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洁净室在半导体制造中的关键作用半导体制造对洁净度的要求堪称严苛,洁净室是保障芯片良率的设施。在晶圆加工过程中,光刻、蚀刻、薄膜沉积等工序需在ISO1-3级洁净室中进行,因为空气中微粒会直接污染晶圆表面...