氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。喷氦法、吸氦法是氦检仪在电阻炉检漏中较常用的两种方法。浙江台式氦质谱检漏仪特点
氦检仪进展的集中体现在如下几个方面：（1）便携式：较近各国推出的小型便携式氦检仪不只灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的氦检仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。（5）检漏范围宽：现今生产的四极氦检仪，质量范围很宽，不只可检测氦气，而且能检测其它气体。上海移动式氦质谱检漏仪多少钱为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施。
选购氦检仪的注意事项有哪些？1.注意检漏需求和设备功能的匹配度，根据现如今产品批量筛选和检查泄露的需求进行研究可以发现，不同的产品检漏操作时所需要的模式等都有着显着的区别，消费者在选购氦检仪时必须要根据产品的检测功能需求进行挑选，例如仪器需要批量检查的需求则必须要确保这种氦检仪的检查速度，立足于自身的需求保证这种氦检仪的功能得以实现才是较正确的挑选方式；2.注意检测灵敏度和操作模式特点，消费者在挑选这种检测仪器时，必须要分析各种检测仪器的检测模式，确保这种氦检仪以更高的灵敏度和更广阔的检测范围来提高生产的效率，并且在挑选氦检仪时也必须要根据该种产品的灵敏度和口碑进行分析，确保这种氦检仪的精确度更强能够满足于不同产品的检查需求。
影响氦质谱检漏仪检测精度的原因是什么？稳定时间对检测的影响，在充气的时候，压缩空气会因为受压状态而进入一个密闭容器后，引起一系列的热力学-动力学变化。即当一定体积的压缩空气迅速移至一密闭容器后，其压力会发生降低，若此时进行测量，则这种压力的变化会被视作一个由泄漏所引起的压力变化，影响测量结果的准确性。这种“冲气效应”受充气压力、测试容积及测试件材料影响。当充气压力或测试容积增加时，这种充气引起的压力降低随之变得明显。解决这个问题的办法之一是在充气与测量之间增加一段稳定时间来消除这种影响。氦质谱检漏仪安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。
氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。影响氦检仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。氦质谱检漏仪在运行过程中不能移动。江苏多功能氦质谱检漏仪品牌
氦质谱检漏仪的漏孔漏率是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。浙江台式氦质谱检漏仪特点
氦质谱检漏仪检漏注意事项：1、工件要保持清洁、干燥。2、对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。3、喷氦时应经常检查喷口是否有氦气喷出。4、检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。5、对同一工件，如有两处以上漏点，应排除Zda的漏点后，再对其它地方检漏。6、装工件时应使连接处密封好，不能有漏。7、检漏间应通风良好，避免氦气浓度，但应避免强通风。8、氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。氦质谱检漏仪灯丝安装时应先将离子源内的污渍用细砂纸打干净，清洗后再装。灯丝应正对电离盒电子入口，尽量靠近电离盒，但不能短路，三根引线间也不能相互短路。浙江台式氦质谱检漏仪特点
