按照半导体零部件服务对象来分，半导体重心零部件可以分为两种，即精密机加件和通用 外购件：精密机加件通常由半导体设备公司自行设计再委外加工，只用于自己公司的设备， 如工艺腔室、传输腔室等，一般对其表面处理、精密机加工等工艺技术的要求较高；通用 外购件则是一些经过长时间验证，得到众多设备厂和制造厂普遍认可的通用零部件，更加 标准化，会被不同的...

  以半导体制造中用于固定晶圆的静电吸盘（ESC）为例，传统的以有机高分子材料和阳极氧化层为电介质的静电卡盘逐步被陶瓷静电卡盘逐渐替代，而以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷为主体材料陶瓷静电卡盘拥有良好的导热和耐卤素等离子气氛的性能。作为离子注入、刻蚀等关键制程重心零部件之一，为满足在高真空等离子体或特气环境中起到对晶圆的夹持和温度控制等作用的需要，需...

  半导体零部件覆盖范围广、产业链长，需要多学科交叉融合。半导体零部件的研发设计、制造和应用涉及到材料、机械、物理、电子、精密仪器等跨学科、多学科的交叉融合，生产工艺横跨精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合及工程设计等多个领域和学科。以半导体制造中用于固定晶圆的静电吸盘（ESC）为例，传统的以有机高分子材料和阳极氧化层为电介...

  材料选择半导体治具的材料选择非常重要，因为它直接影响到治具的使用寿命和稳定性。一般来说，半导体治具的材料应该具有以下特点：1.耐腐蚀性：半导体生产过程中会使用很多化学试剂，因此治具的材料必须具有良好的耐腐蚀性，以保证治具的使用寿命。2.硬度高：半导体生产过程中需要进行很多切割和加工操作，因此治具的材料必须具有足够的硬度，以保证治具的稳定性...

  石墨制品的特性：1.石墨制品具有良好的吸附性。炭的空心结构使炭具有良好的吸附性，故炭常被用作吸附资料，用于吸附水分、气味等。2.石墨制品具有良好的导热性，传热快，受热均匀，节省燃料。用石墨制成的烤盘，锅等加热快，并且烧制的食物受热均匀，从里往外熟，加热时间短，不仅味道纯粹，并且能锁住食物本来的营养。3.石墨制品具有化学安稳性。石墨在常温下...

  石墨模具在人们的生活中很常见。总的来说，在我们的日常生活中，很多人对石墨模具并没有太多的专业知识。那么石墨模具有什么特殊之处呢？强度是损害耐磨性的关键因素。一般来说，石墨模具的强度越高，磨损率越小，耐磨性越好。此外，耐磨性还与原材料中渗碳体的种类、总量、形状、大小和弥散度有关。1.延展性强。石墨模具工作中的标准大多极端，有些往往承受较大的...

  对于相同平均粒度的材料，电阻小的材料的抗压强度和强度也会对应于电阻略低的材料。也就是说，放电速度和损耗会有所不同。因此，石墨板材料的原电阻必须选择具体使用的材料。电级材料的选择立即关系到充放电的实际效果。材料的选择是否在很大程度上是合适的，决定了充放电速率、加工精度和表面粗糙度的成果。在特殊石墨领域，一般的强度检测标准是肖氏硬度测量方法，...

  以半导体制造中用于固定晶圆的静电吸盘为例，一是其本身是以氧化铝陶瓷或氮化铝陶瓷作为主体材料，但同时还需加入其他导电物质使得其总体电阻率满足功能性要求，对于材料多性能复合提出要求；二是陶瓷层和金属底座结合要满足均匀性和强度的要求，因此对陶瓷内部有机加工构造精度要求高；三是静电吸盘表面处理后要达到0.01微米左右的涂层，同时要耐高温，耐磨，使...

  半导体是这两年国家重点发展的行业，到底什么是半导体？生活中所有的物体按照导电性大致可分为三类：导体、半导体、绝缘体。这个很好理解，物体要么导电，要么不导电，要么有一点点导电，正是这种半推半就、不清不楚的物质给物理学家不同的发挥空间。太的导电和不导电的物质没什么意思，而在不同情况下导电性发生变化的东西才是有意思的。按照导电性便分为：绝缘体:...

  半导体器件(semiconductordevice)通常，利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极管，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波。晶体管又可以分为双极型晶体管和场效应晶体管两类。根据用途的不同，晶体管可分为功率晶体管微波晶体管和低噪声晶体管。除了作...

  由于半导体制造过程经常处于高温、强腐蚀性环境中，因此半导体零部件约有一半以上需做表面处理，以提升其耐腐蚀性。例如半导体刻蚀设备的等离子体刻蚀腔室处于高密度、高腐蚀、高活性等离子体环境中，腔室及其组件极易受到等离子体的腐蚀，为了延长这些组件的使用寿命，经常采用在铝基材料(铝与铝合金)表面进行阳极氧化，可以有效地降低等离子体对腔室及其它铝基材...

  治具的主要用途：1、治具目前在工业方面已经普遍的运用到了，包括机械治具、木工治具、焊接治具、珠宝治具、以及其他领域，其主要目的是为重复性和准确的重复某部分的重制。例如我们生活中配钥匙，只要将原来的钥匙放在固定的治具上，就可以做出一样的钥匙。2、有许多治具之所以产生是因为商业的需要，因为有许多类型的治具是客制化的，某些是为了提高生产力、重复...