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硅光电二极管基本参数
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硅光电二极管企业商机

    深圳市世华高半导体有限公司(SIVAGO)成立于2004年,总部设在深圳,主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地,负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。孔直径为25um,孔间距35um;也可以为同心环结构,该同心环中心与金属电极106中心重合,个环直径与金属电极106直径相同,相邻环间距10um,环中心距35um;正面金属电极106下方的高反层需要刻蚀掉,以增大同流能力,降低扩散电阻,提高响应速度。进一步的,参见图5-1~图5-7。本发明还提出一种高速高响应度的硅基光电二极管的制备方法,包括以下操作:1)在衬底107上溅射生成高反层109;2)高反层109开设刻蚀孔;3)高反层109上通过淀积的方法生长外延层101;4)在外延层101上通过离子注入分别形成保护环102和有源区103;5)在保护环102和有源区103上生成sio2层104,然后在sio2层上方生成si3n4层105。世华高硅光电二极管性能稳定,技术成熟。武汉滨松硅光电二极管多少钱

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    其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展,世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构,分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。因此扩散时间很短;从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。该结构中,衬底材料107不用进行背面处理,直接与金属形成良好的欧姆接触;外延层厚度取决于耗尽区宽度。进一步的,所述外延层101的电阻率为500~1000ohm·cm,外延层101厚度wepi根据耗尽区宽度wd确定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入为入射光入射深度,λ为入射光波长;所述的高反层109由折射率~~;高反层109上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔,或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时,孔直径为10~50um,孔间距为15~50um,圆形孔的总面积为结面积的1/2;所述的刻蚀孔为同心环形孔时,同心环中心与正面金属电极106的中心重合,同心环中心为刻蚀区,相邻环间距5~20um。具体的,高反层109可以为多孔结构,可采用矩阵排列(比如采用正方形阵列排列)。滨松光电二极管哪家棒!世华高。

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    技术实现要素:本发明解决的技术问题在于提供高速高响应度的硅基光电二极管及其制备方法,在不影响光电二极管响应度的前提下,解决了硅基光电二极管响应速度慢的问题,实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明是通过以下技术方案来实现:一种高速高响应度的硅基光电二极管,包括背面设有背面电极的衬底;衬底正面依次设有高反层、外延层、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极;所述的高反层上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔,以及与正面金属电极相对应的刻蚀区;所述的注入层包括保护环以及设在其内的有源区;所述的正面金属电极还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区相连接。所述的衬底为电阻率20~100为ohm·cm的硅基衬底,衬底背面直接做金属化处理形成背面电极。所述的高反层由折射率~~;高反层上开设的刻蚀孔为矩阵排列的圆形孔,或者为同心环形孔。所述的刻蚀孔为均匀分布的圆形孔时,孔直径为10~50um,孔间距为15~50um,圆形孔的总面积为结面积的1/2;所述的刻蚀孔为同心环形孔时,同心环中心与正面金属电极的中心重合,同心环中心为刻蚀区,相邻环间距5~20um。所述的外延层淀积在高反层上;在外延层上分别以n型离子注入形成保护环。硅光电二极管特性给您带来智能体验。武汉进口硅光电二极管型号

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