本发明的优点在于:本申请的束径约束器通过驱动组件驱动滑环旋转,以使叶片转动来进行光阑的大小调节,调节方便且调节精度高;而采用包含该束径约束器的束径控制装置进行束径调节时,通过在控制器上输入离子束束径值即可实现光阑大小的调节,无需关闭离子源和打开真空腔体,调节效率高、自动化程度好。附图说明图1为现有技术中采用曲面栅网调节束径的结构示意图。图2为本申请中离子束采用平面栅网的结构示意图。图3为本申请中束径约束器结构示意图。图4为图3的示意图。图5为为图4的进一步示意图。图6为本申请中的叶片结构示意图。图7为本申请中的束径控制装置的示意图。具体实施方式下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,*用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。如图3至6所示为本申请的束径约束器的结构示意图,如图所示,该射频离子源离子束束径约束器,包括底座1、多个叶片2及驱动机构,底座1上设置有可供离子束穿过的中空结构11,多个叶片2设于底座1一端并环绕底座1的中空结构11呈圆周排布。真空镀膜机的工作原理。四川离子束辅助沉积射频离子源厂家
【真空镀膜之磁控溅射镀膜】磁控溅射对阴极溅射中电子使基片温度上升过快的缺点加以改良,形成了电场和磁场方向相互垂直的特点。在正交的电磁场的作用下,电子以摆线的方式沿着靶表面前进,从而xianzhu地延长了电子的运动路程,增加了同工作气体分子的碰撞几率,提高了电子的电离效率。由于电子每经过一次碰撞损失一部分动能,经过多次碰撞后,丧失了能量成为“终电子”进入离阴极靶面较远的弱电场区,后到达阳极时已经是能量消耗殆尽的低能电子,也就不再会使基片过热。同时高密度等离子体被束缚在靶面附近,又不与基片接触,这样电离产生的正离子能十分有效地轰击靶面,而基片又可免受等离子体的轰击,因而基片温度又可降低。在溅射仪起辉以后,并不把样品转入阳极的生长位置,也不通循环水,使样品随放电的热能而逐渐升高至一定温度后,才开始生长,以减小应力,获得牢固度较高的薄膜。另外在样品盘中还安装了温控仪(精度小于1℃)以监控薄膜生长过程中的样品温度。四川离子束辅助沉积射频离子源厂家锦成国泰真空镀膜机怎么样?
【真空镀膜之电解抛光】电抛光是一种电化学过程,其中浸没在电解质中的工件的原子转化成离子,并由于电流的通过而从表面移除,从而达到工件表面除去细微毛刺和光亮度增da的效果。适用材料:多数金属都可以被电解抛光,其中常用于不锈钢的表面抛光(尤其适用于奥氏体核级不锈钢)。2.不同材料不可同时进行电解抛光,甚至不可以放在同一个电解溶剂里。工艺成本:电解抛光整个过程基本由自动化完成,所以人工费用很低。环境影响:电解抛光采用危害较小的化学物质,整个过程需要少量的水且操作简单,另外可以延长不锈钢的属性,起到让不锈钢延缓腐蚀的作用。
【真空镀膜之水转印】水转印是利用水压将转印纸上的彩色纹样印刷在三维产品表面的一种方式。随着人们对产品包装与表面装饰要求的提高,水转印的用途越来越广fan。适用材料:所有的硬材料都适合水转印,适合喷涂的材料也一定适用于水转印。常见的为注塑件和金属件。工艺成本:无模具费用,但需要利用夹具将多件产品同时进行水转印,时间成本一般每周期不会超过10分钟。环境影响:和产品喷涂比较而言,水转印更充分的应用了印刷涂料,减少了废料泄漏和材料浪费的可能。离子真空镀膜机是什么?
【真空镀膜之金属拉丝】金属拉丝:是指通过研磨产品在工件表面形成线纹,并且起到装饰效果的一种表面处理手段。根据拉丝后纹路的不同可分为:直纹拉丝、乱纹拉丝、波纹、旋纹适用材料:几乎所有的金属材料都可以使用金属拉丝工艺工艺成本:工艺方法简单,设备需求简单,材料消耗比较少,成本比较低廉,经济效益尤其高环境影响:纯金属制品,表面无油漆等任何化学化工物质,600度高温不燃烧,不会产生有毒气体,符合消防标准的环保要求射频离子源具有高效、稳定、可靠的特点,可满足不同领域的需求。福建大直径射频离子源多少钱
射频离子源可用于表面处理、材料改性、离子注入、等离子体刻蚀等应用。四川离子束辅助沉积射频离子源厂家
【真空镀膜机之真空泵的维护和保养】1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时,油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。4、一般情况下,泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。5、有条件的对管中同样进行清理,确保管路畅通。6、重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。7、本系列泵油采用专业用真空泵油。四川离子束辅助沉积射频离子源厂家