真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。真空镀膜机的主要应用有哪些。海南二手光学真空镀膜机
【真空镀膜机冲洗工艺之反应气体冲洗】这种方法特别适用于da型超高不锈钢真空系统的内部洗(去除碳氢化合物污染)。通常对于某些da型超高真空系统的真空室和真空元件,为了获得原子态的清洁表面,消除其表面污染的标准方法是化学清洗,真空炉焙烧、辉光放电清洗及原能烘烤真空系统等方法。以上的清洗和除气方法常用于真空系统安装前及装配期间。在真空系统安装后(或系统运行后),由于真空系统内的各种零部件已经被固定,这时对它们进行除气处理就很困难,一旦系统受到(偶然)污染(主要是da原子数的分子如碳氢化合物的污染),通常要拆卸后重新处理再安装.而用反应气体工艺,可以进行原位在线除气处理.上海手机真空镀膜机多少钱真空镀膜机国内有哪些产商?
【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏,真空度的高低是直接影响到镀膜效果的,所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。三、检查漏孔的da小,形状、位置,漏气的速度,制备出可解决方案并实施。四、确定检测仪器的小可检漏率和检漏灵敏性,以da范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误,检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。
【真空镀膜机常见故障】: 一、 当正在镀膜室真空突然下降 1. 蒸发源水路胶圈损坏(更换胶圈) 2. 坩埚被打穿(更换坩埚) 3. 高压电极密封处被击穿(更换胶圈) 4. 工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 5. 预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 6. 高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 7. 机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常) 8. 烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈) 9. 挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 10. 玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃) 二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空: 1. 蒸发室有很多粉尘(应清洗) 2. 扩散泵很久未换油(应清洗换油) 3. 前级泵反压强da太机械泵真空度太低(应清洗换油) 4. 各动密封胶圈损坏(更换胶圈) 5. 由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈) 6. 蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈) 7. 各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧) 8. 高低预阀是否密封可靠(注油)真空镀膜机的工作原理和构成。
【真空镀膜的分类】真空镀膜的镀层结构一般为:基材、底漆、真空膜层、面漆,因靶材理化特性直接决定膜层的特性,根据膜层的导电与否,可分为导电真空镀膜(VM)和不导电真空镀膜(NCVM)两种。VM:一般用在化妆品类、NB类、3C类、汽配类按键、装饰框、按键RING类饰品的表面处理,其表面效果与水电镀相媲美,靶材一般为铝、铜、锡、金、银等。NCVM:具有金属质感、透明,但不导电,一般用在通讯类、3C类对抗扰要较高的机壳、装饰框、按键件、RING类饰品的表面处理,其表面效果为水电镀不可取代,靶材一般为铟、铟锡。三、扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。首先启动维持泵,关好da门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到标准,否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。红外真空镀膜机制造商有哪些。海南二手光学真空镀膜机
真空镀膜机的升级改造。海南二手光学真空镀膜机
【机械泵分类】机械泵有很多种,常用的有滑阀式、活塞往复式、定片式和旋片式四种类型。 机械泵是从da气开始工作的,它的主要参数有极限真空,抽气速率,此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从da气抽到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵可以将容器从da气抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽气速率,是指旋片泵按额定转数运转时,单位时间内所能排出气体的体积,可以用下公式计算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积,L表示空腔长度,系数表示转子每旋转一周有两次排气过程,Vs表示当转子处于水平位置的时候,吸气结束,此时空腔内的体积da,转速为n。机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时候,机械泵的排气效果也会变差,所以要经常保养,点检,机械泵油的密封效果也需要常常点检,油过少,达不到密封效果,泵内会漏气,油过多,把吸气孔堵塞,无法吸气和排气,一般,在油位在线下0.5厘米即可。 海南二手光学真空镀膜机