探针台是用于检测每片晶圆上各个芯片电信号,保证半导体产品品质的重要检测设备。下面我们来了解下利用探针台进行在片测试的一些相关问题,首先为什么需要进行在片测试?因为我们需要知道器件真正的性能,而不是封装以后的,虽然可以去嵌,但还是会引入一些误差和不确定性。因为我们需要确定哪些芯片是好的芯片来降低封装的成本并提高产量。因为有时我们需要进行自动化测试,在片进行自动化测试成本效益高而且更快。一个典型的在片测试系统,主要包括:矢量网络分析仪,线缆,探针,探针定位器,探针台,校准设备及软件,电源偏置等。探针台存放在氮气柜中,防止探针的加快氧化。贵州智能探针台生产

半导体设备的技术壁垒高。随着半导体行业的迅速发展,半导体产品的加工面积成倍缩小,复杂程度与日俱增,生产半导体产品所需的制造设备需要综合运用光学、物理、化学等科学技术,具有技术壁垒高、制造难度大及研发投入高等特点。半导体器件生产中,从半导体单晶片到制成成品,须经历数十甚至上百道工序。为了确保产品性能合格、稳定可靠,并有高的成品率,根据各种产品的生产情况,对所有工艺步骤都要有严格的具体要求。因而,在生产过程中必须建立相应的系统和精确的监控措施,首先要从半导体工艺检测着手。天津芯片探针台生产某些针尖位置高的扎不上AL层,使测试时这些针上电路不通。

探针台概要:晶圆探针台是在半导体开发和制造过程中用于晶片电气检查的设备。在电气检查中,通过探针或探针卡向晶片上的各个设备提供来自测量仪器或测试器的测试信号,并返回来自设备的响应信号。在这种情况下,晶片探测器用于输送晶片并接触设备上的预定位置。探针台是检测芯片的重要设备,在芯片的设计验证阶段,主要工作是检测芯片设计的功能是否能够达到芯片的技术指标,在检测过程中会对芯片样品逐一检查,只有通过设计验证的产品型号才会量产。晶圆测试一般在晶圆厂、封测厂或专门的测试代工厂进行,主要用到的设备为测试机和探针台。
探针台市场逐年增长:半导体测试对于良率和品质控制至关重要,是必不可少的环节,主要涉及两种测试(CP测试、FT测试等)、三种设备(探针台、测试机、分选机等)。根据半导体产线投资配置规律,测试设备在半导体设备投资的占比约为8%,次于晶圆制造装备,其中测试机、分选机、探针台的占比分别为63.10%、17.40%、15.20%。中国半导体市场飞速增长。在全球贸易摩擦背景下,半导体行业国产化率提高成为必然趋势,国内半导体产业的投资规模持续扩大。在检测虚焊和断路的时候,探针卡用户经常需要为路径电阻指定一个标称值。

精细探测技术带来新优势:先进应力控制技术亦是必须的。为减少或消除造成良率下降之垫片损伤,在铜质垫片加上铝帽将能减少对易碎低K/高K介电的负面效应。以先进工艺驱动在有效区域上垫片的测试,以低冲击的探针卡,避免接触所产生阻抗问题。另一个可能损害到晶圆的来源是探针力道过猛或不平均,因此能动态控制探针强度也是很重要的;若能掌握可移转的参数及精细的移动控制,即可提升晶圆翻面时的探测精确度,使精细的Z轴定位接触控制得到协调,以提高精确度,并缩短索引的时间。细针和待测器件进行物理和电学接触。吉林半自动探针台加工厂家
适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途。贵州智能探针台生产
x-y工作台的维护与保养:无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台,x-y向工作台都是其很中心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障,而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的,所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在小编只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一一介绍。平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。贵州智能探针台生产