半导体先进制程对气体纯度与性能的要求,稀有气体凭借独特的物理特性成为重心材料。氩气作为刻蚀与溅射的关键气体,其等离子体可实现的薄膜沉积,上海弥正电子级氩气杂质含量≤0.1ppb,助力 14nm 制程芯片溅射镀膜均匀性提升 30%;氦气因导热性强、化学惰性,用于晶圆冷却与载气,其 99.9999% 纯度产品可使气相色谱分析误差≤0.3%;氙气更是 EUV 光刻的重心,其等离子体产生的 13.5nm 光实现 5nm 以下制程突破。上海弥正建立半导体气体专项产线,所有产品均符合 SEMI C12 标准,某头部晶圆厂应用后,芯片良率从 82% 提升至 95%,刻蚀缺陷密度降低 60%。氖气用于航空导航灯,穿透力强,可在恶劣天气中为飞行器提供指引。安徽氪气惰性气体稀有气体/卤素气体

氙气作为密度比较大的稳定稀有气体,具有高原子序数、低电离能、强 X 射线吸收等独特特性,纯度≥99.999% 的高纯氙气已成为半导体与医疗领域的战略材料。在半导体制造中,氙气等离子体被用于极紫外光刻(EUV)光源,通过高能激光轰击产生 13.5nm 短波长光,支撑 3nm 以下芯片制程;在等离子体刻蚀中,可实现 50:1 的高深宽比刻蚀,降低晶体损伤提升良率 15%。在医疗领域,超极化氙气能使 MRI 信号增强 4-5 个数量级,实现 10μm 级肺泡成像,诊断早期肺纤维化准确率达 92%。上海弥正的半导体级氙气纯度达 99.9995%,医用级纯度 99.995%,均通过气相色谱 - 质谱联用检测,某晶圆厂应用后,3D NAND 闪存刻蚀精度提升至 ±0.03μm。安徽氯甲烷稀有气体/卤素气体生物医药溴化氢气体溶于水制成氢溴酸,是有机合成中的重要试剂,用于药物与染料制备。

卤素气体的强腐蚀性对纯化设备提出严苛要求,上海弥正采用哈氏合金与聚四氟乙烯材质构建纯化系统,避免设备腐蚀导致的纯度下降。针对氯气,通过浓硫酸干燥与精馏耦合工艺,去除水分与二氧化碳杂质,纯度从 99.5% 提升至 99.999%;针对溴化氢,采用低温吸附与催化脱氧技术,使氧杂质含量≤0.1ppm;针对氟气,通过氟化钠吸附柱去除氟化氢杂质,纯度达 99.99%。所有纯化过程均实时监测纯度,某半导体客户使用其纯化的氟气后,刻蚀精度提升 25%。
氖气:光刻机的 “光源重心”193nm ArF 光刻机是半导体 14nm 以下制程的重心设备,其激光光源的稳定性高度依赖高纯度氖气。上海弥正通过 “氦氖联产工艺” 与等离子体杂质脱除技术,生产的电子级氖气纯度达 99.9993%,其中氪、氙等有害杂质含量降至 0.05ppb,完全满足 ASML 光刻机标准。在全球氖气价格暴涨 400% 的背景下,其国产化产品为中芯国际等企业提供稳定供应,某晶圆厂使用后,光刻机激光能量波动从 5% 降至 1% 以下,芯片光刻良率提升 8%。。氩气用于啤酒酿造,可替代二氧化碳充气,保持啤酒风味与泡沫稳定性。

航空航天领域的极端工况对气体稳定性要求严苛,稀有气体成为保障设备性能与人员安全的关键。氦气因低密度、不可燃,用于飞船应急呼吸气与燃料系统压舱物,其 99.9999% 纯度产品可避免燃料系统腐蚀;氩气作为焊接保护气用于火箭发动机部件制造,确保焊缝在高温高压下不失效;氙气则是离子推进器的重心推进剂,凭借高比冲特性延长航天器续航能力。上海弥正为航天领域定制的稀有气体在 - 60℃至 150℃范围内浓度波动≤0.1%,某航天科技集团应用后,火箭推进系统测试合格率达 100%,航天器在轨运行时间延长 20%。氟气用于制备含氟制冷剂,制冷效果好且环保,替代传统含氯制冷剂。天津氖气惰性气体稀有气体/卤素气体光纤生产
氩气用于电弧炉炼钢,可减少钢水氧化损耗,提升钢材纯度与力学性能。安徽氪气惰性气体稀有气体/卤素气体
氙气凭借优异的光学性能与生理惰性,在医疗、光电技术等领域拥有多元应用,其技术价值体现在高发光效率、麻醉效果与极端环境适应性上。在医疗领域,氙气是一种高效的全身麻醉剂,麻醉效果强且苏醒快,对心血管系统影响小,适用于复杂手术(如心脏手术、神经外科手术)。某三甲医院使用氙气麻醉剂进行心脏搭桥手术,患者麻醉诱导时间但 3 分钟,苏醒时间≤15 分钟,术后并发症发生率较传统麻醉剂降低 40%。在光电技术领域,氙气闪光灯发光强度大、脉冲持续时间短(纳秒级),是高速摄影、激光泵浦与光刻技术的重心光源。某半导体芯片制造企业使用氙气闪光灯进行光刻曝光,光源波长稳定在 193nm,可实现芯片电路的高精度蚀刻,支撑 7nm 以下先进制程芯片的生产;在汽车照明中,氙气灯(HID)凭借高亮度、高穿透力,成为汽车的标配,其照射范围广、色彩接近自然光,可提升夜间驾驶安全性。此外,氙气还用于太空探测,填充于航天探测器的传感器中,可耐受太空极端温度(-200℃至 150℃)与辐射环境,保障仪器正常工作;在呼吸中,氙气与氧气混合使用,可改善肺部通气功能,辅助慢性阻塞性肺疾病(COPD),提升患者血氧饱和度。。安徽氪气惰性气体稀有气体/卤素气体
上海弥正气体有限公司汇集了大量的优秀人才,集企业奇思,创经济奇迹,一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地,绘画新蓝图,在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的信誉,信奉着“争取每一个客户不容易,失去每一个用户很简单”的理念,市场是企业的方向,质量是企业的生命,在公司有效方针的领导下,全体上下,团结一致,共同进退,**协力把各方面工作做得更好,努力开创工作的新局面,公司的新高度,未来上海弥正气体供应和您一起奔向更美好的未来,即使现在有一点小小的成绩,也不足以骄傲,过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验,才能继续上路,让我们一起点燃新的希望,放飞新的梦想!