氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3/s。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。氦质谱检漏仪技术指导
在氦质谱检漏仪,氦检仪真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作，由于冶金、原子能、电子、宇航技术的发展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至极高真空设备。这些设备中的某些设备结构复杂，内部有很多管道和传动机构，有的体积很大，达几十立方米，甚至数百立方米，连接管道和内部管道的总长度可达几公里，焊缝、氦质谱检漏仪,氦检仪圈的总长度可达数十公里，必须投人很大力量对设备严格进行检漏，所以且应该从设备开始设计时起就考虑检漏问题。如果等到进行安装时再考虑检漏间题就可能给氦质谱检漏仪,氦检仪的检漏工作带来很大困难。杭州模块式氦质谱检漏仪厂家推荐氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气。
氦检仪的捡漏方法有哪些？背压法（压氦法）真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业：电子元器件，电子封装等。氦质谱检漏背压法优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。
影响氦检仪灵敏度的因素有哪些？氦检仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：第1，氦检仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的氦检仪器。氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理要求是什么？
氦质谱检漏仪应用让我国许多设备的运转情况得到了更好的监控，特别是在一些真空设备的质量检验之中，应用氦质谱检漏仪已经成为了一种常见的事项。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度，所以选择合适的氦质谱检漏仪很重要。氦质谱检漏仪的选择：1、如果被检对对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低时，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。2、如果检漏地点不固定，需要经常搬运氦质谱检漏仪时，就要选择小型便携式仪器。3、在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑氦质谱检漏仪的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。在结构组成上，大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的；江苏进口氦质谱检漏仪报价
氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。氦质谱检漏仪技术指导
氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。氦质谱检漏仪技术指导
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