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光学平整度检测仪主要利用光学干涉或共焦位移原理来实现非接触式高精度测量。当光线投射到被测物体表面时,表面的微观起伏会导致光路发生改变,仪器通过捕捉并分析这些光学信号的变化,就能精确重构出表面的三维形貌...
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