在 300mm 大尺寸晶圆翘曲检测中，非接触式多探头阵列翘曲方案较接触式翘曲仪实现全片无盲区测量。接触式翘曲仪采用单点测量方式，需逐点扫描全片，耗时＞10 分钟，且边缘区域存在＞5...

半导体堆叠封装中，多层芯片叠加后缝隙狭小，周边基材的水滴角会影响底部填充胶的渗透效率。堆叠结构内部空间紧凑，胶体难以自然流动填充，基材表面疏水过强会进一步阻碍胶体渗透。正式封胶前，...