氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控,特别是在一些真空设备的质量检验之中,应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度,所以选择合适的氦质谱检漏仪很重要。氦质谱检漏仪的选择:1、如果被检对对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低时,就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。2、如果检漏地点不固定,需要经常搬运氦质谱检漏仪时,就要选择小型便携式仪器。3、在满足上述检漏基本要求的基础上,还要综合考虑氦质谱检漏仪的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。绍兴便携式氦质谱检漏仪品牌
氦质谱检漏仪调氦峰步骤:1、调氦峰方法:开漏孔开关,单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”,使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值,然后关漏孔开关,如表头指示值变小,说明氦质谱检漏仪接收到氦信号,即找到氦峰;如表头指示值不变,说明不是氦峰,则继续调“V”,直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。2、调氦峰分辨不好:①氦和重离子分辨差。②氦和轻离子分辨差。3、调氦峰信号小:①灯丝没正对电离盒上的电子入口。②灯丝离电离盒太远。③分辨不好。绍兴便携式氦质谱检漏仪品牌为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪,应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。
氦检仪的捡漏方法有哪些?背压法(压氦法)真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气,迫使氦气进入泄漏工件,再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业:电子元器件,电子封装等。氦质谱检漏背压法优点:检测灵敏度高;可以进行批量化检测;一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气,氦气进入有漏孔的器件内部,无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423,2328文件而定,器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空,待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测,其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件,这一批的总漏率没超过报废预定值,说明这一批合格;总漏率超过报废预定值可以取出一半,剩下的一半继续检漏,这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中,依此检漏直至检出有漏孔的器件。
如何正确选择氦检仪?(1)仪器的功能是否能满足检漏的要求,如有些仪器没有逆流检漏功能,就不合适正压法检漏:有些仪器没有报废漏率的设置功能,就不宜作为批量产品筛选检漏用;流水线上要求一定的检漏速度,因此应选择有双工位的氦检仪。(2)仪器的灵敏度是否能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的,如果检漏要求的灵敏度较高,就要认真选择。(3)被检件如果害怕油的污染,被应选择无油真空系统的氦检仪。(4)被检件容积如果较大,必须选用预抽泵抽速答的氦检仪,否则要另配预抽泵就比较麻烦。(5)如果被检对象不固定,体积时大时小,灵敏度要求时高时低,就要选择功能较全,灵敏度较高,检漏范围宽的氦检仪。(6)如果检漏地点不固定,需要经常搬运仪器时,就要选择小型便携式仪器。(7)在满足检漏基本要求的基础上,还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否建议、维修是够方便等方面的问题。氦检仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。
使用氦检仪需注意哪些问题?响应时间与清理时间:正常运行的仪器响应时间与清理时间不应大于3s。氦检仪的响应时间会影响检漏工作的速度:检漏时喷有在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。根据经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s,如果第1次喷氦后30s内氦检仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。仪器的清理时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清理时间一般要更长些。另外,喷氦量的多少也影响清理时间的长短,喷氦时喷头移动速率合理,可以缩短仪器的清理时间,提高检漏效率。氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护?浙江氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪应每隔一段时间保养油泵。绍兴便携式氦质谱检漏仪品牌
氦检仪在真空度校验中有什么应用?氦是一种惰性气体,不会对设备产生腐蚀,不与真空器件起化学反应,无毒,也不会污染环境,因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小,常作为泄漏气体使用。在接有氦检仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体,如果容器有漏孔,分析仪就会发出响声,从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术,由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点,在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。绍兴便携式氦质谱检漏仪品牌