氮化铝陶瓷 (AlN) 具有高导热性、高耐磨性和耐腐蚀性,是半导体和医疗行业比较理想的材料。典型应用包括:加热器、静电卡盘、基座、夹环、盖板和 MRI 设备。
氮化铝陶瓷在半导体和医疗上可表现以下特性:1高导热性与金属铝一样高,比氧化铝 (Al2O3) 高 7 倍;2与硅 (Si) 的热膨胀系数相似;3高电绝缘性;4在氟基气体气氛下对等离子具有高度耐受性;4高密度和细粒结构;5适用于不同用途的多种材料(高导热型/高纯度型);6适用于半导体制造设备的尺寸。 支持各种异型结构件的氮化铝厂家--鑫鼎陶瓷。广州半导体工业氮化铝陶瓷盘
高导热性和出色的电绝缘性使氮化铝适用于各种极端环境。氮化铝是一种高性能材料,特别适用于要求严苛的电气应用。氮化铝可以通过干压和烧结或使用适当的烧结助剂通过热压生产,这些过程的结果是一种在包括氢气和二氧化碳气氛在内的一系列惰性环境中在高温下稳定的材料。氮化铝主要用于电子领域,特别是当散热是一项重要功能时。氮化铝的特性也使其特别适用于制造耐腐蚀产品。以下是氮化铝的特性:1非常好的导热性.2热膨胀系数与硅相似.3良好的介电性能.4良好的耐腐蚀性.5在半导体加工环境中的稳定性.广州半导体工业氮化铝陶瓷盘精密加工机械氮化铝陶瓷零件。
氮化铝在陶瓷在常温和高温下都具有良好的耐蚀性、稳定性,在2450℃下才会发生分解,可以用作高温耐火材料,如坩埚、浇铸模具。氮化铝陶瓷能够不被铜、铝、银等物质润湿以及耐铝、铁、铝合金的溶蚀,可以成为良好的容器和高温保护层,如热电偶保护管和烧结器具;也可以抵御高温腐蚀性气体的侵蚀,用于制备氮化铝陶瓷静电卡盘这种重要的半导体制造装备的重要零部件。由于氮化铝对砷化镓等熔盐表现稳定,用氮化铝坩埚代替玻璃来合成砷化镓半导体,可以消除来自玻璃中硅的污染,获得高纯度的砷化镓半导体。
氮化铝(AlN)陶瓷是一种综合性能优良的新型陶瓷材料,具有优良的热传导性,可靠的申绝缘性,低的介电常数和介电损耗.无毒以及与硅相匹配的热膨胀系教等一系列优良特性.被认为是新-代高集程度半导体基片和电子器件封装的理想材料,受到了国内外研究者的高度重视.理论上,氮化铝的热导率为320W/(m)工业上实际制备的多晶氮化铝的热导率也可达100~250 W/(m).该数值是传统基片材料氧化铝热导离的5倍~10倍,接近于氧化铍的热导率,但由于氧化铍有剧毒,在工业生产中逐渐被停止使用.与其它几种陶瓷材料相比较,氮化铝陶瓷综合性能优良,非常适用于半导体基片和结构封装材料,在电子工业中的应用潜力非常巨大.另外,氮化铝陶瓷可用作熔炼有色金属和半导体材料砷化镓的坩埚、蒸发舟、热电偶的保护管、高温绝缘件,同时可作为耐高温耐腐蚀结构陶瓷、透明氮化铝陶瓷制品,因而成为一种具有很大应用前景的无机材料.高质量氮化铝陶瓷零件厂家--鑫鼎精密陶瓷。
氮化铝陶瓷是一种综合性能优良的新型陶瓷材料,具有优良的热传导性、可靠的电绝缘性、低的介电常数和介电损耗、无毒以及与硅相匹配的热膨胀系数等一系列优良特性,被认为是新一代高集程度半导体基片和电子器件封装的理想材料,受到了国内外研究者的重视。理论上,氮化铝的热导率接近于氧化铍的热导率,但由于氧化铍有剧毒,在工业生产中逐渐被停止使用。与其它几种陶瓷材料相比较,氮化铝陶瓷综合性能优良,非常适用于半导体基片和结构封装材料,在电子工业中的应用潜力非常巨大。另外,氮化铝还耐高温,耐腐蚀,不为多种熔融金属和融盐所浸润,因此,可用作高级耐火材料和坩埚材料,也可用作防腐蚀涂层,如腐蚀性物质的容器和处理器的里衬等。氮化铝粉末还可作为添加剂加入各种金属或非金属中来改善这些材料的性能。高纯度的氮化铝陶瓷呈透明状,可用作电子光学器件。氮化铝还具有优良的耐磨耗性能,可用作研磨材料和耐磨损零件。氮化铝陶瓷具有多方面的优越性能,应用前景十分广阔.氮化铝陶瓷结构件定制加工找鑫鼎陶瓷。广州半导体工业氮化铝陶瓷盘
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氮化铝陶瓷多零件可以用作微波管的集电极、夹极和能量传输窗口,氮化铝的介电损耗可低至10^(–4),当窗口热量过高时,可以有效保证电子器件的安全性。
氮化铝陶瓷可用作薄膜材料。氮化铝薄膜材料在高温下有良好的热稳定性和压电性,能在接近1200℃的高温环境下工作,是一种性能良好的压电材料。氮化铝薄膜可应用在微模块、传感器、集成电路和有源元件、MEMS中。
与其它几种陶瓷材料相比,氮化铝陶瓷具备优良的热、电、力学性能,随着现代科学技术的飞速发展,氮化铝陶瓷也必将在许多领域得到更为广的应用。 广州半导体工业氮化铝陶瓷盘