DLC涂层处理使用的是一种物理Q相沉积工艺技术PVD(physicalvapordeposition)。是在真空条件下(1.3x10-2~1.3x10-4Pa),采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。DLC涂层是一种在微观结构上含有金刚石成分的涂层。构成DLC的主要元素为碳,碳原子之间的不同结合方式,Z终产生不同的物质:金刚石(diamond)--碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)一碳碳以sp2键的形式结合。类金刚石(DLC)一碳碳以sp3和sp2健的形式结合;其涂层结构是由碳的sp3和sp2形态混合而成的无定型组织(没有显性的晶格结构),涂层性能的好坏取决于形成的膜层结构中sp3和sp2各自所占的百分比,sp3所占的比率越高,膜层性能越接近天然金刚石,显微硬度越高;sp2所占的比率越高,膜层的自润滑性能越好,摩擦因数越小,但显微硬度会降低(它和金属之间的摩擦因数的范围一般是0.05~O.2)。通过设定生产流程中的工艺参数和选择不同的靶材,可以控制Z终成形膜层的属性来满足不同场合的需求。DLC涂层的部件能很好地实现不影响尺寸下的耐磨及无油润滑等需求。低摩擦低温DLC涂层应用
对刀具进行涂层处理是提高刀具性能的重要途径之一,涂层刀具的出现,使刀具切削性能有了较大的提高,应用领域不断扩大,涂层刀具在数控加工领域有巨大潜力,将是今后数控加工领域中Z重要的刀具品种。目前国外硬质合金可转位刀片的涂层比例在70%以上,欧洲齿轮刀具的涂层比例高达90%。涂层技术已应用于立铣刀、铰刀、复合孔加工工具、齿轮滚刀、剃齿刀、成形拉刀及各种机夹可转位刀片,满足高速切削加工各种钢和铸铁、耐热合金和有色金属等材料的需要。低摩擦低温DLC涂层应用DLC涂层在新能源、纺织零部件、自动化零部件、半导体、机械运动机构、声学等各个领域也得到普遍应用。
涂层加工相关问题说明。4.涂层工艺温度低结合力是不是就不好?我司的自主国际专利的涂层技术,打破了此传统观念。在低温的涂层工艺下,获得比高温涂层工艺更好的结合力。5.低温PVD工艺有什么好处?低温PVD工艺,可以对基材的选择面更广,同时可以减少PVD工艺对基材产生的影响,如低温回火,工件变形等。6.PVD工艺对工件表面要求是什么样的?通常情况下要求工件表面的粗糙度<Ra0.6,如果表面太粗糙,涂层结合力会降低,涂层会容易剥落。7.PVD涂层后是否还要进行涂层后处理?我司根据不同的工件的使用场合,PVD涂层完成后,用不同的方法对涂层进行后处理。8.PVD方法与电镀的差别是什么?电镀层硬度较低通常HV在600~700之间,而且电镀要较厚10um以上才可以起到功能性的作用。PVD涂层通常情况下只有2~4um,硬度HV要达到2000以上。PVD方法环保无任何污染,但是目前PVD镀膜的成本比电镀要高。9.为什么PVD处理后,打HRC硬度跟涂层前没有变化?PVD涂层的硬度高涂层薄,根据国家标准,当涂层厚度达到10um以上时可以用维氏硬度计来进行涂层表面薄膜维氏硬度的测量,如果小于10um必须使用纳米硬度计来进行涂层表面硬度的测量。
DLC处理的工艺流程包括所需处理工件基体的处理(抛光、清洗)、靶材的选择、成形工艺条件的设定、成形及成形后的检测等。要想得到G品质的DLC涂层,工件基体处理的好坏至关重要。将工件要抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量,这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的(如成形光学镜头和成形LED零件)。这里要注意的是基体表面处理不能留有死角,这关系到膜层是否能与基体牢固地结合。将要涂覆的工件还要充分清洗。清洗工艺取决于涂覆的质量水平、母材和几何形状。工件装在设定的夹具上,夹具是在使腔体装载尺寸Z好化和保证涂覆均匀的基础上设计的。真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物。真空室中通入惰性气体并使其离子化。导致产生辉光放电(等离子体)。浅析DLC类金刚石涂层结构特性是怎样及其制备方法?
什么是DLC?“DLC”是英文“DIAMOND-LIKECARBON”一次的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层,从而引起了摩擦学界的重视。应用方向有哪些?(1)钻头、铣刀DLC膜可以应用于钻头和铣刀上,特别是掺杂金属的DLC膜,它不但具有高的硬度,还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。(2)光盘模具及其辅助模具光盘模具是生产CD、CDR、DVD的重要工具,为了减少它与母盘(镍盘)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系数小,目前,国外大多采用DLC膜层,提高了模具的寿命和盘片的质量。镀膜之后有硬度高,摩擦系数低,耐磨,耐腐蚀,抗粘结性好且环保等特点。(3)芯轴DLC膜的耐磨减摩及耐腐蚀性,可显著提高齿轮、芯轴等运动部件的使用性能及寿命。DLC涂层目前可以通过很多种技术获得,但市面上常用的方法分别是磁控溅射、离子束和电弧技术。低摩擦低温DLC涂层应用
应该说,DLC应用于活塞环已经逐渐成为一种趋势。低摩擦低温DLC涂层应用
DLC涂层工艺处理过程:真空涂层设备DLC涂层冷却也是热处理过程中不可缺少的一步。由于工艺不同,真空涂层机DLC涂层的冷却方法也不同,主要是控制冷却速度。金刚石涂层一般退火冷却速度较慢,正火冷却速度更快,淬火冷却速度更快。然而,由于钢的种类不同,真空涂层的DLC涂层也有不同的要求。例如,空硬钢可以以与正火相同的冷却速度淬火。真空涂层机DLC涂层金属热处理工艺一般可分为三类:整体热处理、表面热处理和化学热处理。根据加热介质、加热温度和冷却方法的不同,真空涂层设备DLC涂层可分为若干不同的热处理工艺。真空涂层机DLC涂层采用不同的热处理工艺,可获得不同的组织,具有不同的性能。真空涂层设备DLC涂层钢是工业上应用较普遍的金属,钢的显微组织也是较为复杂的,所以钢的热处理工艺有很多种。低摩擦低温DLC涂层应用
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