射频中和器采用L型接法匹配:匹配速度快,效率高,点火更优。源头和中和器结构经常拆解部分的内六角进行电镀及消气处理,防止拆卸过程卡死,备件及耗品重复利用率高。射频电源及控制部分单独装配在一个电柜内,RF线缆做防辐射和泄漏处理,避免对通讯、控制信号的干扰,同时也做良好的散热处理。直流电源电压纹波做了二次滤波处理,高压输出的纹波小于50mV,离子源束流的稳定性和重复性较好,镀膜的产品的折射率更稳定。射频部分匹配采用了硬件反馈和软件提前记忆并预判的技术;直流引入快速灭弧技术,同时提高了射频和直流部分的稳定性,软件设置了自检和自诊断功能,即:使用前系统自检,使用中即时刷新,对非调整性输入的变化提前警报并告知客户做好预案。成都真空镀膜机的生产厂家。上海真空镀膜射频离子源制造生产
【真空镀膜机的镀层与镀膜原理】A、原材料与基本原理:原材料都是树脂、聚合物、铁氟隆、硅酮、丙烯酸、硅酸盐等,辅料、配方与量度有所不同。例添加的乳化剂,不同的量相调和,乳化出来的状态就不一样,水状、乳状、膏状都可以实现。这些物质经乳化破乳后,部份渗透或形成薄膜。B、它们的特点和区别:镀层:渗透功能好(要视原材料颗粒da小),表面光滑度更优,对漆面较多“毛细孔”、粗糙、重喷过漆、漆面本身较硬需要增加光亮度的欧美车系漆面比较适用。镀膜:而镀膜产品添加了成膜助剂与固化剂,真空镀膜厂家使其瞬间成膜,性质相应的发生了改变。例如硬度比封釉更高,对需要提升漆面硬度的漆面(如日韩车系)比较适用。防护层的主要性能:①预防原车漆氧化与褪色:阻隔紫外线,da限度减少紫外线的透射伤害。②增加漆面光亮度:晶莹透亮的玻璃分子使汽车漆面流光溢彩,光芒耀人。③提升漆面硬度:提升抗磨损、抗划痕性能。④防止化学性侵害,延长漆面寿命:如碱性洗车、酸雨盐雾、虫液树胶、高温严寒对车漆的伤害。⑤增加车表的光滑度:手感丝滑,减少静电、尘埃附着及风阻系数,使日常养护更便捷。贵州离子束清洗射频离子源专业生产真空镀膜机故障维修技巧有哪些?
【真空镀膜机有哪些污染源】真空镀膜机是由许多精密的零部件所组成的,这些零部件均经过许多机械加工流程而制作出来,如焊接、磨、车、刨、镗、铣等工序。正因为有了这些工作,导致设备零部件表面不可避免地会沾染一些加工带来的油脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物。这些污染物在真空条件下易挥发,从而对设备的极限真空造成影响。此外,这些机械加工带来的真空污染物在da气压环境中吸附da量的气体,而到了真空状态下,这些原先吸附的气体也会被再次释放出来,成为限制真空系统的极限真空的一da主要因素。1、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发,将导致陶瓷绝缘子上形成一层薄膜,对其绝缘强度有一定的损坏,对其测量的准确性也有一定的影响;2、由于高温蒸发,会使真空中的电子qiang的灯丝附近表面形成一层金属膜;3、由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染;4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染;5、经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染;6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一da主要污染来源,镀膜机长期工作后,设备内部可能会形成一层油膜。
【真空镀膜机之真空泵的维护和保养】1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时,油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。4、一般情况下,泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。5、有条件的对管中同样进行清理,确保管路畅通。6、重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。7、本系列泵油采用专业用真空泵油。射频离子源可用于表面处理、材料改性、离子注入、等离子体刻蚀等应用。
本申请还涉及一种射频离子源离子束束径控制方法,也即采用上述束径控制装置进行离子束束径控制的方法,包括以下步骤:s1,对真空腔体5进行抽真空;s2,打开离子束发生器7,调整电压电流参数;s3,在控制器6的输入界面中输入离子束束径值;s4,点击控制器6的执行按钮,控制器6向驱动器8发出指令,驱动器8控制驱动机构动作;s5,驱动组件驱动滑环41转动并带动导柱24在导槽42中滑动,叶片2绕固定轴23转动使光阑3大小与输入的离子束束径值一致。下面给出一种采用该方法进行抛光的具体步骤:1、打开离子束抛光系统电源、水冷装置、工作氩气等;2、放置光学元件,采用合适夹具将光学元件固定;3、对真空腔体进行抽真空,保证实验的真空状态,且真空腔体压强需达到×10-3pa以上;4、打开离子源也即离子束发生器,调整好离子源的电压电流等参数;5、根据被抛光元件尺寸及检测后的面形参数情况选择离子束束径,将离子束束径参数输入控制器的计算机控制界面;6、点击控制器的执行按钮,控制器向驱动器发出指令,驱动器控制驱动机构动作;7,伺服电机驱动滑环转动并带动导柱在导槽中滑动,叶片绕固定轴转动使光阑大小与输入的离子束束径值一致;8、控制离子束垂直入射法拉第杯。真空镀膜机的培训资料。江西射频离子源自主研发设计生产
射频离子源可用于能源领域,如核能、太阳能等。上海真空镀膜射频离子源制造生产
【真空镀膜机操作工艺流程】首先开水、电、气→总电源→开维持泵→开扩散泵加热→开粗抽泵→开预抽阀→关预抽阀→开粗抽阀→开罗茨泵→如有离子轰击,开轰击30秒,关轰击→开真空计→当真空到,关粗抽阀→开前置阀→开精抽阀,当真空达到7x10-3pa,开转架→开始镀膜操作→镀膜完毕后,关闭真空计、离子源→关精抽阀,前置阀→关罗茨泵→开抽气阀,取件→上料,反复开始操作。特别注意:1.设备停用时,镀膜室要保持真空状态,减少内表面气体的吸附,防止氧化。2.冷却水通道场下才能对扩散泵进行加热,未经充分冷却的泵不得与da气接触,防止氧化。3.要保证机器内扩散泵和机械泵的油定期检查和更换。4.设备运行中遇有停电或其它事故发生,须先停扩散泵,关精抽阀,前置阀和真空计。5.产品做完下班后,关了扩散泵后须待温度降低至60℃后才能关维持泵。上海真空镀膜射频离子源制造生产