国泰真空GTRF-17/GTRF-23射频离子源直流源网灭弧采用特殊保护方式,可以在有效的保护网板的时候不停机,不会导致客户产品报废。栅网采用独特的加工工艺,确保栅网之间的曲率和平行度,网孔的中心距也做精密的调整,使得投射出来的离子束更均匀。射频中和器采用L型接法匹配:匹配速度快,效率高,点火更优。源头和中和器结构经常拆解部分的内六角进行电镀及消气处理,防止拆卸过程卡死,备件及耗品重复利用率高。射频电源及控制部分单独装配在一个电柜内,RF线缆做防辐射和泄漏处理,避免对通讯、控制信号的干扰,同时也做良好的散热处理。成都国泰真空镀膜机怎么样?陕西离子束溅射射频离子源自主研发设计生产
【真空镀膜设备维修保养技术】一、当镀膜设备工作完成到两百个镀膜的时候,拆出密封圈,及时清洁设备环境(室内环境)。如何清洁保养?首先我们要使镀上去的膜层掉落,同时释放氢气,清洗过程中要注意所使用到的溶液会灼伤人体的皮肤,所以通常我们要小心谨慎用碱饱和溶液不断来回清洗真空适合内部(内壁),再用清水洗刷真空室,并通过抹布沾上汽油擦拭抽阀里面的污渍。二、当阀泵连续工作一个月之后,为保持设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动,拧开放油螺栓,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,观察油视镜倒入新油加到一定额度,平常换油时应将油盖打开,有需要时用布擦干净箱内污垢。三、扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。首先启动维持泵,关好da门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到标准,否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。吉林离子束溅射射频离子源怎么选真空镀膜机抽真空步骤。
【真空镀膜对环境的基本要求】加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面,不能在da气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。qing除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度da的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。
【真空镀膜机之卷绕机构设计中应考虑的问题】①提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min,现在也只有80m/min~120m/min,在国外日本的EW系列产品中,其卷绕速度已达到300m/min,德国L.H公司生产的镀膜机已达到600m/min,可见随着镀膜技术的发展,卷绕速度有待提高。②带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要,因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定,才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜(如电容器膜)尤为重要。③带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高,带状基材在卷绕镀膜过程中,起褶和发生偏斜,严重时会造成基材的断裂,使生产中断,既影响生产效率,又浪费材料。因此,在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。真空镀膜机详细镀膜方法。
【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。3.在重新开机前,要注意检漏。方法:启动维持泵,关好da门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。真空镀膜机的升级改造。山东离子束溅射射频离子源制造生产
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【真空镀膜设备的正常工作条件】1、环境温度:10~30℃2、相对湿度:不da于70%3、冷却水进水温度:不高于25℃4、冷却水质:城市自来水或质量相当的水5、供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。7、设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。此外,真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。陕西离子束溅射射频离子源自主研发设计生产
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