【真空镀膜真空的基本概念】: 真空的划分: 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 极高真空 <10E&12Torr 流导(导通量):表示真空管道通过气体的能力,单位为升/秒(L/S)。一般情况下,管道越短,直径越大,表面越光滑,越直的管道流导也越大。 流量:单位时间内流过任意截面的气体量,单位为Torr·L/s或Pa·L/s。 抽气速率:在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。单位一般为L/S或m3/hr或CFM。 极限真空:真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。 磁控溅射真空镀膜设备是什么?新疆玻璃真空镀膜设备
【光谱分光不良的补救(补色)之其他情况】:分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。中断的原因形式之其他情况:对于用错程序,错误操作(预熔未关闭挡板等)人为中断需要补救的;以及反光膜、滤光膜镀后需要补救的情况处理方案:模拟:将实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值。通过计算机模拟(一般是Zui后一层的膜厚确认),找到与实现测试值结果相应的膜系数据。优化:根据模拟得到的膜系数据,输入产品要求的优化目标值,通过加层、优化后续膜层的方法,重新优化设计一个补救膜系。试镀:确认、完善补救膜系效果补救镀:完成补救工作辽宁米尼真空镀膜设备厂真空镀膜设备相关资料。
【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之破边、炸裂】:一般的镀膜会对基片加热,由于基片是装架在金属圈、碟内,由于镜圈或碟片与镜片(基片)的热膨胀系数不一致,冷却过程中会造成镜片的破便或炸裂。有些大镜片,由于出罩时的温度较高,与室温的温差较大,镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。改善对策:1.夹具(镜圈、碟片)的设计,在尺寸配合上要合理,充分考虑制造误差带来的影响。2.注意镜圈、碟片的变形,已经变形的夹具不能使用。3.选用合适的夹具才来哦(非导磁材料、不生锈、耐高温不变性),不锈钢较为理想(热变形系数小),就是加工难度大,价格贵。4.对于大镜片应降低出罩时的温度,减少温差,防止炸裂。5.如果时镜圈,可以考虑在镜圈上开槽,作为缓冲。
【真空镀膜磁控溅射法】: 溅射镀膜Zui初出现的是简单的直流二极溅射,它的优点是装置简单,但是直流二极溅射沉积速率低;为了保持自持放电,不能在低气压(<0.1 Pa)下进行;不能溅射绝缘材料等缺点限制了其应用。 磁控溅射是由二极溅射基础上发展而来,在靶材表面建立与电场正交磁场,解决了二极溅射沉积速率低,等离子体离化率低等问题,成为目前镀膜工业主要方法之一。磁控溅射与其它镀膜技术相比具有如下特点:可制备成靶的材料广,几乎所有金属,合金和陶瓷材料都可以制成靶材;在适当条件下多元靶材共溅射方式,可沉积配比精确恒定的合金;在溅射的放电气氛中加入氧、氮或其它活性气体,可沉积形成靶材物质与气体分子的化合物薄膜;通过精确地控制溅射镀膜过程,容易获得均匀的高精度的膜厚;通过离子溅射靶材料物质由固态直接转变为等离子态,溅射靶的安装不受限制,适合于大容积镀膜室多靶布置设计;溅射镀膜速度快,膜层致密,附着性好等特点,很适合于大批量,高效率工业生产。近年来磁控溅射技术发展很快,具有代表性的方法有射频溅射、反应磁控溅射、非平衡磁控溅射、脉冲磁控溅射、高速溅射等。真空镀膜机参数怎么调?
【真空镀膜设备的分类】: 这个问题如果在十年之前,其实是很容易回答的,就是两个大类,物理沉积设备和化学沉积设备。现在这样回答也是没错的,但现在再这样回答就没办法把事情说清楚了,所以从应用领域上可以分成以下几类: 传统光学器件(镜片,滤光片)所用的镀膜设备:单腔体或多腔体蒸发式镀膜设备,溅射式镀膜设备。 新材料领域的柔性设备:卷对卷柔性镀膜设备。 光通讯行业:离子束溅射镀膜设备。 半导体及相似工艺:化学气相沉积设备。 功能膜:多弧离子镀设备,溅射设备,蒸发设备 玻璃工艺:溅射式连续线 其余的就得归到“工艺定制设备”这个范围里面了,例如车灯镀膜设备,太阳能的共蒸发设备,光纤镀膜设备,太阳能管设备等等 真空镀膜设备国内有哪些产商?新疆玻璃真空镀膜设备
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【真空镀膜真空溅射法】: 真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。 主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。新疆玻璃真空镀膜设备