铼钨探针指的是采用含铼3%的铼钨合金丝打造而成的探针。中钨在线提供好的铼钨探针产品。钨作为一种硬度强、耐高温的金属材料，常被用于灯丝、电极、热电偶或者探测针等等，但钨本身存在易脆和可塑性低的问题，这减小了其使用过程中的寿命。为降低钨的脆性以及提高其可塑性，传统的方法通过在钨内添加稀有金属形成钨基合金增加其性能。在钨内添加铼，可以发生“铼塑化效应”，增加钨的可塑性。铼钨合金具有高熔点、厉害度、高硬度、高塑性、高再结晶温度、高电阻率，低蒸气压、低电子逸出功和低塑性脆性转变温度等一系列优良性能。探针尖磨损和污染也会对测试结果造成极大的负面影响。山东磁场探针台机构
晶圆是制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求，一般是要求高效准确，能够捕捉有效缺陷，实现实时检测。较为普遍的表面检测技术主要可以分为两大类：针接触法和非接触法，接触法以针触法为象征；非接触法又可以分为原子力法和光学法。在具体使用时，又可以分为成像的和非成像的。山东磁场探针台机构无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，工作台都是其主要的部分。
从功能上来区分有：高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡／探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。
以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能(如电流、电压、阻抗等)或工作状态，测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展，对于精密微小(纳米级)的微电子器件，表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生，利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备(不属于本机器)对此测试、分析。探针台执行机构由探针座和探针杆两部分组成.在探针座有X-Y-Z三向调节旋钮，控制固定在针座上的探针杆做三向移动，移动范围12mm，移动精度可以达到0.7微米。这样可以把探针很好的点到待测点上(说明探针是耗材，一般客户自己准备)，探针探测到的信号可以通过探针杆上的电缆传输到与其连接的测试机上，从而得到电性能的参数。对于重复测试同种器件，多个点位的推荐使用探针台安装探卡进行测试。定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上。
晶圆级半自动面内磁场探针台详细参数：垂直或面内磁场探针台，通用性设计；容纳12寸晶圆，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4组探针（RF或DC测试）；提供Z轴探针平台快速升降功能，实现高效测试；磁场强度≥330mT;直流探针（4组）或微波探针（4组）；XY电控行程±150mm，调节精度2μm；T轴手动调节±5°，小至调节精度5’。晶圆级半自动二维磁场探针台：详细参数可对晶圆施加垂直或面内磁场，兼容性设计；容纳12寸晶圆，且向下兼容8寸、6寸、碎片；兼容4组探针（RF或DC测试）；提供Z轴探针平台快速升降功能，实现高效测试；磁场强度≥0.7T；直流探针（4组）或微波探针（4组）；XY电控行程±150mm，调节精度2μm；T轴手动调节±5°，小到调节精度5’。探针台的维护与保养就显得尤为重要。山东磁场探针台机构
半导体设备价值普遍较高，一条先进半导体生产线投资中，设备价值约占总投资规模的75%以上。山东磁场探针台机构
有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。现在只对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。平面电机x-y步进工作台的维护与保养：平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。山东磁场探针台机构
