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等离子体电源的性能取决于多个关键设计参数。其中包括加热元件的功率和温度控制能力,电场或磁场的强度和分布,以及气体或液体的供给速率和纯度。加热元件的功率和温度控制能力决定了等离子体的温度和密度,而电场或...