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多晶硅超纯水设备主要用在多晶硅片清洗中，多晶硅片,半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于去除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，...