污染，净化效果不理想。VOCs废气处理的目的是减少对环境和人类健康的不良影响。半导体VOCs治理方案

转轮吸附浓缩-催化燃烧工艺流程，1号风机带动含VOCs废气经过转轮a区域，a区域为吸附区，根据不同的目标物可在转轮 中填充不同的吸附材料。吸附了 VOCs的a区域随转轮转动来到b区域进行脱附。流经传热1的 高温气流将吸附于转轮上的VOCs脱附下来，并经过传热2达到起燃温度，随后进入催化燃烧室 进行催化氧化反应。由于转轮脱附之后又要进行吸附，所以在脱附区域旁边设冷却区域c,以空 气进行冷却，冷却之后的温空气经传热1变成脱附用热空气。催化燃烧反应之后的热气流将部分 热量传递给传热2、传热1后排至空气。为了防止催化燃烧室温度过高，设置第三方冷却线路用于催化燃烧室的紧急降温。整个系统巾万个监控系统组成，PCI负责监控催化燃烧室、传热器的温度（其内部设电辅热装置以平衡温 度波动)，PC2负责风机控制，根据实际情况调节进气流量。PC2属于PC1的子级系统，当PC1 监测到温度波动超过允许范围时立刻将信息传递给PC2, PC2将收到的信息转成指令传递给各风机。半导体VOCs治理方案生物过滤技术是处理VOCs的一种经济高效方法，利用微生物将VOCs转化为无害物质。

吸附回收净化技术，此技术主要是利用吸附材料将废气中的有机溶剂吸附下来，并脱附回收利用有机溶剂的方法，是一种简单实用的VOCs治理技术。不只能有效治理有机废气，还能回收有机溶剂，是企业常用的净化技术。特点：对于非水溶性有机溶剂，采用活性炭吸附-水蒸汽脱附-溶剂回收工艺，具有相变热高，脱附完全，易冷凝的优点，可实现有机溶剂和水的自动有效分离；附床内配套活性炭保护系统，充分保证设施安全；适用于化工、石油、制药工业、涂装等行业。

沸石转轮吸附+(蓄热式)催化燃烧技术：适用范围：适用于大风量低浓度废气，去除效率较高，处理含高沸点或易聚合化合物时，转轮需定期处理和维护。不适用范围：不适用于低沸点不易吸附、高沸点不易脱附和酸碱性有机废气的净化。理论效率：90%以上。处理原理：含VOCs废气进入转轮，沸石吸附浓缩其中VOCs成分，洁净气体达标排放。已吸附VOCs的沸石模块经高温脱附，脱附后的高浓度有机废气经换热器预热进入催化氧化炉进行分解；在催化氧化炉内被加热到300～400℃的有机废气（VOCs）在贵金属催化剂的作用下发生无焰燃烧，VOCs被氧化分解成CO₂和H₂O经烟囱排放到空气中，脱附后的沸石模块恢复吸附能力并转至吸附区。后处理阶段用于处理处理后的废气，以确保排放符合环境法规。

VOC废气处理技术——生物处理法，生物法净化voc废气是近年发展起来的空气污染控制技术，它比传统工艺投资少，运行费用低，操作简单，应用范围广，是较有望替代燃烧法和吸附净化法的新技术。从处理的基本原理上讲，采用生物处理方法处理有机废气，是使用微生物的生理过程把有机废气中的有害物质转化为简单的无机物，比如CO2、H2O和其它简单无机物等。这是一种无害的有机废气处理方式。生物净化法实际上是利用微生物的生命活动将废气中的有害物质转变成简单的无机物（如二氧化碳和水）以及细胞物质等，主要工艺有生物洗涤法，生物过滤法和生物滴滤法。蒸汽催化氧化技术利用蒸汽和催化剂，对VOCs进行高效分解。半导体VOCs治理方案

VOCs废气处理可以减少对人类健康的不良影响，如呼吸道疾病和重症。半导体VOCs治理方案

根据“一企一策”的原则，根据客户的不同情况，为企业量身定制VOCs废气治理系统解决方案，方案经过专业人士组论证和工程部评估，节能高效、可实施。VOCs废气（挥发性有机化合物废气）的来源普遍，包括工业生产过程中的排放、溶剂使用、交通运输等。这些废气对环境和人类健康构成威胁，因此需要有效的处理和治理技术。VOCs废气的主要特点包括：1. 挥发性：在常温下很容易挥发形成气体，造成大气污染。2. 多样性：成分复杂，含有多种有机化合物。3. 环境影响：破坏臭氧层，危害人类健康和生态环境。半导体VOCs治理方案