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  • 上海移动式氦质谱检漏仪品牌,氦质谱检漏仪
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氦质谱检漏仪基本参数
  • 品牌
  • R&D LEAK
  • 型号
  • 齐全
  • 类型
  • 氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪企业商机

氦检仪是什么?氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的氦检仪器。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声明显减小。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。上海移动式氦质谱检漏仪品牌

在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作,由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂,内部有很多管道和传动机构,有的体积很大,达几十立方米,甚至数百立方米,连接管道和内部管道的总长度可达几公里,焊缝、氦质谱检漏仪,氦检仪圈的总长度可达数十公里,必须投人很大力量对设备严格进行检漏,所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏间题就可能给氦质谱检漏仪,氦检仪的检漏工作带来很大困难。上海进口氦质谱检漏仪原理氨质谱检漏仪在许多领域里得到普遍的应用。

氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解,了解有哪些漏源,才能快,准,狠的完成检漏。

氦检仪产生测量误差主要包括哪几个方面?第1,当氦质谱泄漏检测器校准灵敏度时,标准泄漏的位置与检测泄漏的位置不同,即标准泄漏与检测泄漏检测器之间的距离太大,在途中泄漏氦的损失不相等,导致进入检测泄漏检测器的氦量可比性差。第二,进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。第三,所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四,氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五,校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六,氦检仪的性能不稳定。第七,氦气纯度不稳定或存在误差。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。

氦检仪在真空度校验中有什么应用?氦是一种惰性气体,不会对设备产生腐蚀,不与真空器件起化学反应,无毒,也不会污染环境,因此使用起来也十分安全。对容器环境和质谱环境干扰较小,常作为泄漏气体使用。在接有氦检仪(即调整到只对氦气反应的工作状态的气体剖析仪)的被检容器上喷射该气体,如果容器有漏孔,分析仪就会发出响声,从而知道漏孔的位置和漏气量。氦质谱检测泄漏技术是真空检测领域中不可缺少的一项技术,由于其检测效率高、简便易行、仪器反应灵敏、准确度高、不受其它气体干扰等特点,在电阻炉检测泄漏中被普遍应用。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。苏州移动式氦质谱检漏仪哪个牌子好

利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。上海移动式氦质谱检漏仪品牌

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。上海移动式氦质谱检漏仪品牌

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