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    磁转子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通过旋转对待加工部件20的待加工表面进行机械研磨，对待加工表面进行减薄。由于减薄过程中待加工部件20如inp基晶圆本身不旋转，因此，可以降低抛光减薄过程中对待加工部件20如inp基晶圆的挤压应力，降低待加工部件20如inp基晶圆的机械加工损伤。可选地，本发明实施例中通过光刻胶键合固定待加工部件20和托盘10。当然，本发明并不限于此，在其他实施例中，待加工部件20和托盘10还可以采用其他胶体进行键合固定。基于此，如图2所示，本发明实施例中的抛光减薄装置还包括热板14，该热板14设置在托盘10底部，用于对托盘10进行加热，以使待加工部件20与托盘10键合固定。具体地，将待加工部件20背面喷涂厚度约为2μm的光刻胶21，如az4620光刻胶，然后在托盘10表面喷涂厚度约为3μm的光刻胶21，如az4620光刻胶，之后，将托盘10光刻胶面向上放于温度为90℃的热板14上，将待加工部件20光刻胶面和托盘10光刻胶面贴合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar压强于待加工部件20上进行键合，键合时间20min。本发明实施例中，采用喷头11向待加工部件20的待加工表面喷涂抛光液110，来对待加工部件20的待加工表面进行抛光。需要说明的是。去除多余涂层，选择减薄用清洗剂，效果好。广州哪里减薄用清洗剂销售厂家

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    若干所述侧支撑件44固定设置在所述固定板423的端面上；所述固定板423两端均设置有至少两个固定卡块427，所述固定卡块427一般设置为矩形横截面结构，便于所述固定板423端面的朝向定位；对应的，所述调节槽内设置有固定槽426，当所述固定板423两端各自的两所述固定卡块427分别设置于对应的所述固定槽426内时，设置有所述侧支撑件44的端面对应所述竖直平板421上的所述侧支撑件44，且设置所述侧支撑件44的所述竖直平板421和所述固定板423设置在所述底支撑件43的两侧，从而实现对所述盛放部内玻璃的支撑限位。其中，如图3所示，所述侧板422上所述调节槽的一种实施方式为，所述调节槽包括若干水平槽424和与所述水平槽424均竖直贯通连接的竖直槽425，所述固定槽426设置于所述水平槽424的下边缘，所述固定槽426对应所述固定卡块427设置为u型槽，从而便于固定所述固定卡块427的摆放位置。所述水平槽424和所述竖直槽425的尺寸均对应所述固定卡块427的尺寸设置，使所述固定卡块427可在所述水平槽424和所述竖直槽425内自由移动。在本实施方式中，两所述竖直平板421中一所述竖直平板421上设置有所述侧支撑件44，同一所述水平槽424多只设置一个所述固定卡块427。减薄用清洗剂的使用时要注意什么？

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    从而在玻璃侧部提供支撑效果，通过所述底支撑件43和所述侧支撑件44实现玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撑稳定效果。较佳的，所述底支撑件43和所述侧支撑件44可均采用ptfe材质。较佳的，所述侧支撑件44设置为叉状型结构，即所述侧支撑件44包括两叉脚，所述玻璃侧边边缘设置于两所述叉脚间，两所述叉脚在一端连接，两所述叉脚间距离从连接端向非连接端的方向逐渐增大，两所述叉脚间的大距离大于玻璃的厚度，限制玻璃两对应侧部边缘的两所述侧支撑件44之间的水平距离大于玻璃两侧部边缘之间的水平距离，即当玻璃通过两侧的所述侧支撑件44进行支撑限制时，玻璃的两侧部边缘在两所述叉脚间空间内均具有一定的调整间隙，从而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31内往复运动，玻璃的两侧部边缘相较于所述侧支撑件44进行一定的位置移动，从而避免所述侧支撑件44长期于玻璃的同一位置接触紧贴。所述侧支撑件44的结构设置，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31内沿直线往复运动的过程中，所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点发生变化，从而避免所述侧支撑件44与玻璃之间的接触点因所述侧支撑件44的长期接触造成接触点无法被喷淋液喷淋，若接触点无法被喷淋，易造成玻璃的减薄缺陷。广州哪里减薄用清洗剂销售厂家