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【真空镀膜之磁控溅射镀膜】磁控溅射对阴极溅射中电子使基片温度上升过快的缺点加以改良,形成了电场和磁场方向相互垂直的特点。在正交的电磁场的作用下,电子以摆线的方式沿着靶表面前进,从而xianzhu地延长了电子的运动路程,增加了同工作气体分子的碰撞几率,提高了电子的电离效率。由于电子每经过一次碰撞损失一部分动能,经过多次碰撞后,丧失了能量成为“终电子”进入离阴极靶面较远的弱电场区,后到达阳极时已经是能量消耗殆尽的低能电子,也就不再会使基片过热。同时高密度等离子体被束缚在靶面附近,又不与基片接触,这样电离产生的正离子能十分有效地轰击靶面,而基片又可免受等离子体的轰击,因而基片温度又可降低。在溅射仪起辉以后,并不把样品转入阳极的生长位置,也不通循环水,使样品随放电的热能而逐渐升高至一定温度后,才开始生长,以减小应力,获得牢固度较高的薄膜。另外在样品盘中还安装了温控仪(精度小于1℃)以监控薄膜生长过程中的样品温度。真空镀膜机真空度多少？山西离子束清洗射频离子源制造生产厂家

【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。3.在重新开机前，要注意检漏。方法：启动维持泵，关好da门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。贵州离子束清洗射频离子源多少钱广东真空镀膜机厂家。

【常见的真空材料表面上的污染物类型】1、油脂：加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；2、酸、碱、盐类物质：清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；3、表面氧化物：材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物；4、水基类：操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等；5、抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物等。清洗这些污染物的目的是为了改进真空镀膜机的工作稳定性，使工作能够更加顺利的进行。清洗后的表面根据要求分为原子级清洁表面和工艺技术上的清洁表面两类。在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜前，对镀膜材料做简单的表面清洁可以延长镀膜机的使用寿命。因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。前期到位的清洗工作可以减少许多麻烦，避免许多小问题的发生，对工作效率、真空镀膜机镀膜质量都具有十分积极的作用。可dada提高真空系统中所有器壁和其它组件表面在各工作条件下的工作稳定性。

【真空镀膜的分类】真空镀膜的镀层结构一般为：基材、底漆、真空膜层、面漆，因靶材理化特性直接决定膜层的特性，根据膜层的导电与否，可分为导电真空镀膜（VM）和不导电真空镀膜（NCVM）两种。VM：一般用在化妆品类、NB类、3C类、汽配类按键、装饰框、按键RING类饰品的表面处理，其表面效果与水电镀相媲美，靶材一般为铝、铜、锡、金、银等。NCVM：具有金属质感、透明，但不导电，一般用在通讯类、3C类对抗扰要较高的机壳、装饰框、按键件、RING类饰品的表面处理，其表面效果为水电镀不可取代，靶材一般为铟、铟锡。三、扩散泵连续使用6个月以上，抽的速度会显然变慢，当操作不当应拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。首先启动维持泵，关好da门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到标准，否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。真空镀膜机真空四个阶段。

【真空镀膜机之卷绕机构设计中应考虑的问题】①提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度，它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min，现在也只有80m/min～120m/min，在国外日本的EW系列产品中，其卷绕速度已达到300m/min，德国L．H公司生产的镀膜机已达到600m/min，可见随着镀膜技术的发展，卷绕速度有待提高。②带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要，因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定，才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜（如电容器膜）尤为重要。③带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高，带状基材在卷绕镀膜过程中，起褶和发生偏斜，严重时会造成基材的断裂，使生产中断，既影响生产效率，又浪费材料。因此，在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。真空镀膜机找成都国泰真空设备有限公司。浙江离子束清洗射频离子源自主研发设计生产

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射频中和器采用L型接法匹配：匹配速度快，效率高，点火更优。源头和中和器结构经常拆解部分的内六角进行电镀及消气处理，防止拆卸过程卡死，备件及耗品重复利用率高。射频电源及控制部分单独装配在一个电柜内，RF线缆做防辐射和泄漏处理，避免对通讯、控制信号的干扰，同时也做良好的散热处理。直流电源电压纹波做了二次滤波处理，高压输出的纹波小于50mV，离子源束流的稳定性和重复性较好，镀膜的产品的折射率更稳定。射频部分匹配采用了硬件反馈和软件提前记忆并预判的技术；直流引入快速灭弧技术，同时提高了射频和直流部分的稳定性，软件设置了自检和自诊断功能，即：使用前系统自检，使用中即时刷新，对非调整性输入的变化提前警报并告知客户做好预案。山西离子束清洗射频离子源制造生产厂家

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