【真空镀膜机清洗工艺之放电清洗】利用热丝或电极作为电子源,在其相对于待清洗的表面加负偏压可以实现离子轰击的气体解吸及某些碳氢化合物的去除。清洗效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。即取决于单位表面积上的离子数和离子能量,从而取决于有效电功率。在真空室中充入适当分压力的惰性气体(典型的如Ar气),可以利用两个适当的电极间的低压下的辉光放电产生的离子轰击来达到清洗的目的。该方法中,惰性气体被离化并轰击真空室内壁、真空室内的其它结构件及被镀基片,它可以使某些真空系统免除被高温烘烤。如果在充入的气体中加入氧气,对某些碳氢化合物可以获得更好的清洗效果。因为氧气可以使某些碳氢化合物氧化生成易挥发性气体而容易被真空系统排除。不锈钢高真空和超高真空容器表面上杂质的主要成分是碳和碳氢化合物。一般情况下,其中的碳不能单独挥发.经化学清洗后,需要引入Ar或Ar+O2混合气体进行辉光放电清洗,使表面上的杂质和由于化学作用被束缚在表面上的气体得到qing除。真空镀膜机的相关资料。甘肃光学薄膜射频离子源批发价格
国泰真空射频离子源采用通用的LC高频谐振原理,使用可调电容快速调谐,使整个负载阻抗匹配到50Ώ,从而使功率输出比较大,电离化效率比较高,调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位,并带锁止和记忆功能,以满足负载在不同的真空环境、不同国泰射频离子源采用通用的LC高频谐振原理,使用可调电容快速调谐,使整个负载阻抗匹配到50Ώ,从而使功率输出比较大,电离化效率比较高,调谐马达采用步进电机转位+编码器快速定位,并带锁止和记忆功能,以满足负载在不同的真空环境、不同阻抗快速点火。射频部分匹配采用了硬件反馈和软件提前记忆并预判的技术;直流引入快速灭弧技术,同时提高了射频和直流部分的稳定性,软件设置了自检和自诊断功能,即:使用前系统自检,使用中即时刷新,对非调整性输入的变化提前警报并告知客户做好预案。湖南离子束溅射射频离子源生产厂家真空镀膜机为什么会越来越慢?
【真空镀膜机概述】:真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子抢加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机构造的五da系统:排气系统、控制系统、蒸镀系统、监控系统、辅助系统。真空镀膜三要素:真空度、抽气时间、温度;任何镀膜工艺都需要为这三个要素设定目标值;因此,只有当三个条件同时满足时,自动化程序才会自动运行。真空镀膜机需要做定期定期保养,目的在于:让镀膜机能长时间地正常运转;降低故障时间,避免影响产能,减少损失;提高机器精度,稳定品质;加快抽气速度,提升机器利用率等。
【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏,真空度的高低是直接影响到镀膜效果的,所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。三、检查漏孔的da小,形状、位置,漏气的速度,制备出可解决方案并实施。四、确定检测仪器的小可检漏率和检漏灵敏性,以da范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误,检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多种多样,我们要一一的解决这些原因,稳定镀膜的效果。真空镀膜机使用时,需要注意哪些问题?
【真空镀膜机常见故障之旋片泵故障及处理方法】1、未做保养导致灰尘太多。真空镀膜设备在镀膜过程中容易产生da量灰尘,这些灰尘伴随空气容易混杂到泵油中,时间久了容易对转子及泵腔造成磨损及破坏。处理方法:如果灰尘不多,可以油过滤系统除掉灰尘;如果灰尘过多可以用除尘器配合油过滤系统除掉灰尘。2、旋片式真空泵冒烟和喷油:指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油,冒烟。处理方法:冒烟阐明泵的进气口外,包括管道、阀门、容器有修理的状况。3、喷油,阐明进气口外有da量的漏点,以至是进气口暴露da气。处理方法:封住泵的进气口使泵运转,假如不喷油的话,阐明有漏点;排气阀片损坏,检查排气阀片能否损坏,改换坏的排气阀片。4、被抽气体的温度可能过高。处理方法:降低被抽气体的温度,或能够加一个相应的换热器。5、配合的间隙改da。这是长期被抽气体内含有粉尘等,形成旋片和定子之间磨损后的间隙增da。处理方法:检查间隙能否过da,改换新的零部件。6、泵内的油路不通或者不畅,泵腔内没有坚持一定量的油量。处理方法:检查油路能否畅通,并加同类型的真空泵油。真空镀膜机技术教程。吉林光学镀膜射频离子源专业生产
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【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。3.在重新开机前,要注意检漏。方法:启动维持泵,关好da门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。甘肃光学薄膜射频离子源批发价格
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