真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。② 打开总电源开关,设备送电。③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。⑤ 落下钟罩。⑥ 启动抽真空机械泵。⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。真空镀膜机技术教程。新疆真空镀膜设备镀膜过程价格
【溅射的四要素】:①靶材物质,②电磁场,③底物,④一整套完整配备的镀膜设备 【溅射收益】:1)离子每一次撞击靶材时,靶材所释放出的靶材原子;2)影响溅射收益的因素: ①等离子体中离子动能, ②入射离子的入射角度; 3)Zui大溅射收益的决定因素:①入射角度在45°&50°左右,②取决于靶材物质; 4)入射角度的影响因素 ①由电场决定,②靶材表面于入射源的相对角度。 【溅射率】: 定义:每单位时间内靶材物质所释放出的原子个数。 溅射率的影响因素:①离子动能(取决于电源电压和气体压力)②等离子密度(取决于气体压力和电流)。统计学公式:Rs(统计学)=d/t。 注:溅射原子溢出角度大部分在0~10度之间,因此在腔室内所有区域都可能被镀上一层膜,久之会产生污染。所以真空溅射腔室内必须进行定期清洁。福建龙岗led真空镀膜设备真空镀膜设备真空度多少?
【真空镀膜真空蒸发镀膜原理】: 真空蒸发法的原理是:在真空条件下,用蒸发源加热蒸发材料,使之蒸发或升华进入气相,气相粒子流直接射向基片上沉积或结晶形成固态薄膜;由于环境是真空,因此,无论是金属还是非金属,在这种情况下蒸发要比常压下容易得多。真空蒸发镀膜是发展较早的镀膜技术,其特点是:设备相对简单,沉积速率快,膜层纯度高,制膜材料及被镀件材料范围很广,镀膜过程可以实现连续化,应用相当guang泛。按蒸发源的不同,主要分为:电阻加热蒸发、电子束蒸发、电弧蒸发和激光蒸发等。
【光谱分光不良的补救(补色)之停电】: 分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。 中断的原因形式之停电: 对于停电这种情况,比较好处理,只要确认前面镀的没错,程序没有用错,就可以继续原来的程序,要注意的是:如果某一层镀了一部分继续镀下去时,交接处要减少一些膜厚(根据膜料、蒸发速率决定减少多少,一般时0.2~1nm左右),如果该层剩下的膜厚不足15~20秒蒸镀时,要考虑降低蒸发速率或干脆不读,通过后续层调整膜厚解决。真空镀膜设备怎么保养?
【真空镀膜设备使用步骤】1电控柜的操作1)开水泵、气源2)开总电源3)开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4)开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5)观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。2DEF-6B电子枪电源柜的操作1)打开总电源2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。3)开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA,灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。3关机顺序1)关高真空表头、关分子泵。2)待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。3)到50以下时,再关维持泵。关于真空镀膜设备,你知道多少?江西回收真空镀膜设备的厂家
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【真空蒸镀的历史】:1857年Michael FaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油扩散式真空泵实用化、蒸镀主要用于制作镜片防反射膜。第二次世界大战时,其他的光学机器对材料的需求提高,真空蒸镀也因此快速发展。 【真空蒸镀的原理】:在真空状态下,加热蒸发容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉积在目标物体表面,形成固态薄膜。依蒸镀材料、基板的种类可分为:抵抗加热、电子束、高周波 诱导、雷射等加热方式。蒸镀材料有铝、亚铅、金、银、白金、镍等金属材料与可产生光学特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2 等氧化物与氟化物。蒸镀除金属外,树脂与玻璃也可以使用、近年来连纸也变成可蒸镀。 【蒸发镀膜的优缺点】: 优点:设备简单、容易操作;成膜的速率快,效率高。 缺点:薄膜的厚度均匀性不易控制,蒸发容器有污染的隐患,工艺重复性不好,附着力不高。新疆真空镀膜设备镀膜过程价格
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