【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏,真空度的高低是直接影响到镀膜效果的,所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。三、检查漏孔的da小,形状、位置,漏气的速度,制备出可解决方案并实施。四、确定检测仪器的小可检漏率和检漏灵敏性,以da范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误,检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多种多样,我们要一一的解决这些原因,稳定镀膜的效果。射频离子源可用于航空航天领域,如推进系统、导航系统等。宁夏真空镀膜射频离子源生产厂家
【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。天津光学镀膜射频离子源自主研发设计生产国产真空镀膜机厂商推荐。
本发明涉及离子束溅射镀膜及超精密抛光技术领域,尤其涉及一种射频离子源离子束束径约束器、束径控制装置及方法。背景技术:离子束超精密加工研究中,离子源起着非常重要的作用。离子源是产生离子束流的装置,又是离子束设备中的关键部件。不论是光学薄膜的制备还是纳米尺度的离子束刻蚀和抛光,高性能的离子束流都是不可缺少的。目前采用的离子束源主要有考夫曼离子源、微波ecr离子源和射频离子源,其工作原理是利用气体放电产生等离子体,等离子体由电子、离子和中性粒子所组成,并被引出成束,成为离子源。射频离子源由德国giessen大学,,从电火箭空间应用向地面应用扩展而来。这种离子源具有结构简单、无极放电的优点,因而对任何气体特别是反应气体具有长寿命、效率高的特点。采用射频离子源镀制的膜层具有吸收少、漂移小、效率高、致密性好、牢固性高等优点;同时,射频离子源离子束抛光在超精密光学元件的**终加工中应用也非常***,是一种去除精度达到原子级别的抛光技术,被认为是加工精度**高,修形效果**好的光学元件修形技术,在此过程中,具有一定能量和空间分布的离子束流轰击光学元件表面,利用轰击时发生的物理溅射效应去除光学元件表面材料。
【真空镀膜机真空检漏方法普及之荧光检漏法】荧光检漏法首先需要将荧光材料溶于如丙tong等一些浸润性能好、易于挥发的有机溶剂中,使之成为饱和溶液;然后将被检的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面,这一过程中,为了提升效果、缩短浸泡时间,可以在抽真空或者加压条件下对其进行浸泡。如果存在漏孔,荧光剂溶液会因毛细作用渗入到其中;qing除表面多余的溶液,待有机溶剂挥发后,荧光材料便会在漏孔中残留下来;此时再用紫外线灯光照射,漏孔位置就会观察到明显的荧光点。在进行紫外光源照射时,对于一些存在盲孔、表面不平的器件,可能也会存在残留荧光材料,因此玻璃真空器件好在背面进行照射观察;为了提高对比度也可以采用滤光放da镜,过滤掉紫外线以外的其他光线,来获得更佳的观察效果;而在荧光材料的选择时要注意其发光颜色和被检真空部件的颜色要有明显的反差。荧光检漏法不仅用于真空系统检漏中,而且也被用于铸件、模压金属件以及焊接件的裂纹检查等。真空镀膜机的操作培训。
【真空镀膜机镀塑料件时抽真空时间过长是什么原因?】(1)真空室有漏气现象:da家都知道,真空蒸发镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的,若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置,则真空镀很长时间都不能抽得上来的;(2)即使真空室没有漏气,因为塑料产品的放气量da,所以抽真空,特别是高真空很难达到。真空室内太脏放气,而且由于塑料产品的放气,造成真空室内镀膜气体的不纯,有杂气的存在,造成镀膜产品的颜色发暗,发黄,发黑等。(3)也许是真空机组的抽气能力不够了,油被污染或氧化了。(4)真空室有漏水。(5)抽空管道有漏气。真空镀膜机的应用领域。宁夏真空镀膜射频离子源生产厂家
射频离子源是一种高能离子源,可用于各种科学研究和工业应用。宁夏真空镀膜射频离子源生产厂家
【真空镀膜之离子束溅射镀膜】离子束溅射沉积法在离子源内由惰性气体(通常为氩)产生具有较高能量的离子轰击靶材料,把靶材料沉积到基片上的方法。离子束溅射沉积法的一da优点是基片相对于离子源和靶是du立的,它的温度可以单独控制。基片通常接地位,它和靶与高频电路无关,不会象阴极溅射镀膜那样受到高能电子的轰击,因而温度较低。所以只要配置一台较好的恒温循环器(如HX1050型,控温范围为-10℃~50℃,精度≤0。5℃),实现对样品台的单独控温,就可以根据不同样品的要求以及薄膜生长不同阶段的温度需要进行适当调节。根据现有离子束溅射设备的构造,设计、加工了专门的金属样品架,放上样品后盖上金属压片,用螺丝紧密地固定在镀膜腔体的样品台上,可使样品和控温的样品台有良好的热接触。并在样品架中放置了一个测温铂电阻,用螺丝把金属压片连同其下的铂电阻一起固定压紧,再用导线引出与高精度的万用表相连,以监测薄膜生长过程中的样品温度。宁夏真空镀膜射频离子源生产厂家