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空心阴极霍尔离子源基本参数
  • 品牌
  • 锦成国泰
  • 型号
  • 空心阴极霍尔离子源
空心阴极霍尔离子源企业商机

【真空镀膜设备之真空的获得】:真空泵:真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广fan用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。A、粗真空泵(RoughVacuumPump):一般用于抽粗真空,有油泵和干泵。从结构上可分几种:旋转叶片泵:油泵,极限真空可达10&3Torr,抽速1~650CFM隔膜泵:干泵,极限真空1Torr左右,抽速<10CFM往复式活塞泵:干泵,极限真空10&2Torr,抽速6~32CFM涡旋式真空泵:干泵,极限真空10&2Torr,抽速12~25CFM螺旋泵:干泵,极限真空10&3Torr,抽速30~318CFM真空镀膜机厂家排名。甘肃真空镀膜空心阴极霍尔离子源厂家

【机械泵分类】机械泵有很多种,常用的有滑阀式、活塞往复式、定片式和旋片式四种类型。机械泵是从da气开始工作的,它的主要参数有极限真空,抽气速率,此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从da气抽到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵可以将容器从da气抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽气速率,是指旋片泵按额定转数运转时,单位时间内所能排出气体的体积,可以用下公式计算:Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸气结束时空腔截面积,L表示空腔长度,系数表示转子每旋转一周有两次排气过程,Vs表示当转子处于水平位置的时候,吸气结束,此时空腔内的体积da,转速为n。机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时候,机械泵的排气效果也会变差,所以要经常保养,点检,机械泵油的密封效果也需要常常点检,油过少,达不到密封效果,泵内会漏气,油过多,把吸气孔堵塞,无法吸气和排气,一般,在油位在线下0.5厘米即可。四川AR/IR镀膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家国产真空镀膜机厂商推荐。

【真空镀膜机检漏之气压检漏】气压检漏被检零部件内腔充以气体(一般为空气),充气压力的高低视零部件的强度而定,一般为(2~4)×105帕。充压后的零部件如发出明显的嘶嘶声,音响源处就是漏孔位置。用这种方法可检较小漏率为5帕·升/秒的漏孔。如不能用声音直接察觉漏孔,则用皂液涂于零部件可疑表面处,有气泡出现处便是漏孔位置。用这种方法较小可检漏率为5×10-3帕·升/秒的漏孔。此外,还可将充气的零部件浸在清净的水槽中,气泡形成处便是漏孔位置。用水槽显示漏孔,方便可靠,并能同时全部显示出漏孔位置。如气泡小、成泡速度均匀、气泡持续时间长,则为×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔。如气泡da、成泡持续时间短,则为13~103帕·升/秒漏率的漏孔。

【真空镀膜机之卷绕机构设计中应考虑的问题】①提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min,现在也只有80m/min~120m/min,在国外日本的EW系列产品中,其卷绕速度已达到300m/min,德国L.H公司生产的镀膜机已达到600m/min,可见随着镀膜技术的发展,卷绕速度有待提高。②带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要,因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定,才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜(如电容器膜)尤为重要。③带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高,带状基材在卷绕镀膜过程中,起褶和发生偏斜,严重时会造成基材的断裂,使生产中断,既影响生产效率,又浪费材料。因此,在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。真空镀膜机使用时,需要注意哪些问题?

【真空镀膜技术专业词汇】真空镀膜vacuumcoating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。基片substrate:膜层承受体。试验基片testingsubstrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。镀膜材料coatingmaterial:用来制取膜层的原材料。蒸发材料evaporationmaterial:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。溅射材料sputteringmaterial:有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。膜层材料(膜层材质)filmmaterial:组成膜层的材料。蒸发速率evaporationrate:在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔溅射速率sputteringrate:在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。沉积速率depositionrate:在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。镀膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。电子束蒸发真空镀膜机是什么?成都玻璃镀膜空心阴极霍尔离子源专业生产

真空镀膜机日常怎么维护?甘肃真空镀膜空心阴极霍尔离子源厂家

【真空镀膜机有哪些污染源】真空镀膜机是由许多精密的零部件所组成的,这些零部件均经过许多机械加工流程而制作出来,如焊接、磨、车、刨、镗、铣等工序。正因为有了这些工作,导致设备零部件表面不可避免地会沾染一些加工带来的油脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物。这些污染物在真空条件下易挥发,从而对设备的极限真空造成影响。此外,这些机械加工带来的真空污染物在da气压环境中吸附da量的气体,而到了真空状态下,这些原先吸附的气体也会被再次释放出来,成为限制真空系统的极限真空的一da主要因素。1、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发,将导致陶瓷绝缘子上形成一层薄膜,对其绝缘强度有一定的损坏,对其测量的准确性也有一定的影响;2、由于高温蒸发,会使真空中的电子qiang的灯丝附近表面形成一层金属膜;3、由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染;4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染;5、经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染;6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一da主要污染来源,镀膜机长期工作后,设备内部可能会形成一层油膜。甘肃真空镀膜空心阴极霍尔离子源厂家

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