行业挑战与发展趋势1. 当前挑战极紫外光学的污染控制：EUV 光易被空气中的氧气、水蒸气吸收，需在真空环境（压力 <10⁻⁶Pa）中加工与检测，且镜面颗粒污染（>5nm）会导致散射...

在我国，国家层面以高瞻远瞩的战略眼光，敏锐地察觉到了光学器件和光电应用产业所蕴含的巨大潜力以及对国家科技实力提升的重要意义。为此，先后出台了一系列极具针对性且行之有效的鼓励政策及发...