氖气：光刻机的 “光源重心”193nm ArF 光刻机是半导体 14nm 以下制程的重心设备，其激光光源的稳定性高度依赖高纯度氖气。上海弥正通过 “氦氖联产工艺” 与等离子体杂质脱除技术，生产的电子级氖气纯度达 99.9993%，其中氪、氙等有害杂质含量降至 0.05ppb，完全满足 ASML 光刻机标准。在全球氖气价格暴涨 400% 的背景下，其国产化产品为中芯国际等企业提供稳定供应，某晶圆厂使用后，光刻机激光能量波动从 5% 降至 1% 以下，芯片光刻良率提升 8%。。碘蒸气用于甲状腺功能检测，通过放射性碘追踪，辅助诊断甲状腺疾病。广东溴氯甲烷稀有气体/卤素气体光纤生产
量子计算的重心难题是维持量子比特的相干性，而液氦（4K 温环境）是实现这一目标的关键。上海弥正的 6N9 级（99.99997%）超纯氦气，采用四阶耦合提纯工艺，成功将氖气等杂质脱除至 0.1ppb 以下，为超导量子芯片提供稳定环境。本源量子 “悟空” 芯片配套其氦循环系统后，量子比特相干时间突破 150μs，较室温环境提升百万倍，同时制冷功耗降低 30%。该产品还可用于稀土磁材烧结，在钕铁硼 1200℃烧结过程中，氦气氛围能将氧含量控制在 0.1ppm 以内，使磁能积从 50MGOe 提升至 55MGOe 以上。广东溴氯甲烷稀有气体/卤素气体光纤生产氟气用于制备含氟制冷剂，制冷效果好且环保，替代传统含氯制冷剂。
氯气作为应用较较广的卤素气体之一，凭借强氧化性与反应活性，在消毒杀菌与化工原料合成领域发挥重心作用，其应用覆盖民生、工业等多个场景。在消毒领域，氯气溶于水生成次氯酸，次氯酸具有强氧化性，可破坏细菌、病毒的细胞膜与核酸，实现杀菌消毒。自来水厂通常采用氯气消毒，添加量为 0.5-1.0mg/L，可将水中细菌总数降至 100CFU/mL 以下，符合饮用水卫生标准；在公共场所（如医院、学校、地铁），氯气制备的 84 消毒液（次氯酸钠溶液）是常用的表面消毒剂，对、大肠杆菌的杀灭率≥99%。在化工领域，氯气是基础原料，用于合成盐酸（与氢气反应）、聚氯乙烯（PVC）、漂白剂（如次氯酸钙）等产品。盐酸是重要的化工试剂与工业原料，用于金属酸洗、医药合成与食品加工；PVC 是产量比较大的通用塑料之一，较广用于建筑管材、包装材料与医疗器械，某化工企业年产 100 万吨 PVC，需消耗氯气约 80 万吨。此外，氯气用于纺织工业漂白，可去除棉麻织物的天然色素，提升面料白度，适配服装、家纺产品生产；在工业废水处理中，氯气可氧化降解废水中的有机物与重金属离子，降低废水 COD 与重金属含量，某印染厂使用氯气处理废水后，COD 去除率达 75%，重金属离子达标排放。
半导体行业对气体的纯度与安全性有严格规范，上海弥正的稀有气体与卤素气体均符合 SEMI C12（纯度标准）与 SEMI S6（安全标准）。在生产环节，采用无死腔管路与电解抛光不锈钢容器，避免颗粒物污染，颗粒含量≤10 个 /m³；在检测环节，使用辉光放电质谱仪（GD-MS）检测杂质，精度达 ppt 级；在包装环节，采用内壁钝化处理的钢瓶，防止组分吸附。凭借 SEMI 认证，产品已进入东南亚半导体供应链，某欧洲客户反馈兼容性达 100%。
医用级稀有气体需符合《中华人民共和国药典》要求，上海弥正的医用氙气、氦气均通过无菌检测与毒性筛查。医用氙气纯度≥99.995%，水分≤1ppmv，无挥发性杂质；医用氦气纯度≥99.999%，一氧化碳、二氧化碳含量均≤0.5ppmv。生产过程在十万级洁净车间进行，包装采用一次性医用级气瓶，避免交叉污染。某三甲医院使用其医用氙气后，麻醉安全性提升 30%，通过 JCI 国际医疗认证。 氖气与氦气混合填充，可产生多种颜色霓虹灯，满足商业广告装饰多样化需求。
氪气作为稀有气体中热导率比较低、发光效率比较高的气体之一，其应用集中于照明与节能领域，凭借优异的性能实现高效照明与能量节约。在照明应用中，氪气填充的白炽灯与荧光灯，发光效率较传统氮气填充灯提升 30% 以上，且灯丝寿命延长 2-3 倍，这是因为氪气的低导热性可减少灯丝热量散失，降低灯丝蒸发速率。某汽车厂商使用氪气填充的前大灯，亮度达 3000 流明，照射距离达 500 米，且使用寿命长达 5000 小时，较普通卤素灯更适合夜间高速行驶。在节能玻璃领域，氪气密封于双层中空玻璃的腔体内，其热导率但为空气的 1/3，可明显降低室内外热量传递，提升建筑保温隔热性能。某写字楼采用氪气中空玻璃后，冬季供暖能耗降低 40%，夏季制冷能耗降低 35%，室内温度稳定性提升，空调运行负荷明显下降。此外，氪气还用于激光技术，氪气激光器输出的激光波长稳定，能量集中，广泛应用于激光雷达、眼科手术与材料加工；在低温物理学研究中，氪气可作为制冷剂，辅助实现极低温环境（-250℃以下），为超导材料与量子器件的研发提供支持。氩气用于金属 3D 打印，作为保护气防止打印件氧化，保障成型质量。辽宁氙气惰性气体稀有气体/卤素气体厂家现货
氦气沸点极低（-268.9℃），是低温制冷的理想介质，支撑超导技术研发。广东溴氯甲烷稀有气体/卤素气体光纤生产
半导体制造中，刻蚀工艺依赖卤素气体的强腐蚀性实现硅片图形化，不同卤素气体适配不同刻蚀需求。氟基混合气（如四氟化碳 - 氩气）可实现硅的各向同性刻蚀，用于浅槽隔离结构加工；氯基混合气（如氯气 - 氦气）适用于金属布线刻蚀，刻蚀速率可达 500nm/min；溴化氢混合气则在化合物半导体刻蚀中展现优势，能准确控制刻蚀深度。上海弥正的电子级卤素刻蚀气纯度≥99.999%，金属杂质≤0.01ppb，某晶圆厂使用其氟基混合气后，刻蚀图形线宽偏差从 ±0.1μm 缩小至 ±0.03μm，良率提升 12%。广东溴氯甲烷稀有气体/卤素气体光纤生产
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