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射频离子源基本参数
  • 品牌
  • 锦成国泰
  • 型号
  • 射频离子源
射频离子源企业商机

【射频离子源简介】:国泰真空射频离子源GTRF-17和GTRF-23,主要用于IR-Cut、滤光片等精密光学镀膜的离子束辅助沉积和离子束清洗等,是公司技术团队全自主研发近3年时间研发出的国产射频离子源,属于国内大直径射频离子源。打破了国外制造商长期对国产镀膜行业的技术封锁,同时也激励了国内的同行制造业。离子源设备能促进光电产业升级,在国内也是一项“卡脖子”技术。具有能量高、热辐射低、工作时间长、对膜层污染小、能量分布均匀性好、适应多种工作气体的特点。真空镀膜机的主要用途?河南离子束辅助沉积射频离子源生产厂家

【真空镀膜机清洗工艺之紫外线辐照清洗】利用紫外辐照来分解表面上的碳氢化合物。例如,在空气中照射15h就可产生清洁的玻璃表面。如果把适当预清洗的表面放在一个产生臭氧的紫外线源中.要不了几分钟就可以形成清洁表面(工艺清洁)。这表明臭氧的存在增加了清洁速率。其清洗机理是:在紫外线照射下,污物分子受激并离解,而臭氧的生成和存在产生高活性的原子态氧。受激的污物分子和由污物离解产生的自由基与原子态氧作用.形成较简单易挥发分子.如H203、CO2和N2.其反应速率随温度的增加而增加。山西离子束溅射射频离子源真空镀膜机的应用领域。

国泰真空射频离子源采用通用的LC高频谐振原理,使用可调电容快速调谐,使整个负载阻抗匹配到50Ώ,从而使功率输出比较大,电离化效率比较高,调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位,并带锁止和记忆功能,以满足负载在不同的真空环境、不同国泰射频离子源采用通用的LC高频谐振原理,使用可调电容快速调谐,使整个负载阻抗匹配到50Ώ,从而使功率输出比较大,电离化效率比较高,调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位,并带锁止和记忆功能,以满足负载在不同的真空环境、不同阻抗快速点火。射频部分匹配采用了硬件反馈和软件提前记忆并预判的技术;直流引入快速灭弧技术,同时提高了射频和直流部分的稳定性,软件设置了自检和自诊断功能,即:使用前系统自检,使用中即时刷新,对非调整性输入的变化提前警报并告知客户做好预案。

【真空镀膜机真空检漏方法普及之荧光检漏法】荧光检漏法首先需要将荧光材料溶于如丙tong等一些浸润性能好、易于挥发的有机溶剂中,使之成为饱和溶液;然后将被检的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面,这一过程中,为了提升效果、缩短浸泡时间,可以在抽真空或者加压条件下对其进行浸泡。如果存在漏孔,荧光剂溶液会因毛细作用渗入到其中;qing除表面多余的溶液,待有机溶剂挥发后,荧光材料便会在漏孔中残留下来;此时再用紫外线灯光照射,漏孔位置就会观察到明显的荧光点。在进行紫外光源照射时,对于一些存在盲孔、表面不平的器件,可能也会存在残留荧光材料,因此玻璃真空器件好在背面进行照射观察;为了提高对比度也可以采用滤光放da镜,过滤掉紫外线以外的其他光线,来获得更佳的观察效果;而在荧光材料的选择时要注意其发光颜色和被检真空部件的颜色要有明显的反差。荧光检漏法不仅用于真空系统检漏中,而且也被用于铸件、模压金属件以及焊接件的裂纹检查等。电子束蒸发真空镀膜机是什么?

【真空镀膜机镀塑料件时抽真空时间过长是什么原因?】(1)真空室有漏气现象:da家都知道,真空蒸发镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的,若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置,则真空镀很长时间都不能抽得上来的;(2)即使真空室没有漏气,因为塑料产品的放气量da,所以抽真空,特别是高真空很难达到。真空室内太脏放气,而且由于塑料产品的放气,造成真空室内镀膜气体的不纯,有杂气的存在,造成镀膜产品的颜色发暗,发黄,发黑等。(3)也许是真空机组的抽气能力不够了,油被污染或氧化了。离子真空镀膜机是什么?江苏离子束刻蚀射频离子源

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【真空镀膜机清洗工艺之放电清洗】利用热丝或电极作为电子源,在其相对于待清洗的表面加负偏压可以实现离子轰击的气体解吸及某些碳氢化合物的去除。清洗效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。即取决于单位表面积上的离子数和离子能量,从而取决于有效电功率。在真空室中充入适当分压力的惰性气体(典型的如Ar气),可以利用两个适当的电极间的低压下的辉光放电产生的离子轰击来达到清洗的目的。该方法中,惰性气体被离化并轰击真空室内壁、真空室内的其它结构件及被镀基片,它可以使某些真空系统免除被高温烘烤。如果在充入的气体中加入氧气,对某些碳氢化合物可以获得更好的清洗效果。因为氧气可以使某些碳氢化合物氧化生成易挥发性气体而容易被真空系统排除。不锈钢高真空和超高真空容器表面上杂质的主要成分是碳和碳氢化合物。一般情况下,其中的碳不能单独挥发.经化学清洗后,需要引入Ar或Ar+O2混合气体进行辉光放电清洗,使表面上的杂质和由于化学作用被束缚在表面上的气体得到qing除。河南离子束辅助沉积射频离子源生产厂家

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