在硅片栅线的厚度测量过程中,创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光谱共焦位移传感器具有0.025 µm的重复精度,±0.02%的线性精度,10kHz的测量速度和±60°的测量角度。它适用于镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面和多层玻璃等材料表面,支持485、USB、以太网和模拟量数据传输接口。在测量太阳能光伏板硅片栅线厚度时,使用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线厚度可通过栅线高度与基底高度之差获得,通过将需要扫描测量的硅片标记三个区域并使用光谱共焦C1200单探头单侧测量来完成测量。由于栅线不是平整面,并且有一定的曲率,因此对于测量区域的选择具有较大的随机性影响 。线性色散设计的光谱共焦测量技术是一种新型的测量方法;高采样速率光谱共焦常用解决方案
光谱共焦传感器是专为需要高精度测量任务而设计的,通常应用于研发任务、实验室和医疗、半导体制造、玻璃生产和塑料加工。除了对高反射、有光泽的金属部件进行距离测量以外,这些传感器还可用于测量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或层的单面厚度测量。传感器还受益于较大的间隔距离(高达100毫米),从而为用户在使用传感器的各种应用方面提供更大的灵活性。另外,传感器的倾斜角度已显着增加,这在测量表面特征的变化时带来更好的性能,高精度光谱共焦传感器精度光谱共焦位移传感器具有非接触式测量的优势,可以在微观尺度下进行精确的位移测量。
随着机械加工水平的不断发展,各种的微小的复杂工件都需要进行精密尺寸测量与轮廓测量,例如:小工件内壁沟槽尺寸、小圆倒角等的测量,对于某些精密光学元件可以进行非接触的轮廓形貌测量,避免在接触测量时划伤光学表面,解决了传统传感器很难解决的测量难题。一些精密光学元件也需要进行非接触的轮廓形貌测量,以避免接触测量时划伤光学表面。这些用传统传感器难以解决的测量难题,均可用光谱共焦传感器搭建测量系统以解决 。通过自行塔建的二维纳米测量定位装置,选用光谱其焦传感器作为测头,实现测量超精密零件的二维尺寸,滚针对涡轮盘轮廓度检测的问题,利用光谱共焦式位移传感器使得涡轮盘轮廓度在线检测系统的设计能够得以实现。与此同时,在进行几何量的整体测量过程中,还需要采取多种不同的方式对其结构体系进行优化。从而让几何尺寸的测量更为准确。
光谱共焦是一种先进的光学显微镜技术,通过聚焦光束在样品上,利用谱学分析方法获取样品的高分辨率成像和化学信息。我们公司的产品,光谱共焦显微镜,具有以下特点:1.高分辨率成像:光谱共焦显微镜采用先进的光学系统和探测器,能够实现超高分辨率的样品成像,捕捉到细微的细节和微观结构。2.多模式测量:我们的光谱共焦系统支持多种成像模式,包括荧光成像、二阶谐波成像等,可满足不同应用领域的需求 。3.实时成像和谱学分析:光谱共焦技术可以实时获取样品的成像和谱学信息,为研究人员提供了及时、准确的数据,加速科学研究的进展。4.非破坏性分析:光谱共焦显微镜采用非接触式成像,无需对样品进行处理或破坏,保持了样品的完整性,适用于对生物、材料等敏感样品的研究。我们致力于为各个领域的研究人员提供先进、可靠的光谱共焦显微镜产品,助力科学研究的发展。如果您对我们的产品感兴趣或有任何疑问,请随时联系我们,我们将竭诚为您服务。通过我们的光谱共焦显微镜,您将享受到前所未有的高分辨率成像和谱学分析的乐趣!光谱共焦技术的应用将有助于推动中国科技创新的发展。
光谱共焦技术是一种高精度、非接触的光学测量技术,将轴向距离与波长的对应关系建立了一套编码规则。作为一种亚微米级、迅速精确测量的传感器,基于光谱共焦技术的传感器已广应用于表面微观形状 、厚度测量 、位移测量、在线监控和过程管控等工业测量领域。随着光谱共焦传感技术的不断发展,它在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量测量和其他领域的应用将会更加广。光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来,无需轴向扫描,可以直接利用波长对应轴向距离信息,大幅提高测量速度。光谱共焦技术具有轴向按层分析功能,精度可以达到纳米级别;自动测量内径光谱共焦供货
光谱共焦位移传感器是一种基于光谱分析的高精度位移测量技术,可实现亚纳米级别的测量。高采样速率光谱共焦常用解决方案
光谱共焦位移传感器可以嵌入2D扫描系统进行测量,提供有关负载表面形貌的2D和高度测量数据。它的创新原理使传感器能够直接透过透明工件的前后表面进行厚度测量,并且只需要使用一个传感器从工件的一侧进行测量。相较于三角反射原理的激光位移传感器,因采用同轴光,所以光谱共焦位移传感器可以更有效地测量弧形工件的厚度。该传感器采样频率高,体积小,且带有便捷的数据接口,因此很容易集成到在线生产和检测设备中 实现线上检测 。由于采用超高的采样频率和超高的精度,该传感器可以对震动物体进行测量,同时采用无触碰设计,避免了测量过程中对震动物体的干扰,也可以对复杂区域进行详细的测量和分析 。高采样速率光谱共焦常用解决方案