【溅射镀膜定义】:定义:所谓溅射,就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下,形成气体等离子体(辉光放电),其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击,阳离子和靶材进行能量交换,使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出(其中逸出的还可能包含靶材离子)。这一整个的动力学过程,就叫做溅射。入射离子轰击靶面时,将其部分能量传输给表层晶格原子,引起靶材中原子的运动。有的原子获得能量后从晶格处移位,并克服了表面势垒直接发生溅射;有的不能脱离晶格的束缚,只能在原位做振动并波及周围原子,结果使靶的温度升高;而有的原子获得足够大的能量后产生一次反冲,将其临近的原子碰撞移位,反冲继续下去产生高次反冲,这一过程称为级联碰撞。级联碰撞的结果是部分原子达到表面,克服势垒逸出,这就形成了级联溅射,这就是溅射机理。当级联碰撞范围内反冲原子密度不高时,动态反冲原子彼此间的碰撞可以忽略,这就是线性级联碰撞。真空镀膜设备使用时,需要注意哪些问题?海南真空镀膜设备类型
【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之灰点脏】: 现象:镜片膜层表面或内部有一些电子(不是膜料点),有些可擦除,有些不能擦除。并且会有点状脱膜产生。 原因: 1. 真空室脏 2. 镜圈或碟片脏 3. 镜片上伞时就有灰尘点,上伞时没有检查挑选。 4. 镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因,特别是当镜片热的时候,更容易吸附灰尘,而且难以擦除。 改善思路:杜绝灰尘源 1. 工作环境改造成洁净车间,严格按洁净车间规范实施。 2. 尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。 3. 真空室周期打扫,保持清洁。 广西真空镀膜设备出租关于真空镀膜机,你知道多少?
【真空镀膜设备捡漏方法】:检漏方法很多,根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法:在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质便从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质,从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小,此即充压检漏法。真空检漏法:被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态,在被检件的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间,由敏感元件检测出示漏物质,从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,这就是真空检漏法。其它检漏法:被检件既不充压也不抽真空,或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件,然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出.以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体,判定被检件的总漏率的方法。
【真空镀膜电阻加热蒸发法】:电阻加热蒸发法就是采用钨、钼等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让电流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放入坩锅中进行间接加热蒸发。利用电阻加热器加热蒸发的镀膜设备构造简单、造价便宜、使用可靠,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。目前在镀铝制品的生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发的工艺。电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的Zui高温度有限,加热器的寿命也较短。近年来,为了提高加热器的寿命,国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加热器。真空镀膜设备公司排名。
【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜强度】:膜强度时镜片镀膜的一项重要指标,也是镀膜工序Zui常见的不良项。膜强度的不良(膜弱)主要表现为:1.擦拭专yong胶带拉撕,产生成片脱落2.擦拭专yong胶带拉撕,产生点状脱落3.水煮15分钟后用专yong胶带拉撕产生点状或片状脱落4.用专yong橡皮头、1Kg力摩擦40次,有道子产生5.膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子改善思路:基片与膜层的结合是首要考虑的,其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。离子真空镀膜设备是什么?新疆蒸发真空镀膜设备
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【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜料点】: 膜料点不良也是镀膜产品的一个常见问题,在日企、台企把膜料点称为“斑孔”。顾名思义,膜料点就是蒸镀中,大颗粒膜料点随着膜料蒸汽分子一起蒸镀到了基片的表面。在基片表面形成点状的突起,有时是个别点,严重时时成片的细点,大颗粒点甚至打伤基片表面。 改善对策: 1. 选择杂质少的膜料 2. 对易飞溅的膜料选择颗粒合适的膜料 3. 膜料在镀前用网筛筛一下 4. 精心预熔 5. 用一把电子抢镀制几种膜料时,防止坩埚转动中膜料参杂及挡板掉下膜料渣造成膜料污染。 6. 尽Zui大可能使用蒸发舟、坩埚干净。 7. 选择合适的蒸发速率及速率曲线的平滑。 8. 膜料去潮,将待用膜料用培养皿盛放在真空室干燥。海南真空镀膜设备类型