【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】: 白雾形成在膜内,无法用擦拭方法去除。 可能成因: 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前(洗净后)受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良,洗净痕迹,擦拭痕迹 8. 真空室脏、水汽过重 9. 环境湿度大 改善对策:基片本身的问题可能时主要的镀膜室尽量弥补,镀膜本身Zui大的可能室膜料匹配问题。 1. 改进膜系,第yi层不用氧化锆 2. 尽量减少真空室开门时间 3. 真空室在更换护板、清洁后,Zui好能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净 4. 改善环境 5. 妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染 6. 改善洗净、擦拭效果 7. 改善膜匹配(考虑第yi层用Al2O3) 8. 改善膜充氧和蒸发速率(降低) 9. 加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10. 抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。真空镀膜设备参数怎么调?安徽真空镀膜设备生产批发
【光谱分光不良的补救(补色)之其他情况】:分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。中断的原因形式之其他情况:对于用错程序,错误操作(预熔未关闭挡板等)人为中断需要补救的;以及反光膜、滤光膜镀后需要补救的情况处理方案:模拟:将实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值。通过计算机模拟(一般是Zui后一层的膜厚确认),找到与实现测试值结果相应的膜系数据。湖南华星光电真空镀膜设备真空镀膜设备品牌推荐。
【真空镀膜设备之涡轮分子泵】: 涡轮分子泵:涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。主要用于高真空或超高真空,属于干泵,极限真空10&7~10&8Torr,烘烤后可到10&10Torr,抽速可从50L/S~3500L/S。分子泵是靠高速转动的涡轮转子携带气体分子而获得高真空、超高真空的一种机械真空泵。泵的转速为10000转/分到50000转/分,这种泵的抽速范围很宽,但不能直接对大气排气,需要配置前级泵。分子泵抽速与被抽气体的种类有关,如对氢的抽速比对空气的抽速大20%。
【真空镀膜真空蒸发镀膜原理】: 真空蒸发法的原理是:在真空条件下,用蒸发源加热蒸发材料,使之蒸发或升华进入气相,气相粒子流直接射向基片上沉积或结晶形成固态薄膜;由于环境是真空,因此,无论是金属还是非金属,在这种情况下蒸发要比常压下容易得多。真空蒸发镀膜是发展较早的镀膜技术,其特点是:设备相对简单,沉积速率快,膜层纯度高,制膜材料及被镀件材料范围很广,镀膜过程可以实现连续化,应用相当guang泛。按蒸发源的不同,主要分为:电阻加热蒸发、电子束蒸发、电弧蒸发和激光蒸发等。真空镀膜设备厂家前几。
真空镀膜真空溅射法】:真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。真空镀膜设备品牌排行。云南真空镀膜设备的保养
真空镀膜设备真空四个阶段。安徽真空镀膜设备生产批发
【真空镀膜真空的基本概念】: 真空的划分: 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 极高真空 <10E&12Torr 流导(导通量):表示真空管道通过气体的能力,单位为升/秒(L/S)。一般情况下,管道越短,直径越大,表面越光滑,越直的管道流导也越大。 流量:单位时间内流过任意截面的气体量,单位为Torr·L/s或Pa·L/s。 抽气速率:在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。单位一般为L/S或m3/hr或CFM。 极限真空:真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。 安徽真空镀膜设备生产批发