湖北离子束辅助沉积射频离子源制造生产

【真空镀膜技术专业词汇】真空镀膜vacuumcoating：在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。基片substrate：膜层承受体。试验基片testingsubstrate：在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和（或）试验的基片。镀膜材料coatingmaterial：用来制取膜层的原材料。蒸发材料evaporationmaterial：在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。溅射材料sputteringmaterial：有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。膜层材料(膜层材质)filmmaterial：组成膜层的材料。蒸发速率evaporationrate：在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔溅射速率sputteringrate：在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。沉积速率depositionrate：在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。镀膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。真空镀膜机技术教程。湖北离子束辅助沉积射频离子源制造生产

【真空镀膜之金属拉丝】金属拉丝：是指通过研磨产品在工件表面形成线纹，并且起到装饰效果的一种表面处理手段。根据拉丝后纹路的不同可分为：直纹拉丝、乱纹拉丝、波纹、旋纹适用材料：几乎所有的金属材料都可以使用金属拉丝工艺工艺成本：工艺方法简单，设备需求简单，材料消耗比较少，成本比较低廉，经济效益尤其高环境影响：纯金属制品，表面无油漆等任何化学化工物质，600度高温不燃烧，不会产生有毒气体，符合消防标准的环保要求湖北离子束辅助沉积射频离子源制造生产真空镀膜机的应用领域。

【真空镀膜机常见故障】:一、当正在镀膜室真空突然下降1.蒸发源水路胶圈损坏（更换胶圈）2.坩埚被打穿（更换坩埚）3.高压电极密封处被击穿（更换胶圈）4.工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）5.预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）6.高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）7.机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）8.烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）9.挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）10.玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：1.蒸发室有很多粉尘（应清洗）2.扩散泵很久未换油（应清洗换油）3.前级泵反压强da太机械泵真空度太低（应清洗换油）4.各动密封胶圈损坏（更换胶圈）5.由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）6.蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）7.各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）8.高低预阀是否密封可靠（注油）

【真空镀膜之离子束溅射镀膜】离子束溅射沉积法在离子源内由惰性气体(通常为氩)产生具有较高能量的离子轰击靶材料，把靶材料沉积到基片上的方法。离子束溅射沉积法的一da优点是基片相对于离子源和靶是du立的，它的温度可以单独控制。基片通常接地位，它和靶与高频电路无关，不会象阴极溅射镀膜那样受到高能电子的轰击，因而温度较低。所以只要配置一台较好的恒温循环器(如HX1050型，控温范围为-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，实现对样品台的单独控温，就可以根据不同样品的要求以及薄膜生长不同阶段的温度需要进行适当调节。根据现有离子束溅射设备的构造，设计、加工了专门的金属样品架，放上样品后盖上金属压片，用螺丝紧密地固定在镀膜腔体的样品台上，可使样品和控温的样品台有良好的热接触。并在样品架中放置了一个测温铂电阻，用螺丝把金属压片连同其下的铂电阻一起固定压紧，再用导线引出与高精度的万用表相连，以监测薄膜生长过程中的样品温度。真空镀膜机该如何维修。

【真空镀膜真空的基本概念】：真空的划分：粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr极高真空<10E&12Torr流导（导通量）：表示真空管道通过气体的能力，单位为升/秒（L/S）。一般情况下，管道越短，直径越da，表面越光滑，越直的管道流导也越da。流量：单位时间内流过任意截面的气体量，单位为Torr·L/s或Pa·L/s。抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。单位一般为L/S或m3/hr或CFM。极限真空：真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。真空镀膜机故障解决方法？辽宁真空镀膜射频离子源自主研发设计生产

真空镀膜机怎么保养？湖北离子束辅助沉积射频离子源制造生产

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