【真空镀膜之离子束溅射镀膜】离子束溅射沉积法在离子源内由惰性气体(通常为氩)产生具有较高能量的离子轰击靶材料,把靶材料沉积到基片上的方法。离子束溅射沉积法的一da优点是基片相对于离子源和靶是du立的,它的温度可以单独控制。基片通常接地位,它和靶与高频电路无关,不会象阴极溅射镀膜那样受到高能电子的轰击,因而温度较低。所以只要配置一台较好的恒温循环器(如HX1050型,控温范围为-10℃~50℃,精度≤0。5℃),实现对样品台的单独控温,就可以根据不同样品的要求以及薄膜生长不同阶段的温度需要进行适当调节。根据现有离子束溅射设备的构造,设计、加工了专门的金属样品架,放上样品后盖上金属压片,用螺丝紧密地固定在镀膜腔体的样品台上,可使样品和控温的样品台有良好的热接触。并在样品架中放置了一个测温铂电阻,用螺丝把金属压片连同其下的铂电阻一起固定压紧,再用导线引出与高精度的万用表相连,以监测薄膜生长过程中的样品温度。真空镀膜机的相关资料。湖南PET镀膜卷绕真空镀膜生产厂家
【真空镀膜设备的正常工作条件】1、环境温度:10~30℃2、相对湿度:不da于70%3、冷却水进水温度:不高于25℃4、冷却水质:城市自来水或质量相当的水5、供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz;6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。7、设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。此外,真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。广东真空镀膜卷绕真空镀膜源头实力厂家真空镀膜机的升级改造。
【真空镀膜机详细资料】系统概述真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。常用于对半导体、光伏、电子、精密光学等行业的纳米级表面处理。系统原理通过电子枪发射高压电子轰击坩埚中的待镀靶材,使其在高真空下蒸发并沉积在被镀基片上以获得镀膜。系统配置*自动化控制器:e-ControlPLC,是控制系统的硬件平台。人机界面硬件:TPC1503工业级15寸触摸式平板电脑,稳定可靠。人机界面软件:NETSCADA组态软件开发平台,提供真空镀膜机的控制和监视。
【真空镀膜真空的基本概念】:真空的划分:粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr极高真空<10E&12Torr流导(导通量):表示真空管道通过气体的能力,单位为升/秒(L/S)。一般情况下,管道越短,直径越da,表面越光滑,越直的管道流导也越da。流量:单位时间内流过任意截面的气体量,单位为Torr·L/s或Pa·L/s。抽气速率:在一定的压强和温度下,单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率,简称抽速。单位一般为L/S或m3/hr或CFM。极限真空:真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。真空镀膜机的培训资料。
【真空镀膜机之真空泵的安装和指导】真空泵安装指导1、泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。2、泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保泵运转平稳,振动小。3、泵与系统的连接管道应密封可靠,对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应qing除管道中焊渣,严禁焊渣进入泵腔。)4、在连接管路中,用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查泵的极限压力。5、按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。6、泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认泵转向符合规定方向方可投入使用,以防泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)7、对于有冷却水的泵,按规定接通冷却水。8、如泵口安装电磁阀时,阀与泵应同时动作。9、当泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。磁控溅射真空镀膜机是什么?湖南PET镀膜卷绕真空镀膜生产厂家
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【不同类型镀膜机应用范围介绍】不同类型镀膜机的适用范围介绍1.磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等2.磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等3.磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等4.AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,如液晶屏、等离子屏等5.触摸屏连续式镀膜生产线:应用于触摸屏领域,如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等。6.磁控中频多弧离子镀膜设备:应用于硬质涂层,如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。7.PECVD磁控生产线:应用于集成电路制造,如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。8.蒸发式真空镀膜设备:应用于在装饰饰品上,如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。9.低辐射玻璃镀膜生产线:应用于建筑玻璃方面,如阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。10.抗反射导电膜连续磁控溅射生产线:应用于电子产品领域,如液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌上电脑等。湖南PET镀膜卷绕真空镀膜生产厂家
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