四川光学镀膜机原理

【镀膜玻璃的主要产生法之真空蒸镀法】真空蒸发镀膜法（简称真空蒸镀法，VacuumEvaporation)是指在一定的真空条件下，利用高温加热蒸镀材料（金属合金或金属氧化物）到一定温度条件下，使其原子或分子从表面汽化逸出，形成蒸汽流，并飞行溅射到玻璃基板表面凝结形成固态薄膜的方法。由于真空蒸锻法的主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生，所以又称热蒸发法。蒸发源作为蒸发装置的关键部件，大多数蒸发材料都要求在1000-2000℃的高温下蒸发。真空蒸镀法按蒸发源的不同可分为电阻法、电子束蒸发法、高频感应法和激光蒸发法等。目前，采用真空蒸镀法生产镀膜玻璃的均是采用间歇式生产。光学镀膜机可以制造出具有高光学性能的薄膜，可以用于制造良好光学器件。四川光学镀膜机原理

    【光学镀膜机的维护与保养之电子qiang头和坩埚的维护】电子qiang的qiang头安装好坏直接影响到工作的正常进行，其发生的故障有90%同电子qiangqiang头有关。电子qiangqiang头有使用一段时间后，会因为组件的污染而影响电子束的成型及功率，需要拆卸清洁。拆坩埚之前，请先关掉水路用压缩空气把电子qiang冷却管内的水分尽可能吹干净。蒸发源装卸顺序：1.拆落两条冷却水连接管。2.拧出电子qiangqiang头连接高压线两个螺丝。3.拆坩埚传动连接座、联轴器。4.拧落蒸发源四个固定螺丝。5.把蒸发源搬运到一个稳定平整的工作台。6.拆落坩埚盖板四个螺丝，取下盖板打磨干净。7.检查盖板上面两个密封圈是否需要更换。8.把蒸发源反转过来倒置，用木板垫住坩埚部分。9.拧下固定坩埚转动四个螺丝10.抬起蒸发源，取下坩埚11.把坩埚倒置，拧下坩埚底盖的八个螺丝，清洗干净里面的污垢，检查是否需要近密封圈。12.拧下导水管的一个螺丝13.拧下坩埚转动机构与坩埚盖板连接的四个螺丝14.拨出坩埚转动轴，检查转动轴的油封是否需要换件15.把坩埚清洁干净安装。安装按上面的倒过顺序来进行。 四川新款光学镀膜机光学镀膜机技术教程。

    【光学镀膜机电子qiang打火问题】电子qiang在蒸镀时，由于电子束中的电子与气体分子和蒸发材料的蒸汽发生碰撞产生的离子轰击带负电高压电极及其引线，即产生打火。另外，若这些带负高压电的部分有尘粒等杂物，会使该处电场集中了容易打火。故电子束蒸镀设备的高压电源都附有高压自动灭弧复位装置，在打火非常严重时才会自动切断高压，然后又自动恢复，切断与恢复的时间愈短，愈不会影响蒸镀工艺。高压引线应尽量短，并用接地良好的不锈钢板屏蔽住，不要追求美观把引线弯来弯去。qiang头金属件和引线定期用细砂纸打光，然后用丙tong清洗干净。上螺钉的螺孔定期用丝锥攻螺孔，以便螺钉上下方便并保证压的很紧。所有陶瓷件污染后应予更换。电子qiang体应可靠接地。对放气量大的材料应充分预热以彻底除气。蒸镀时功率要合适，不可过高造成材料飞溅。高压馈线与高压绝缘子金属件的接线一定要可靠并经常检查，以免增大接触电阻造成发热而烧坏。

    【光学真空镀膜机之电子蒸镀】电子qiang蒸镀系统的原理是利用电子qiang所射出之电子束轰击待镀材料,将高能电子射束之动能转为熔化待镀材料之热能,其拥有较佳之热转换效率,同时也可得到较高的镀膜速率,而且利用电流大小控制热电子数目也可精密调控其蒸发速率。电子束的来源主要由电子qiang系统提供,电子qiang的操作原理类似于阴极射线管,它的电源输出功率可从1kw到1000kw,使得电子束的动能达到30kev以上。当阴极灯丝被施以低压电流而达到白热化时,电子将从灯丝表面释出而向四方发射,且随灯射温度提高而增加其释放量,此为热电子。一般低功率电子qiang之电子束的折射方向是靠永久磁铁的磁场,而高功率电子qiang则需使用电磁铁。电子束加速后可直接撞击在薄膜材料上使之蒸发,但蒸发之原子或分子会污染电子源,因此通常将电子源藏在装薄膜材料之qiang座底下,而利用强力磁场将电子束偏向180°或270°。因电子qiang蒸镀法,对某些精密光学元件的薄膜品质要求而言仍有不足,其膜层微观结构呈现柱状形态,孔隙多,装填密度低,造成较大的光学吸收,且耐潮性、硬度及附着度都较差。 光学镀膜机使用时，需要注意哪些问题?

【光学镀膜之蒸发源的类型和特点】 ①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质 。电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。 ②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。 ③电子束加热源：用电子束轰击材料使其蒸发。适用于蒸发温度较高（不低于2000℃）的材料。 特点：能在金属、半导体、绝缘体甚至塑料、纸张、织物表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有基聚合物等的薄膜，其适用范围之广是其它方法无法与之比拟的。可以不同的沉积速率、不同的基板温度和不同的蒸气分子入射角蒸镀成膜，因而可得到不同显微结构和结晶形态（单晶、多晶或非晶等）的薄膜； 薄膜的纯度很高；易于在线检测和控制薄膜的厚度与成分；厚度控制精度*高可达单分子层量级。成都国泰真空设备有限公司专做光学镀膜机欢迎咨询。江西莱宝光学镀膜机

光学镀膜机是一种高精度的设备，可以在各种材料表面上制造出高质量的薄膜。四川光学镀膜机原理

    【光学薄膜的研究新进展之金刚石薄膜及类金刚石薄膜】金刚石被认为是自然界中较硬的物质。在自然界中，碳以3种同位素异型体的形式存在，非晶态的炭黑、六方片状结构的石墨和立方体的金刚石。金刚石薄膜具有高硬度、高密度、热导率高、全波段透光率高、高绝缘、抗辐射、化学惰性强和耐高温、弹性模量大，摩擦系数jin为。金刚石薄膜的高热导率、高摩擦系数和良好的透光性也使其常作为导弹的整流罩材料。类金刚石(diamond-likecarbon，DLC)薄膜是碳的一种非晶态，它含有大量的sp3键，硬度超过金刚石硬度20%的绝缘硬质无定形碳膜，被称为类金刚石膜，类金刚石膜具有高硬度、高电阻率、热传导率高、化学惰性强、良好的光学性能等，同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳膜。随着人们研究的深入，人们发现类金刚石膜具有很大的研究价值和广fan的应用前景，引起学术界极大兴趣。美国已经将类金刚石薄膜材料作为国家21世纪的战略材料之一。 四川光学镀膜机原理

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