宣城真空计

场发射真空传感器是采用加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析， 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下， 可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。利用硅尖阵列场发射电流大小随真空度变化而变化的现象， 研制了一种基于硅尖阵列场发射原理的场发射真空传感器。利用加工工艺制作出传感器样机， 并搭建测试系统测试其特性。通过实验发现， 随着真空度的提高， 传感器输出电流也会随之增大， 而且真空度越高输出电流越大， 分辨率、灵敏度越高。真空管太阳能热水器的真空管空晒性能可承受250℃。宣城真空计

真空传感器由玻璃衬底、下电极、绝缘层、硅膜片（ 上电极） 、上层密封用的玻璃组成， 其中下电极溅射在玻璃衬底上， 电极上生长一绝缘层； 硅膜是利用硅片的双面光刻、扩散和各向异性腐蚀技术形成的。该电容式真空传感器有两个腔体， 其中上面的腔体是一个真空腔， 下面的腔体是键合形成的， 这个腔体不是密封的， 腔内气体与外界气体相通。电容器的两平板间的距离可由硅片腐蚀的深度控制， 硅膜片与玻璃电极之间的间隙很小， 这也是硅电容式传感器灵敏度高的原因，真空度是指低于大气压力的气体的稀薄程度，通常以压力来表示真空度，压力高意味着真空度低，压力低意味着真空度高。宣城真空计热阴极真空规管的系统,热阴极真空规管的安装位置应该尽可能地远离残余气体分析仪。

真空传感器是采用加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析， 确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下， 可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。利用硅尖阵列场发射电流大小随真空度变化而变化的现象， 研制了一种基于硅尖阵列场发射原理的场发射真空传感器。利用加工工艺制作出传感器样机， 并搭建测试系统测试其特性。通过实验发现， 随着真空度的提高， 传感器输出电流也会随之增大， 而且真空度越高输出电流越大， 分辨率、灵敏度越高。

电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。电容式薄膜真空计原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是：种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。真空管可被分为2大类别，分别是直热式和旁热式。

个人拆卸太阳能真空管时应该注意：1、首先拆卸的时间较好是选择阴天、早晨或傍晚，因为拆卸前你必须先将太阳能热水器内的热水全部放掉(以免拆管时被渗出的热水烫伤)。2、拆卸时较好用洗洁精或洗衣粉浸泡的水来润滑真空管，同时注意真空管的角度应顺送顺拉，忌跨角度的生拉硬扯以防真空管爆裂伤人。3、真空管拆卸后要用泡沫聚脂分格装好，放入纸箱，在运输中防止磕碰。4、旋转过程要耐心，不能急躁，多转动几次，不能用蛮力，既要保护太阳能管，更要注意自己的安全。另外真空管底部有真空密封嘴，小心不要碰到，弄断进气失去保温作用，务必更换。真空规管测量出来的信号传输到真空计上经过放大处理显示出被测真空环境的真空度。宣城真空计

真空规管将测量到的真空度值以电信号传给真空计。宣城真空计

U型管真空计是气象学中人类较早对大气压力进行测量时所采用的真空计。一般情况下它由玻璃吹制而成，常用作为工作液（也有采用油作为工作液的）。使用时将真空计的一端与真空系统相连接，另一端则与大气相连或封闭。封闭的称为闭式U型管真空计，与大气相连开口的称之为开式U型管真空计。两端的液位差即表示所测真空度。U型管真空计的测量范围在100kPa～10Pa之间，是一种在低真空范围内测量全压力的相对真空计，U型管真空计因为一端与大气相连或封闭，这个差异导致两种真空计在较后的真空度表现上有所不同。宣城真空计

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